專利名稱：一種燈絲引出桿絕緣結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種離子注入機的離子源，特別涉及一種長壽命離子源的燈絲引出桿絕緣結構，屬于半導體器件制造領域。
背景技術：
現有半導體集成電路制造技術中，要求離子注入機具有整機可靠，穩(wěn)定性好、生產效率高、低塵粒污染等功能和特征，而離子注入機這些性能與離子源使用壽命及可靠穩(wěn)定性密切相關。在最新研制的長壽命離子源中，最主要特征是采用間熱式陰極代替?zhèn)鹘y(tǒng)的熱燈絲陰極發(fā)射電子；此種間熱式陰極長壽命離子源相對于以往的氟里曼源、貝納斯源等熱燈絲發(fā)射電子型離子源，在結構上相對復雜，供電耐壓上除了保留在陰極與弧室之間加150V的陽極電壓之外，還需要在加熱燈絲與陰極之間加500V的偏置電壓，因此在燈絲桿與離子源殼體之間的耐壓達到700V以上，這樣原有的一般貝納斯源燈絲引出桿絕緣結構難以滿足高耐壓要求，離子源工作一段時間后引起爬電及短路等問題；同時，在最新研制的長壽命離子源中使用一種新型的燈絲引出桿絕緣結構，此結構要充分考慮燈絲引出桿的絕緣耐壓性，在設計上要求綜合考慮結構緊湊性和盡量增加絕緣體爬電距離，同時考慮燈桿高溫工作時熱傳導問題，解決各部件工作一段時間后由于高溫熱膨脹效應及離子濺射污染導致的耐壓問題，以滿足離子源的高可靠性及長使用壽命要求。
發(fā)明內容
本實用新型是針對現有長壽命離子源技術中燈絲引出桿電位高、絕緣體容易受高溫離子濺射而污染的問題，采用一種燈絲引出桿絕緣結構，滿足離子源的高可靠性及長使用壽命要求。
本實用新型通過以下技術方案實現一種燈絲引出桿絕緣結構，在一絕緣塊上固定連接有一燈絲引線銅桿，其間設有密封圈，在燈絲引線銅桿四周設有通入冷卻水的燈桿水冷套。
本實用新型一種燈絲引出桿絕緣結構還可以是所述燈絲引線銅桿為高熱導率的紫銅材料，所述絕緣塊與所述燈絲引線銅桿的固定連接采用在所述燈絲引線銅桿上設置帶有螺釘絕緣套的固定螺釘與絕緣塊固定連接。
本實用新型具有如下顯著優(yōu)點1、結構緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性能好特點；2、結構連接操作方便；3、絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性高。
圖1表示本實用新型一種燈絲引出桿絕緣結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
如圖1所示，一種燈絲引出桿絕緣結構，在一絕緣塊3上固定連接有一燈絲引線銅桿1，所述燈絲引線銅桿1為高熱導率的紫銅材料。連接燈絲固定桿，并將燈絲電壓及偏置電壓引入；在所述燈絲引線銅桿1和絕緣塊3之間設有密封圈2以維持離子源真空，在燈絲引線銅桿1四周設有通入冷卻水的燈桿水冷套4，燈桿水冷套4通水強迫冷卻燈絲引線銅桿1，保持燈絲引線銅桿1正常工作溫度；絕緣塊3一方面耐壓絕緣，另一方面固定連接燈絲引線銅桿1；所述絕緣塊3與所述燈絲引線銅桿1的固定連接采用在所述燈絲引線銅桿1上設置帶有螺釘絕緣套6的固定螺釘5與絕緣塊3固定連接，螺釘絕緣套6隔離燈絲引線銅桿1與固定螺釘5間電位。
本實用新型所述燈絲引出桿絕緣結構的結構連接穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫耐腐蝕性能好的特點，同時結構連接操作方便，絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性好，保證離子源長期工作的穩(wěn)定可靠性。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本實用新型專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種燈絲引出桿絕緣結構，其特征在于在一絕緣塊(3)上固定連接有一燈絲引線銅桿(1)，其間設有密封圈(2)，在燈絲引線銅桿(1)四周設有通入冷卻水的燈桿水冷套(4)。
2.根據權利要求1所述燈絲引出桿絕緣結構，其特征在于所述燈絲引線銅桿(1)為高熱導率的紫銅材料。
3.根據權利要求2所述燈絲引出桿絕緣結構，其特征在于所述絕緣塊(3)與所述燈絲引線銅桿(1)的固定連接采用在所述燈絲引線銅桿(1)上設置帶有螺釘絕緣套(6)的固定螺釘(5)與絕緣塊(3)固定連接。
專利摘要本實用新型涉及一種離子注入機的離子源，特別涉及一種長壽命離子源的燈絲引出桿絕緣結構，屬于半導體器件制造領域；針對現有長壽命離子源技術中燈絲引出桿電位高、絕緣體容易受高溫離子濺射而污染的問題，提出了一種燈絲引出桿絕緣結構，滿足離子源的高可靠性及長使用壽命要求，在一絕緣塊3上固定連接有一燈絲引線銅桿1，其間設有密封圈2，在燈絲引線銅桿1四周設有通入冷卻水的燈桿水冷套4，結構緊湊穩(wěn)定可靠，具有抗熱變形、抗高溫腐蝕性能好特點；結構連接操作方便；絕緣及防污染爬電性能優(yōu)越，可靠性高。
文檔編號H01J37/317GK2922114SQ200620113059
公開日2007年7月11日 申請日期2006年4月24日 優(yōu)先權日2006年4月24日
發(fā)明者伍三忠, 戴習毛, 唐景庭, 劉仁杰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司