專利名稱：一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種離子注入機(jī)的離子源，特別涉及一種加熱電子槍燈絲固定裝置長(zhǎng)壽命離子源，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠，穩(wěn)定性好、生產(chǎn)效率高、低塵粒污染等功能和特征，而離子注入機(jī)這些性能與離子源使用壽命及可靠穩(wěn)定性密切相關(guān)。在最新研制的長(zhǎng)壽命離子源中使用一種特殊結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)壽命的陰極材料代替熱燈絲發(fā)射電子，因?yàn)樘厥饨Y(jié)構(gòu)陰極不能直接通電加熱發(fā)射電子，因此采用一種新的裝置和方法對(duì)陰極加熱，這種新裝置加熱陰極方法是通過(guò)屏蔽在陰極卡座圓筒內(nèi)的特殊結(jié)構(gòu)燈絲發(fā)射電子加熱陰極材料，使陰極溫度升高至發(fā)射電子的溫度。反復(fù)實(shí)驗(yàn)及長(zhǎng)期使用情況表明，加熱電子槍燈絲固定及裝配位置對(duì)燈絲使用壽命有著極其關(guān)鍵的影響，由于離子源各個(gè)部件處于高溫、高腐蝕惡劣環(huán)境中，加熱電子槍燈絲長(zhǎng)期工作時(shí)容易發(fā)生熱變形和移位現(xiàn)象，導(dǎo)致發(fā)生放電和短路現(xiàn)象，因此如何保證燈絲的位置保持不變是實(shí)現(xiàn)離子源長(zhǎng)使用壽命關(guān)鍵技術(shù)之一，發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有長(zhǎng)壽命離子源技術(shù)中加熱電子槍燈絲長(zhǎng)期工作時(shí)容易發(fā)生熱變形和移位缺點(diǎn)，使用新型加熱電子槍燈絲固定裝置，該裝置具有長(zhǎng)期工作穩(wěn)定可靠，有效解決了燈絲長(zhǎng)期工作時(shí)熱變形移位問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)離子源的長(zhǎng)使用壽命要求。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，在一陶瓷絕緣塊上連接一U型裝置，其U型裝置兩直線段為左右燈絲固定桿，其上分別設(shè)置有連接兩燈桿引線的兩個(gè)燈桿連接孔；，所述左右燈絲固定桿另一端設(shè)置有左右兩個(gè)燈絲壓片并通過(guò)左右兩個(gè)燈絲固定螺釘將燈絲穩(wěn)定可靠地連接在左右燈絲固定桿兩端，與左右燈絲固定桿構(gòu)成一體。
本實(shí)用新型的長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置還可以是所述左燈絲固定桿和右燈絲固定桿為抗高溫耐腐蝕的鎢材料制成；所述陶瓷絕緣塊與所述U型裝置的連接采用在所述左右燈絲固定桿上分別設(shè)置有兩個(gè)燈桿固定孔，通過(guò)螺釘將左右燈絲固定桿固定于陶瓷絕緣塊上。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性好特點(diǎn)；2、結(jié)構(gòu)連接簡(jiǎn)單，操作方便；
圖1表示本實(shí)用新型一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
如圖1所示，一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，在一陶瓷絕緣塊9上連接一U型裝置，其U型裝置兩直線段為左右燈絲固定桿1，7，所述左燈絲固定桿1和右燈絲固定桿8為抗高溫耐腐蝕的鎢材料制成，其上分別設(shè)置有連接兩燈桿引線的兩個(gè)燈桿連接孔2，將燈絲電壓引入，所述左右燈絲固定桿1，7另一端設(shè)置有左右兩個(gè)燈絲壓片6并通過(guò)左右兩個(gè)燈絲固定螺釘5將燈絲4穩(wěn)定可靠地連接在左右燈絲固定桿兩端，與左右燈絲固定桿構(gòu)成一體，不使其發(fā)生熱變形和位移變化；所述陶瓷絕緣塊9與所述U型裝置的連接采用的方式是在所述左右燈絲固定桿1，7上分別設(shè)置有兩個(gè)燈桿固定孔3，8，通過(guò)螺釘將左右燈絲固定桿1，7固定于陶瓷絕緣塊9上，保證燈絲4的電位隔離。
這樣的離子源加熱電子槍燈絲固定裝置結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性好特點(diǎn)；同時(shí)結(jié)構(gòu)連接簡(jiǎn)單，操作方便，不因熱變形和腐蝕作用而產(chǎn)生結(jié)構(gòu)變化，保證離子源長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定可靠性。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，其特征在于在一陶瓷絕緣塊(9)上連接一U型裝置，其U型裝置兩直線段為左右燈絲固定桿(1，7)，其上分別設(shè)置有連接兩燈桿引線的兩個(gè)燈桿連接孔2，所述左右燈絲固定桿(1，7)另一端設(shè)置有左右兩個(gè)燈絲壓片6并通過(guò)左右兩個(gè)燈絲固定螺釘(5)將燈絲(4)穩(wěn)定可靠地連接在左右燈絲固定桿兩端，與左右燈絲固定桿構(gòu)成一體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，其特征在于所述左燈絲固定桿(1)和右燈絲固定桿(8)為抗高溫耐腐蝕的鎢材料制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，其特征在于所述陶瓷絕緣塊(9)與所述U型裝置的連接采用在所述左右燈絲固定桿(1，7)上分別設(shè)置有兩個(gè)燈桿固定孔(3，8)，通過(guò)螺釘將左右燈絲固定桿(1，7)固定于陶瓷絕緣塊(9)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，針對(duì)現(xiàn)有長(zhǎng)壽命離子源技術(shù)中加熱電子槍燈絲長(zhǎng)期工作時(shí)容易發(fā)生熱變形和移位缺點(diǎn)，提出一種長(zhǎng)壽命離子源加熱電子槍燈絲固定裝置，在一陶瓷絕緣塊上連接一U型裝置，其U型裝置兩直線段為左右燈絲固定桿，其上分別設(shè)置有連接兩燈桿引線的兩個(gè)燈桿連接孔，所述左右燈絲固定桿另一端設(shè)置有左右兩個(gè)燈絲壓片并通過(guò)左右兩個(gè)燈絲固定螺釘將燈絲穩(wěn)定可靠地連接在左右燈絲固定桿兩端，與左右燈絲固定桿構(gòu)成一體，該裝置具有抗熱變形、抗高溫耐腐蝕性好，結(jié)構(gòu)連接簡(jiǎn)單，操作方便，長(zhǎng)期工作穩(wěn)定可靠，有效解決了燈絲長(zhǎng)期工作時(shí)熱變形移位問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)離子源的長(zhǎng)使用壽命要求。
文檔編號(hào)H01J37/317GK2922115SQ200620113060
公開(kāi)日2007年7月11日 申請(qǐng)日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月24日
發(fā)明者伍三忠, 戴習(xí)毛, 郭健輝, 姚琛 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司