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掩膜板、構(gòu)圖工藝系統(tǒng)及方法

文檔序號:9431466閱讀:488來源:國知局
掩膜板、構(gòu)圖工藝系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種掩膜板、構(gòu)圖工藝系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]掩膜板作為轉(zhuǎn)移微細圖形的工具,用于掩膜制造工藝的批量復制生產(chǎn),在基板生產(chǎn)中具有至關(guān)重要的關(guān)鍵作用,特別是封框膠固化時,必須在掩膜板的保護下進行,否則會產(chǎn)生顯示性不良,所以利用掩膜板進行封框膠固化是顯示設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的重要環(huán)節(jié)。而且基板生產(chǎn)工藝過程中,不同產(chǎn)品對應(yīng)的圖形也不同,所以就需要不同的掩膜板來對應(yīng),這樣,對于不同的產(chǎn)品需要設(shè)計生產(chǎn)不同的掩膜板,且在實際應(yīng)用時也需要頻繁變更換不同掩膜板以實現(xiàn)不同產(chǎn)品的生產(chǎn)。
[0003]由于掩膜板的價格非常昂貴,若在掩膜板設(shè)計、制作、運輸、保存或更換裝卸等過程中有任何差錯,掩膜板就無法使用,這給設(shè)計者、生產(chǎn)者和使用者均帶來很大困擾和經(jīng)濟損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,本發(fā)明提供一種掩膜板、構(gòu)圖工藝系統(tǒng)及方法,實現(xiàn)了一張掩膜板對應(yīng)不同產(chǎn)品的作用,不但省去了不同掩膜板的設(shè)計工作,而且由于不再使用多個掩膜板,因此也節(jié)省了掩膜板成本,最重要的是,需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品型號變更時不需更換掩膜板即可進行紫外光照射,使得掩膜板在其正常使用壽命范圍之內(nèi)不需卸載,工藝操作簡單,節(jié)省能耗。
[0005]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:
[0006]第一方面,本發(fā)明提供了一種掩膜板,包括控制單元和液晶盒;
[0007]所述控制單元用于根據(jù)控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案;
[0008]所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案確定的控制指令。
[0009]進一步地,所述掩膜板設(shè)置有行列排布的多個掩膜子區(qū),每個掩膜子區(qū)均設(shè)置有對應(yīng)的控制開關(guān);
[0010]所述控制開關(guān)用于根據(jù)所述控制指令控制對應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài),使得所述液晶盒呈現(xiàn)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案。
[0011]進一步地,所述透光狀態(tài)包括全透光、不透光和灰度透光。
[0012]進一步地,所述控制開關(guān)包括薄膜晶體管,所述薄膜晶體管根據(jù)所述控制指令控制對應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為全透光、不透光或灰度透光。
[0013]進一步地,所述掩膜子區(qū)的液晶為聚合物分散液晶。
[0014]進一步地,所述控制開關(guān)包括薄膜晶體管,所述薄膜晶體管根據(jù)所述控制指令控制對應(yīng)的掩膜子區(qū)的聚合物分散液晶的透光狀態(tài)為全透光或不透光。
[0015]進一步地,所述液晶盒還包括像素電極、數(shù)據(jù)線和柵線,所述薄膜晶體管包括源極、漏極和柵極,所述源極和漏極中的一個與所述數(shù)據(jù)線相連,另一個與所述像素電極相連,所述柵極與所述柵線相連。
[0016]進一步地,所述控制單元周期性掃描驅(qū)動所述薄膜晶體管,使得所述薄膜晶體管控制對應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)在預(yù)設(shè)時間段內(nèi)保持不變。
[0017]第二方面,本發(fā)明還提供了一種用于基板的構(gòu)圖工藝系統(tǒng),包括光源裝置以及上面所述的掩膜板;其中,所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案為構(gòu)圖工藝圖案。
[0018]進一步地,所述構(gòu)圖工藝圖案為封框膠圖案。
[0019]進一步地,所述掩膜板包含行列設(shè)置的多個掩膜子區(qū),至少兩個掩膜子區(qū)組成一個掩膜區(qū)塊;
[0020]所述控制單元用于根據(jù)控制指令控制所述掩膜區(qū)塊以使所述掩膜板呈現(xiàn)所述封框膠圖案;
[0021]所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的封框膠圖案確定的控制指令。
[0022]第三方面,本發(fā)明還提供了一種利用上面所述的掩膜板進行構(gòu)圖工藝的方法,包括:
[0023]根據(jù)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案確定所述控制指令;
[0024]將所述控制指令寫入所述控制單元中,使得所述控制單元根據(jù)所述控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案;
[0025]采用所述掩膜板為待曝光的第一基板進行曝光。
[0026]進一步地,所述第一基板為待進行封框膠固化的基板;所述預(yù)設(shè)的構(gòu)圖工藝圖案為封框膠圖案。
[0027]進一步地,所述掩膜板包含行列設(shè)置的多個掩膜子區(qū),至少兩個掩膜子區(qū)組成一個掩膜區(qū)塊;
[0028]根據(jù)所述封框膠圖案確定所述控制指令;
[0029]將所述控制指令寫入所述控制單元中,使得所述控制單元根據(jù)控制指令控制所述掩膜區(qū)塊以使所述掩膜板呈現(xiàn)所述封框膠圖案;
[0030]采用所述掩膜板為待進行封框膠固化的基板進行曝光。
[0031]進一步地,所述封框膠圖案包括完全曝光區(qū)域、完全不曝光區(qū)域和部分曝光區(qū)域;
[0032]所述控制單元根據(jù)控制指令控制與完全曝光區(qū)域?qū)?yīng)的掩膜區(qū)塊的液晶的透光狀態(tài)為全透光,控制與完全不曝光區(qū)域?qū)?yīng)的掩膜區(qū)塊的液晶的透光狀態(tài)為不透光,以及控制與部分曝光區(qū)域?qū)?yīng)的掩膜區(qū)塊的液晶的透光狀態(tài)為灰度透光。
[0033]由上述技術(shù)方案可知,本發(fā)明所述的掩膜板,包括控制單元和液晶盒,控制單元用于根據(jù)控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案;所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案確定的控制指令。本發(fā)明所述的掩膜板可以根據(jù)需要呈現(xiàn)不同的掩膜圖案,因此本發(fā)明實現(xiàn)了一張掩膜板對應(yīng)需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品的作用,不但省去了不同掩膜板的設(shè)計工作,而且由于不再使用多個掩膜板,因此也節(jié)省了掩膜板成本,最重要的是,需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品型號變更時不需更換掩膜板即可進行紫外光照射,使得掩膜板在其正常使用壽命范圍之內(nèi)不需卸載,工藝操作簡單,節(jié)省能耗。
【附圖說明】
[0034]為了更清楚地說明本實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0035]圖1是本發(fā)明實施例一提供的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0036]圖2是本實施例四提供的掩膜板的液晶盒的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0037]圖3a是一種封框膠圖案的示意圖;
[0038]圖3b是根據(jù)圖3a所示的封框膠圖案控制掩膜板呈現(xiàn)的相應(yīng)掩膜圖案的示意圖;
[0039]圖4是掩膜板的液晶盒的制作過程示意圖;
[0040]圖5是本實施例六提供的利用掩膜板進行構(gòu)圖工藝的方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0041]為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0042]實施例一
[0043]圖1示出了本發(fā)明實施例一提供的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1所示,本發(fā)明實施例一提供的掩膜板包括:控制單元10和液晶盒20 ;
[0044]所述控制單元10用于根據(jù)控制指令控制所述液晶盒20呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案;
[0045]所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案確定的控制指令。
[0046]本實施例所述的掩膜板包括控制單元和液晶盒,所述控制單元根據(jù)控制指令控制所述液晶盒呈現(xiàn)預(yù)設(shè)的掩膜圖案,所述控制指令為根據(jù)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案確定的控制指令。本實施例所述的掩膜板可以根據(jù)需要呈現(xiàn)不同的掩膜圖案,因此本實施例實現(xiàn)了一張掩膜板對應(yīng)需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品的作用,不但省去了不同掩膜板的設(shè)計工作,而且由于不再使用多個掩膜板,因此也節(jié)省了掩膜板成本,最重要的是,需要不同掩膜圖案的產(chǎn)品型號變更時不需更換掩膜板即可進行紫外光照射,使得掩膜板在其正常使用壽命范圍之內(nèi)不需卸載,工藝操作簡單,節(jié)省能耗。
[0047]實施例二
[0048]本發(fā)明實施例二同樣也提供了一種掩膜板,其除了具有和上述實施例一所述的掩膜板相同的特征以外,還具有新的特征。
[0049]在本實施例中,所述掩膜板設(shè)置有行列排布的多個掩膜子區(qū),每個掩膜子區(qū)均設(shè)置有對應(yīng)的控制開關(guān);所述控制開關(guān)用于根據(jù)控制指令控制對應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài),使得所述液晶盒呈現(xiàn)所述預(yù)設(shè)的掩膜圖案。其中,所述透光狀態(tài)包括全透光、不透光和灰度透光。
[0050]對于預(yù)設(shè)的掩膜圖案來說,一般包括需要完全曝光的區(qū)域,完全不曝光的區(qū)域和部分曝光區(qū)域。而對于完全曝光區(qū)域來說,其對應(yīng)的掩膜子區(qū)的液晶的透光狀態(tài)為全透光;對于完全不曝光區(qū)域來
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