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掩膜板、構(gòu)圖工藝系統(tǒng)及方法_2

文檔序號(hào):9431466閱讀:來源:國知局
說,其對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為不透光;對(duì)于部分曝光區(qū)域來說,其對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為灰度透光。
[0051]由上可見,可以根據(jù)構(gòu)圖工藝圖案(即預(yù)設(shè)的掩膜圖案)確定控制指令,然后由控制單元10根據(jù)所述控制指令控制與各個(gè)掩膜子區(qū)對(duì)應(yīng)的控制開關(guān),使得各控制開關(guān)控制相應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài),最終使得掩膜板呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案,從而實(shí)現(xiàn)掩膜板的構(gòu)圖作用。
[0052]實(shí)施例三
[0053]本發(fā)明實(shí)施例三提供了一種掩膜板,該掩膜板除了具有和上述實(shí)施例二所述的掩膜板相同的特征以外,還具有新的特征。
[0054]在本實(shí)施例中,所述控制開關(guān)可以采用薄膜晶體管實(shí)現(xiàn)。具體地,所述薄膜晶體管根據(jù)所述控制指令控制對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為全透光、不透光或灰度透光。參見圖2,圖2為液晶盒20的剖面結(jié)構(gòu)示意圖,從圖2中可以看出,液晶盒20包含行列排布的多個(gè)掩膜子區(qū)(m行η列),每個(gè)掩膜子區(qū)均設(shè)置有對(duì)應(yīng)的控制開關(guān),即薄膜晶體管??刂茊卧?0通過對(duì)各個(gè)薄膜晶體管進(jìn)行控制,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述液晶盒20的分區(qū)管控。
[0055]其中,設(shè)置在各個(gè)掩膜子區(qū)的薄膜晶體管用于根據(jù)所述控制指令控制對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài),使得所述液晶盒20呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案。具體地,即各個(gè)薄膜晶體管根據(jù)所述控制單元10的控制指令控制對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為全透光、不透光或灰度透光,從而使得所述液晶盒20呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案,即使得掩膜板呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案。
[0056]實(shí)施例四
[0057]本發(fā)明實(shí)施例四提供了一種掩膜板,該掩膜板除了具有和上述實(shí)施例三所述的掩膜板相同的特征以外,還具有新的特征。
[0058]在本實(shí)施例中,所述掩膜子區(qū)的液晶為聚合物分散液晶(Polymer DispersedLiquid Crystal,PDLC)。
[0059]其中,PDLC在無外加電壓的情形下,不能形成有規(guī)律的電場(chǎng),液晶微粒的光軸取向隨機(jī),呈現(xiàn)無序狀態(tài)。入射光線被強(qiáng)烈散射,則呈不透明狀態(tài)。當(dāng)施加了外電壓之后,液晶微粒的光軸垂直于薄膜表面排列,即與電場(chǎng)方向一致,則呈透明狀態(tài)。
[0060]在本實(shí)施例中,由于掩膜子區(qū)的液晶為TOLC,因此所述掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)只能為全透光和不透光。相應(yīng)地,所述控制開關(guān),即薄膜晶體管,根據(jù)所述控制指令控制對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的TOLC的透光狀態(tài)為全透光或不透光,從而使得所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案。
[0061]其中,所述液晶盒還包括像素電極、數(shù)據(jù)線和柵線,所述薄膜晶體管包括源極、漏極和柵極,所述源極和漏極中的一個(gè)與所述數(shù)據(jù)線相連,另一個(gè)與所述像素電極相連,所述柵極與所述柵線相連。
[0062]其中,所述控制單元10還用于周期性掃描驅(qū)動(dòng)所述薄膜晶體管,使得所述薄膜晶體管控制對(duì)應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)在預(yù)設(shè)時(shí)間段內(nèi)保持不變,從而在預(yù)設(shè)時(shí)間段內(nèi)使得液晶盒20呈現(xiàn)所述掩膜圖案,以完成掩膜板的掩膜作用。其中,預(yù)設(shè)時(shí)間段的長(zhǎng)度可以根據(jù)實(shí)際進(jìn)行調(diào)節(jié),一般取值為5?15分鐘。
[0063]從上面描述可知,通過控制指令控制相應(yīng)掩膜子區(qū)的薄膜晶體管的通電狀態(tài),進(jìn)而控制液晶的透光狀態(tài)。例如,在使用該掩膜板進(jìn)行封框膠固化時(shí),根據(jù)封框膠圖案要求,對(duì)各個(gè)掩膜子區(qū)的透光狀態(tài)進(jìn)行控制。例如,參見圖3a,圖3a為一種封框膠圖案,其中白色區(qū)域?yàn)樾枰毓獾膮^(qū)域,黑色區(qū)域?yàn)椴恍枰毓獾膮^(qū)域。
[0064]若想使用上述掩膜板對(duì)預(yù)設(shè)基板進(jìn)行上述封框膠圖案的固化操作,則首先需要根據(jù)圖3a所示的封框膠圖案設(shè)計(jì)控制指令,然后將控制指令輸入至控制單元,使得控制單元根據(jù)該控制指令控制薄膜晶體管的通電狀態(tài),進(jìn)而控制多個(gè)掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)。
[0065]參見圖3b,圖3b為掩膜板在控制指令控制下呈現(xiàn)的掩膜圖案。參見圖3a和圖3b,在對(duì)應(yīng)封框膠圖案的曝光區(qū)域,相應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為全透光,在對(duì)應(yīng)封框膠圖案的非曝光區(qū)域,相應(yīng)的掩膜子區(qū)的透光狀態(tài)為不透光。
[0066]當(dāng)然,上面掩膜板呈現(xiàn)的掩膜圖案較為簡(jiǎn)單,本實(shí)施例只是為了舉例說明。其實(shí),本實(shí)施例所述掩膜板可以實(shí)現(xiàn)各式各樣或復(fù)雜或簡(jiǎn)單的掩膜圖案。這是因?yàn)楸緦?shí)施例所述的掩膜板包括多個(gè)掩膜子區(qū),每個(gè)掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)由對(duì)應(yīng)的控制開關(guān)分別控制,因此通過改變控制指令,實(shí)現(xiàn)不同掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)的改變,進(jìn)而使得掩膜板呈現(xiàn)想要的掩膜圖案。
[0067]參見圖4,圖4示出了上述掩膜板的液晶盒的制作過程斷面示意圖。圖4以I3DLC組成的液晶盒為例進(jìn)行介紹。
[0068]首先,在基板上制作薄膜晶體管TFT,然后在TFT上面滴注TOLC,滴注完成后,采用另一基板進(jìn)行對(duì)盒封裝,最后加熱聚合,在TFT上面形成TOLC膜。這樣,通過控制TFT的通電狀態(tài),進(jìn)而可以控制I3DLC的透光狀態(tài)。在TFT不通電時(shí),該TFT控制對(duì)應(yīng)區(qū)域的I3DLC為不透光狀態(tài);在TFT通電時(shí),該TFT控制對(duì)應(yīng)區(qū)域的I3DLC為全透光狀態(tài)。
[0069]本實(shí)施例所述的掩膜板包括控制單元和液晶盒,控制單元用于根據(jù)控制指令控制與掩膜子區(qū)對(duì)應(yīng)的薄膜晶體管的通電狀態(tài),進(jìn)而控制相應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài),使得掩膜板呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案。由于掩膜板的各掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)可以通過改變控制指令進(jìn)行調(diào)整,因此本實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了一張掩膜板對(duì)應(yīng)不同掩膜圖案的作用,這樣,不再因?yàn)檠谀D案的不同而設(shè)計(jì)多種掩膜板,因而省去了不同掩膜板的設(shè)計(jì)工作,而且由于不再需要使用多個(gè)掩膜板,因此也節(jié)省了掩膜板成本,最重要的是,需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品型號(hào)變更時(shí)不需更換掩膜板即可進(jìn)行紫外光照射,使得掩膜板在其正常使用壽命范圍之內(nèi)不需卸載,工藝操作簡(jiǎn)單,節(jié)省能耗。
[0070]實(shí)施例五
[0071]本發(fā)明實(shí)施例五提供了一種用于基板的構(gòu)圖工藝系統(tǒng),包括光源裝置以及上述任一實(shí)施例所述的掩膜板;其中,所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案為構(gòu)圖工藝圖案。所述光源裝置優(yōu)選為紫外光源裝置。
[0072]例如,本實(shí)施例所述的用于基板的構(gòu)圖工藝系統(tǒng)可以為一種封框膠固化系統(tǒng),此時(shí),所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案則為封框膠圖案。
[0073]當(dāng)所述構(gòu)圖工藝系統(tǒng)為封框膠固化系統(tǒng)時(shí),由于封框膠圖案為比較單一的圖案,因此,在控制掩膜板呈現(xiàn)所述封框膠圖案時(shí),可以不采用一一控制掩膜板的掩膜子區(qū)的方式,而是采用控制掩膜板的掩膜區(qū)塊的方式,其中掩膜區(qū)塊包括至少兩個(gè)掩膜子區(qū),通過這樣操作,這樣可以簡(jiǎn)化控制方式。
[0074]相應(yīng)地,所述控制單元用于根據(jù)控制指令控制所述掩膜區(qū)塊以使所述掩膜板呈現(xiàn)所述封框膠圖案;所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的封框膠圖案確定的控制指令。
[0075]本實(shí)施例提供的用于基板的構(gòu)圖工藝系統(tǒng),包括光源裝置以及掩膜板,在實(shí)際使用該構(gòu)圖工藝系統(tǒng)時(shí),具體地,需要將掩膜板置于待進(jìn)行構(gòu)圖工藝的基板上,然后根據(jù)構(gòu)圖工藝圖案確定所述控制指令;并將所述控制指令寫入所述控制單元中,使得所述控制單元根據(jù)所述控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案,最后,采用紫外光源裝置發(fā)出的紫外光照射已呈現(xiàn)構(gòu)圖工藝圖案的掩膜板,最終完成基板的構(gòu)圖工藝。
[0076]本實(shí)施例所述的用于基板的構(gòu)圖工藝系統(tǒng),由于采用了上述實(shí)施例所述的掩膜板,因此可以根據(jù)需要控制所述掩膜板呈現(xiàn)不同的掩膜圖案,從而實(shí)現(xiàn)了一套構(gòu)圖工藝系統(tǒng)對(duì)應(yīng)需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品的作用,需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品型號(hào)變更時(shí)不需更換構(gòu)圖工藝系統(tǒng)即可完成不同圖案的構(gòu)圖工藝,使得構(gòu)圖工藝系統(tǒng)中的掩膜板在其正常使用壽命范圍之內(nèi)不需卸載,工藝操作簡(jiǎn)單,節(jié)省能耗。同時(shí),由于掩膜板成本較高,由于不要頻繁卸載,因此也降低了卸載過程中對(duì)掩膜板的損耗,延長(zhǎng)了掩膜板的使用壽命,降低了成本。從另外一個(gè)角度看,由于一張掩膜板可以實(shí)現(xiàn)不同的掩膜圖案,因此不需要設(shè)計(jì)多個(gè)具有不同圖案掩膜板,從而也降低了掩膜板的設(shè)計(jì)成本和制作成本。
[0077]實(shí)施例六
[0078]本發(fā)明實(shí)施例六提供了一種利用上述任一實(shí)施例所述的掩膜板進(jìn)行構(gòu)圖工藝的方法,參見圖5,包括如下步驟:
[0079]步驟101:根據(jù)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案確定所述控制指令。
[0080]在本步驟中,根據(jù)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案確定所述控制指令。所述構(gòu)圖工藝圖案可以為封框膠圖案。當(dāng)所述構(gòu)圖工藝圖案為封框膠圖案時(shí),根據(jù)封框膠圖案中需要完全曝光的區(qū)域、完全不曝光的區(qū)域和部分曝光的區(qū)域設(shè)置所述控制指令。
[0081]步驟102:將所述控制指令寫入所述控制單元中,使得所述控制單元根據(jù)所述控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案。
[0082]在本步驟中,所
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