一種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及濾光片技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002]紅外截止濾光片是利用精密光學(xué)鍍膜技術(shù)在光學(xué)基片上交替鍍上高低折射率的光學(xué)膜，實現(xiàn)可見光區(qū)(400-630nm)高透，近紅外(700_1100nm)截止的光學(xué)濾光片，主要應(yīng)用于可拍照手機攝像頭、電腦內(nèi)置攝像頭、汽車攝像頭等數(shù)碼成像領(lǐng)域，用于消除紅外光線對CCD/CM0S成像的影響。通過在成像系統(tǒng)中加入紅外截止濾光片，阻擋該部分干擾成像質(zhì)量的紅外光，可以使所成影像更加符合人眼的最佳感覺。
[0003]在樹脂鏡片領(lǐng)域，近幾年出現(xiàn)了一種具有抗紅外作用的樹脂鏡片，例如中國專利公告號CN101866063A公開的一種具有抗紅外作用的樹脂鏡片及其制備方法，其是在樹脂鏡片的基片的凹面鍍有對近紅外光具備高反射作用、對可見光具備減反射作用的光學(xué)薄膜層，所述光學(xué)薄膜層是由一種低折射率材料膜層和另一種高折射率材料膜層交替堆棧組成；基片的凸面鍍有至少5層的可見光減反膜。該專利的具有抗紅外作用的樹脂鏡片主要是利用了光學(xué)薄膜干涉原理。以此濾光片做成的抗紅外樹脂鏡片，可以有效阻擋自然光或環(huán)境光中的近紅外波段進入人眼，因為對可見光的透過率很高，所以該類型鏡片在光照不足或者夜晚環(huán)境也能使用，不影響人眼的視物清晰度。
[0004]還例如在可拍照手機攝像頭、電腦內(nèi)置攝像頭、汽車攝像頭等數(shù)碼成像領(lǐng)域，為了消除紅外光線對CCD/CM0S成像的影響。申請人發(fā)明了一種紅外截止濾光片(專利申請?zhí)?01210231194.7)，其加入到成像系統(tǒng)中，阻擋該部分干擾成像質(zhì)量的紅外光，可以使所成影像更加符合人眼的最佳感覺。該紅外截止濾光片包括基底層，在基底層的兩側(cè)面上分別鍍有復(fù)合膜層，復(fù)合膜層由高折射率材料膜層和低折射率材料膜層交替形成。高折射率材料膜層是由二氧化鈦、五氧化三鈦、氧化鋯、五氧化二鉭、五氧化二鈮、硫化鋅中的一種或多種組成，低折射率材料膜層是由二氧化硅、氟化鎂、三氧化二鋁中的一種或多種組成?；讓觾蓚?cè)的復(fù)合膜層厚度為:100?lOOOOnm。
[0005]但是在實踐過程中，高折射率材料膜層和低折射率材料膜層的鍍膜速度對紅外截止濾光片光的近紅外波段800?1400nm的平均透過率依然較高，接近54%。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的就是要解決上述的不足而提供一種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，可進一步有效降低紅外光線的透過率，提高成像質(zhì)量。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:
[0008]—種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，包括基底層，所述基底層的兩側(cè)面上分別鍍有復(fù)合膜層，所述復(fù)合膜層由高折射率材料膜層和低折射率材料膜層交替形成，其中高折射率材料膜層為采用二氧化鈦鍍膜形成的，低折射率材料膜層為采用二氧化硅鍍膜形成的，其特征在于，所述二氧化鈦鍍膜速度為3-3.5埃/秒，所述二氧化硅鍍膜速度為10-14埃/秒。
[0009]在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，所述二氧化鈦鍍膜速度為3.5埃/秒，所述二氧化硅鍍膜速度為12埃/秒。
[0010]在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，所述基底層兩側(cè)的復(fù)合膜層厚度為:100?1000nm0
[0011]本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)簡單、新穎，通過鍍膜的方式來實現(xiàn)或接近藍玻璃基底的使用效果，可進一步有效降低紅外光線的透過率，提高成像質(zhì)量。
【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖中:100為基底層、200為復(fù)合膜層、210為高折射率材料膜層、220為低折射率材料膜層。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作以下進一步說明:
[0015]如附圖1所不，本發(fā)明的紅外截止濾光片包括基底層100，在基底層100的兩側(cè)面上分別鍍有復(fù)合膜層200，該復(fù)合膜層200由高折射率材料膜層210和低折射率材料膜層220交替形成。高折射率材料膜層210是由二氧化鈦鍍膜形成的，低折射率材料膜層220是由二氧化硅鍍膜組成?；讓?00兩側(cè)的復(fù)合膜層厚度為:100?lOOOOnm。
[0016]本發(fā)明的紅外截止濾光片生產(chǎn)方法如下:
[0017](I)基底層100鍍膜前預(yù)處理:將基底層100放入清洗劑中輔以超聲波振蕩清洗，共4槽，每槽5分鐘，經(jīng)過淋洗后放入超純水(10M以上)的去離子水溢流漂洗，并由紅外熱源進行干燥，從而使基底層100表面污漬被洗凈，沒有水跡和殘留物；
[0018](2)基底層100表面預(yù)處理:將基底層100固定在鍍膜機的行星夾具上，在鍍膜機的真空系統(tǒng)中通入氬氣和氧氣，以1.5KW功率將氣體電離，氬原子和氧原子轟擊樹脂鏡片表面產(chǎn)生清洗作用；
[0019](3)真空鍍膜:啟動鍍膜機真空系統(tǒng)，待本底真空降至2.0x10 3Pa以下；打開氬氣氣路，使硅靶在氬離子中放電I分鐘，去除靶面的氧化物；向真空室通入氬氣、氧氣的混合氣體，利用空氣質(zhì)量流量計控制氣體流量，其中氬氣流量為5SCCM，氧氣流量為40SCCM，使工作壓強穩(wěn)定在2Pa左右，旋轉(zhuǎn)工件架，溫度保持在常溫，濺射功率控制在1500W，沉積S12薄膜，沉積鍍膜速度為12埃/秒并保持穩(wěn)定；再向真空室通入氬氣、氮氣的混合氣體，利用空氣質(zhì)量流量計控制氣體流量，其中氬氣流量為10SCCM，氮氣流量為50SCCM，使壓強穩(wěn)定在2.5Pa左右，濺射功率控制在2000W，沉積T12薄膜，沉積鍍膜速度為3.5埃/秒并保持穩(wěn)定；交替沉積S12薄膜和T12薄膜，使得基底層100上兩個相鄰膜層系低折射率薄膜S12和高折射率薄膜T12的堆棧；為避免連續(xù)濺射中樹脂鏡片溫度快速升高導(dǎo)致薄膜龜裂，在每沉積500nm左右的薄膜材料后，中斷濺射進程，封閉真空系統(tǒng)并向其中通入氬氣，使鏡片上積累的熱量快速向外傳導(dǎo)，待冷卻2分鐘后重新啟動濺射進程。
[0020]經(jīng)過上述工藝過程，成品即為本發(fā)明的產(chǎn)品具有抗紅外作用的紅外截止濾光片。
[0021]經(jīng)過檢測，專利申請?zhí)?01210231194.7的紅外截止濾光片可見光400?700nm的平均透過率大于97%，近紅外波段800?1400nm的平均透過率為50-54%。
[0022]本【具體實施方式】的紅外截止濾光片可見光400?700nm的平均透過率大于99%，近紅外波段800?1400nm的平均透過率為15-20%。
【主權(quán)項】
1.一種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，包括基底層，所述基底層的兩側(cè)面上分別鍍有復(fù)合膜層，所述復(fù)合膜層由高折射率材料膜層和低折射率材料膜層交替形成，其中高折射率材料膜層為采用二氧化鈦鍍膜形成的，低折射率材料膜層為采用二氧化硅鍍膜形成的，其特征在于，所述二氧化鈦鍍膜速度為3-3.5埃/秒，所述二氧化硅鍍膜速度為10-14 埃 / 秒。2.如權(quán)利要求1所述的對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，其特征在于，所述二氧化鈦鍍膜速度為3.5埃/秒，所述二氧化硅鍍膜速度為12埃/秒。3.如權(quán)利要求1或2所述的對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，其特征在于，所述基底層兩側(cè)的復(fù)合膜層厚度為:100?lOOOOnm。
【專利摘要】本發(fā)明公開的一種對紅外光線過濾效果好的紅外截止濾光片，包括基底層，所述基底層的兩側(cè)面上分別鍍有復(fù)合膜層，所述復(fù)合膜層由高折射率材料膜層和低折射率材料膜層交替形成，其中高折射率材料膜層為采用二氧化鈦鍍膜形成的，低折射率材料膜層為采用二氧化硅鍍膜形成的，其特征在于，所述二氧化鈦鍍膜速度為3-3.5埃/秒，所述二氧化硅鍍膜速度為10-14埃/秒。本發(fā)明的紅外截止濾光片可見光400～700nm的平均透過率大于99％，近紅外波段800～1400nm的平均透過率為15-20％。
【IPC分類】G02B5/22, G02B1/10
【公開號】CN105068170
【申請?zhí)枴緾N201510430714
【發(fā)明人】沈新良, 陳旭華
【申請人】美德瑞光電科技（上海）有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月21日