感光樹(shù)脂組合物及利用該組合物形成圖案的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種感光樹(shù)脂組合物及利用該組合物形成圖案的方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 一般來(lái)說(shuō)，平板顯示裝置是當(dāng)前廣泛使用的顯示裝置，例如有液晶顯示裝 置（Liquid crystal display ;IXD)和有機(jī)發(fā)光顯示裝置（Organic light emitting display ;0LED)等多種類型。
[0003] 在形成這種平板顯示裝置的過(guò)程中，為了薄膜的構(gòu)圖，可采用感光工藝，這時(shí)采用 光阻材料?；蛘呖赏ㄟ^(guò)對(duì)光阻材料進(jìn)行曝光和顯影直接形成薄膜。
[0004] 采用這種光阻劑可形成絕緣膜、柱形間隔物、外覆層或?yàn)V色層，但用于形成光阻劑 的感光樹(shù)脂組合物的成分結(jié)構(gòu)，對(duì)解析度、黏著力及殘膜率等會(huì)產(chǎn)生影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種解析度及殘膜率優(yōu)異的感光樹(shù)脂組合物。
[0006] 此外，本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種顯示裝置，該顯示裝置在形成顯示裝 置的有機(jī)薄膜時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生綠化（greenish)缺陷，并且黏著力優(yōu)異。
[0007] 本發(fā)明一實(shí)施例的感光樹(shù)脂組合物，包含：通過(guò)使不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或者 所述不飽和羧酸和所述不飽和羧酸酐的混合物，與烯烴類不飽和化合物或者所述烯烴類不 飽和化合物的混合物進(jìn)行共聚，所形成的丙烯酸類共聚物；由以下化學(xué)式1或者化學(xué)式2表 示的光起始劑；多官能丙烯酸酯低聚物；具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體；以及三聚 氰胺交聯(lián)劑。
[0008] [化學(xué)式1]
[0010] [化學(xué)式2]
[0011]
[0012] 在化學(xué)式1中，R1為碳原子數(shù)為1至8的烷基，R2為苯基或者碳原子數(shù)為1至8 的烷基，R3至R9分別獨(dú)立地為氫、鹵原子或者碳原子數(shù)為1至8的烷基；在化學(xué)式2中，R1 為碳原子數(shù)為1至8的烷基，R2至R11分別獨(dú)立地為氫、鹵原子或者碳原子數(shù)為1至8的 烷基。
[0013] 所述三聚氰胺交聯(lián)劑可由以下化學(xué)式3表示。
[0014] [化學(xué)式3]
[0015]
[0016] 其中，R1、R2、R3分別獨(dú)立地為-CH20(CH2)nCH3(其中n為0至3的整數(shù)）；R4、R5、 R6分別獨(dú)立地或者同時(shí)為氫、_(CH2)OH或-CH20(CH2)nCH3(其中n為0至3的整數(shù)）。
[0017] 所述感光樹(shù)脂組合物可進(jìn)一步包含硅烷偶聯(lián)劑。
[0018] 所述硅烷偶聯(lián)劑可包括選自（3-縮水甘油氧基丙基）三甲氧基硅烷、（3-縮水甘油 氧基丙基）三乙氧基硅烷、（3-縮水甘油氧基丙基）甲基二甲氧基硅烷、（3-縮水甘油氧基 丙基）甲基二乙氧基硅烷、（3-縮水甘油氧基丙基）二甲基乙氧基硅烷、3, 4-環(huán)氧基丁基三 甲氧基硅烷、3, 4-環(huán)氧基丁基三乙氧基硅烷、2-(3, 4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基三甲氧基硅烷、 2_(3, 4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基三乙氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三乙氧基硅 燒、3_二乙氧基娃烷基3二甲基-亞丁基）丙基胺、N_2 (氛基乙基）3_氛基丙基二 甲氧基硅烷、N-2 (氨基乙基）3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-2 (氨基乙基）3-氨基丙基甲基 二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷以及（3-異氰酸酯丙基）三乙氧基硅烷 中的至少一種。
[0019] 通過(guò)使所述不飽和羧酸、所述不飽和羧酸酐或者所述不飽和羧酸和所述不飽和羧 酸酐的混合物5重量份至40重量份，與所述烯烴類不飽和化合物或者所述烯烴類不飽和化 合物的混合物60重量份至95重量份進(jìn)行共聚，并去除未反應(yīng)單體后獲得的丙烯酸類共聚 物的含量可為100重量份；所述光起始劑的含量可為〇.1重量份至30重量份；所述多官能 丙烯酸酯低聚物的含量可為1重量份至50重量份；所述具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單 體的含量可為1重量份至50重量份；所述三聚氰胺交聯(lián)劑的含量可為0. 1重量份至30重 量份；所述硅烷偶聯(lián)劑的含量可為〇. 1重量份至30重量份。
[0020] 所述不飽和羧酸、所述不飽和羧酸酐或者所述不飽和羧酸和所述不飽和羧酸酐的 混合物，可包括選自丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、甲順丁烯二酸、甲基阿 康酸（methaconic acid)、衣康酸、以及這些酸的酸酐中的至少一種。
[0021] 所述烯烴類不飽和化合物可包括選自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基 丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲 基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊烯酯、丙烯酸二環(huán)戊烷基 醋（Dicyclo pentanyl acrylate)、甲基丙稀酸二環(huán)戊稀醋、甲基丙稀酸二環(huán)戊烷基醋 (Dicyclo pentanyl methacrylate)、1_丙稀酸金剛燒醋、1-甲基丙稀酸金剛燒醋、甲基丙 稀酸二環(huán)戊烷基氧基乙醋（Dicyclo pentanyl oxyethyl methacrylate)、甲基丙稀酸異 冰片醋（Isobornyl methacrylate)、丙稀酸環(huán)己醋、丙稀酸-2-甲基環(huán)己醋、丙稀酸二環(huán) 戊烷基氧基乙醋 <X*icyclo pentanyl oxyethyl acrylate)、丙稀酸異冰片醋（Isobornyl acrylate)、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯、苯乙烯、 鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1，3-丁二烯、 異戊二烯、及2, 3-二甲基1，3- 丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a -乙 基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯 酸_ 0 _甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸_ 0 _甲基縮水甘油酯、丙烯酸_ 0 _乙基縮水甘油酯、 甲基丙烯酸-0 _乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3, 4-環(huán)氧基丁酯、甲基丙烯酸-3, 4-環(huán)氧基丁 酯、丙烯酸-6, 7-環(huán)氧基庚酯、甲基丙烯酸-6, 7-環(huán)氧基庚酯、a -乙基丙烯酸-6, 7-環(huán)氧基 庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、及對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、 甲基丙烯酸3, 4-環(huán)氧基環(huán)己酯中的至少一種。
[0022] 所述丙烯酸類共聚物的聚苯乙烯換算重均分子量可為3, 000至30, 000。
[0023] 所述多官能丙烯酸酯低聚物可具有2至20個(gè)官能基，并且可包括選自脂肪族氨基 甲酸乙酯丙烯酸酯低聚物、芳香族氨基甲酸乙酯丙烯酸酯低聚物、環(huán)氧基丙烯酸酯低聚物、 環(huán)氧基甲基丙烯酸酯低聚物、聚酯丙烯酸酯低聚物、有機(jī)硅丙烯酸酯低聚物、三聚氰胺丙烯 酸酯低聚物、以及樹(shù)枝狀丙烯酸酯低聚物中的至少一種。
[0024] 所述具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體可包括選自二丙烯酸-1，4- 丁二醇酯、 二丙烯酸-1，3- 丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、三甲醇基丙烷二丙烯酸酯、三甲醇基丙烷三 丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二丙烯酸三乙二醇酯、聚乙二醇二 丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨 醇三丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯衍生物、二季戊四醇聚丙烯酸酯、以及前述化合物的甲基 丙烯酸酯類中的至少一種。
[0025]所述感光樹(shù)脂組合物可進(jìn)一步包含溶劑，從而使固體含量成為10重量份至50重 量份。
[0026] 本發(fā)明一實(shí)施例的形成圖案的方法，包括下列步驟：在基板上涂布感光樹(shù)脂組合 物；以及曝光及顯影所述感光樹(shù)脂組合物。所述感光樹(shù)脂組合物包含：通過(guò)使不飽和羧酸、 不飽和羧酸酐或者所述不飽和羧酸和所述不飽和羧酸酐的混合物，與烯烴類不飽和化合物 或者所述烯烴類不飽和化合物的混合物進(jìn)行共聚，所形成的丙烯酸類共聚物；由以下化學(xué) 式1或者化學(xué)式2表示的光起始劑；多官能丙烯酸酯低聚物；具有乙烯性不飽和鍵的多官 能性單體；以及三聚氰胺交聯(lián)劑。
[0027][化學(xué)式1]
[0029][化學(xué)式2]
[0031] 在化學(xué)式1中，R1為碳原子數(shù)為1至8的烷基，R2為苯基或者碳原子數(shù)為1至8 的烷基，R3至R9分別獨(dú)立地為氫、鹵原子或者碳原子數(shù)為1至8的烷基；在化學(xué)式2中，R1 為碳原子數(shù)為1至8的烷基，R2至R11分別獨(dú)立地為氫、鹵原子或者碳原子數(shù)為1至8的 烷基。
[0032] 所述三聚氰胺交聯(lián)劑可由以下化學(xué)式3表示。
[0033][化學(xué)式3]
[0035]其中，R1、R2、R3分別獨(dú)立地為-CH20(CH2) nCH3(其中n為0至3的整數(shù)）；R4、R5、 R6分別獨(dú)立地或者同時(shí)為氫、_(CH 2)OH或-CH20(CH2)nCH3 (其中n為0至3的整數(shù)）。
[0036] 所述感光樹(shù)脂組合物可進(jìn)一步包含硅烷偶聯(lián)劑。
[0037] 通過(guò)使所述不飽和羧酸、所述不飽和羧酸酐或者所述不飽和羧酸和所述不飽和羧 酸酐的混合物5重量份至40重量份，與所述烯烴類不飽和化合物或者所述烯烴類不飽和化 合物的混合物60重量份至95重量份進(jìn)行共聚，并去除未反應(yīng)單體后獲得的所述丙烯酸類 共聚物的含量可為100重量份；所述光起始劑的含量可為〇. 1重量份至30重量份；所述多 官能丙烯酸低聚物的含量可為1重量份至50重量份；所述具有乙烯性不飽和鍵的多官能性 單體的含量可為1重量份至50重量份；所述三聚氰胺交聯(lián)劑的含量可為0. 1重量份至30 重量份；所述硅烷偶聯(lián)劑的含量可為〇. 1重量份至30重量份。
[0038] 此外，所述感光樹(shù)脂組合物可進(jìn)一步包含溶劑，從而使固體含量成為10重量份至 50重量份。
[0039] 如此，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，在形成薄膜結(jié)構(gòu)的過(guò)程中，可使用能防止綠化，且靈 敏度、解析度、耐熱性、黏著力等特性優(yōu)異的新型感光樹(shù)脂組合物。
【附圖說(shuō)明】
[0040] 圖1為示出本發(fā)明一實(shí)施例的顯示裝置的俯視圖。
[0041] 圖2為沿著圖1的剖線11-11'及II' -II'的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0042] 參照附圖，以下對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。但本發(fā)明并不局限于在 此說(shuō)明的實(shí)施例，而是能夠以多種形式具體化。相反地，在此介紹的實(shí)施例是為了讓公開(kāi)的 內(nèi)容更加徹底而完整，且讓本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠更加充分地理解本發(fā)明的思想。
[0043] 在附圖中，層及區(qū)域的厚度是為了清楚表示而夸大繪制。而且，提及到某層位于其 他層或基板之「上」時(shí)，表示該層可直接形成在其他層或基板的上面，或者在與其他層或基 板之間可設(shè)置有第三層。在通篇說(shuō)明書(shū)中，相同的圖號(hào)表示相同的結(jié)構(gòu)。
[0044] 本發(fā)明一實(shí)施例的感光樹(shù)脂組合物包含：通過(guò)使不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或者 所述不飽和羧酸和所述不飽和羧酸酐的混合物，與烯烴類不飽和