內(nèi)置式ccd安防監(jiān)控濾光片的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉一種內(nèi)置式c⑶安防監(jiān)控濾光片的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，由于反恐、國土安全、社會安全以及發(fā)展智能交通的需要，世界上各個國 家都在安防監(jiān)控領(lǐng)域加大了投入，其中圖像識別技術(shù)包括人臉識別和車牌識別技術(shù)是重要 的一個發(fā)展方向。我國人口規(guī)模巨大，經(jīng)濟(jì)增長迅速，對可靠的人臉識別技術(shù)以及安全的智 能交通的需求也越來越迫切。幾年前，人臉識別在生物識別中的市場份額微不足道，到2007 年，市場份額迅速上升到12. 9%，僅小于指紋識別，并且比重還在不斷增加。車牌照的識別 是一項新型技術(shù)，眾多企業(yè)已立項了產(chǎn)品的研發(fā)，相信在不久的將來，車牌識別產(chǎn)品就會面 世。也正是圖像識別產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，極大地促進(jìn)了作為圖像攝取系統(tǒng)中核心元件之一 的光學(xué)窄帶濾光片的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。
[0003] 真空鍍膜生產(chǎn)窄帶濾光片以歐洲、美國的技術(shù)最為先進(jìn)，歐、美國家研制的鍍膜設(shè) 備能夠在無色玻璃基片上鍍制各種復(fù)雜的薄膜，實現(xiàn)小型化，集成化，有些公司還能直接將 薄膜鍍制在CCD傳感器上，但相對較高的制造成本導(dǎo)致的低性價比，又大大限制了產(chǎn)品的 市場。在國內(nèi)，鍍膜設(shè)備、鍍膜技術(shù)水平普遍較低，大多數(shù)光學(xué)薄膜生產(chǎn)廠都只能制備膜層 相對簡單的濾光片，能生產(chǎn)窄帶濾光片的廠家極少，而且還只能依賴顏色玻璃片作為基底， 進(jìn)行膜層數(shù)較少的設(shè)計與鍍制，與國外水平想距甚遠(yuǎn)。潛在市場的巨大需求和技術(shù)實現(xiàn)上 的差距，促進(jìn)了國內(nèi)窄帶光學(xué)濾光片的研究，深圳飛萊特光電技術(shù)有限公司就是正在研發(fā) 超薄型小面積的窄帶濾光片的企業(yè)之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，旨 在充分利用自有的技術(shù)優(yōu)勢，研發(fā)出小型化、成本低的用于圖像識別系統(tǒng)的產(chǎn)品，參與全球 競爭，實現(xiàn)良好經(jīng)濟(jì)效益、社會效益。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實施例提供一種內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制 備方法，包括如下步驟：
[0006]步驟 1 :將玻璃片加工成：455_X355_X0? 55mm-60mmX60mmX0. 55mm的玻璃基 片；
[0007] 步驟2 :步驟1所得的玻璃基片進(jìn)行超聲波清洗，去除表面的灰塵、臟印及其他有 機(jī)或無機(jī)的吸附物；
[0008] 步驟3:將步驟2所得玻璃基片進(jìn)行干燥；
[0009] 步驟4:在局部100級超凈的環(huán)境中，將步驟3所得玻璃基片轉(zhuǎn)移到鍍膜夾具上， 再轉(zhuǎn)移到鍍膜傘上，進(jìn)入真空室進(jìn)行烘烤以及抽真空；
[0010] 步驟5 :將步驟4所得玻璃基片兩面進(jìn)行離子束輔助電子束真空鍍膜，得半成品；
[0011] 步驟6 :將半成品裁切成客戶需要的小尺寸，得成品；
[0012] 步驟7 :對成品進(jìn)行清洗、檢驗，最后包裝入庫。
[0013] 作為優(yōu)選，所述步驟3的干燥方式是潔凈強(qiáng)冷風(fēng)干燥。
[0014] 作為優(yōu)選，所述步驟5中采用光控和晶控相結(jié)合的技術(shù)控制膜沉積的厚度。
[0015] 作為優(yōu)選，所述步驟5中的真空鍍膜過程中，對沉積參數(shù)進(jìn)行動態(tài)跟蹤并根據(jù)實 時狀態(tài)進(jìn)行動態(tài)修正。
[0016] 作為優(yōu)選，所述沉積參數(shù)包括真空度、折射率和沉積速率。
[0017] 本發(fā)明能在超薄的無色玻璃基片上完成異常復(fù)雜的薄膜鍍制，使之能滿足CCD安 防監(jiān)控用的光學(xué)性能要求。由于其超薄特性，這種濾光片適合內(nèi)置于CCD傳感器前方，這種 內(nèi)置式濾光片的優(yōu)點是成本低，安裝方便，占空小。在需要彩色和黑白濾光片進(jìn)行頻繁切換 的場合，只有這種超薄型的濾光片才能滿足切換速度快，能耗低，使用壽命長的要求。
【附圖說明】
[0018] 圖1為本發(fā)明的工藝流程圖示意圖。
【具體實施方式】
[0019] 為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具 體實施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0020] 本發(fā)明針對現(xiàn)有的不足提供一種內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，如圖1 所示，包括如下步驟：
[0021] 步驟 1 :將玻璃片加工成：455_X355_X0. 55mm-60_X60_X0. 55mm的玻璃基 片；
[0022] 步驟2 :步驟1所得的玻璃基片進(jìn)行超聲波清洗，去除表面的灰塵、臟印及其他有 機(jī)或無機(jī)的吸附物；
[0023] 步驟3 :將步驟2所得玻璃基片進(jìn)行干燥；
[0024] 步驟4 :在局部100級超凈的環(huán)境中，將步驟3所得玻璃基片轉(zhuǎn)移到鍍膜夾具上， 再轉(zhuǎn)移到鍍膜傘上，進(jìn)入真空室進(jìn)行烘烤以及抽真空；
[0025] 步驟5 :將步驟4所得玻璃基片兩面進(jìn)行離子束輔助電子束真空鍍膜，得半成品；
[0026] 步驟6:將半成品裁切成客戶需要的小尺寸，得成品；
[0027] 步驟7 :對成品進(jìn)打清洗、檢驗，最后包裝入庫。
[0028] 所述步驟3的干燥方式是潔凈強(qiáng)冷風(fēng)干燥。
[0029] 所述步驟5中采用光控和晶控相結(jié)合的技術(shù)控制膜沉積的厚度。
[0030] 所述步驟5中的真空鍍膜過程中，對沉積參數(shù)進(jìn)行動態(tài)跟蹤并根據(jù)實時狀態(tài)進(jìn)行 動態(tài)修正。
[0031] 所述沉積參數(shù)包括真空度、折射率和沉積速率。
[0032] 其中，本發(fā)明采用
[0033] (1)光控和晶控相結(jié)合的技術(shù)控制薄膜沉積厚度，對窄帶濾光片膜系結(jié)構(gòu)中的非 耦合層膜層采用光控技術(shù)，對耦合層膜層采用晶控技術(shù)。為減少耦合層光學(xué)厚度的誤差，取 了離耦合層最近的一層已經(jīng)鍍制過的、與耦合層材料相同的膜層物理厚度做為耦合層監(jiān)控 的實際厚度。該技術(shù)已申請國家發(fā)明專利，該專利技術(shù)的直接效果是，使得"內(nèi)置式CCD安 防監(jiān)控濾光片"的產(chǎn)業(yè)化成為可能，產(chǎn)品的成功率達(dá)到95%以上。而常規(guī)的光控技術(shù)或常 規(guī)的晶控技術(shù)只有理論上的可行性，在實際生產(chǎn)控制過程中，產(chǎn)品成功率不到10%。
[0034] (2)采用了自行設(shè)計的干燥設(shè)備對超聲波清洗過的玻璃基片進(jìn)行干燥。干燥設(shè) 備采用潔凈強(qiáng)冷風(fēng)吹干的方式對玻璃基片進(jìn)行風(fēng)干，避免了干燥過程中在玻璃表面出現(xiàn)水 印。設(shè)備的制造成本低、運行成本低、操作方便。潔凈強(qiáng)冷風(fēng)干與普通熱風(fēng)烘干的效果對比 見表1
【主權(quán)項】
1. 內(nèi)置式CXD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟1 :將玻璃片加工成：455_X355_X0. 55mm-60_X60_X0. 55mm的玻璃基片； 步驟2 :步驟1所得的玻璃基片進(jìn)行超聲波清洗，去除表面的灰塵、臟印及其他有機(jī)或 無機(jī)的吸附物； 步驟3 :將步驟2所得玻璃基片進(jìn)行干燥； 步驟4 :在局部100級超凈的環(huán)境中，將步驟3所得玻璃基片轉(zhuǎn)移到鍍膜夾具上，再轉(zhuǎn) 移到鍍膜傘上，進(jìn)入真空室進(jìn)行烘烤以及抽真空； 步驟5 :將步驟4所得玻璃基片兩面進(jìn)行離子束輔助電子束真空鍍膜，得半成品； 步驟6 :將半成品裁切成客戶需要的小尺寸，得成品； 步驟7 :對成品進(jìn)行清洗、檢驗，最后包裝入庫。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，其特征在于，所述步 驟3的干燥方式是潔凈強(qiáng)冷風(fēng)干燥。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，其特征在于，所述步 驟5中采用光控和晶控相結(jié)合的技術(shù)控制膜沉積的厚度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，其特征在于，所述步 驟5中的真空鍍膜過程中，對沉積參數(shù)進(jìn)行動態(tài)跟蹤并根據(jù)實時狀態(tài)進(jìn)行動態(tài)修正。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，其特征在于，所述沉 積參數(shù)包括真空度、折射率和沉積速率。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種內(nèi)置式CCD安防監(jiān)控濾光片的制備方法，包括如下步驟：將玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；步驟1所得的玻璃基片進(jìn)行超聲波清洗，去除表面的灰塵、臟印及其他有機(jī)或無機(jī)的吸附物；將步驟2所得玻璃基片進(jìn)行干燥；在局部100級超凈的環(huán)境中，將步驟3所得玻璃基片轉(zhuǎn)移到鍍膜夾具上，再轉(zhuǎn)移到鍍膜傘上，進(jìn)入真空室進(jìn)行烘烤以及抽真空；將步驟4所得玻璃基片兩面進(jìn)行離子束輔助電子束真空鍍膜，得半成品。本發(fā)明能在超薄的無色玻璃基片上完成異常復(fù)雜的薄膜鍍制，使之能滿足CCD安防監(jiān)控用的光學(xué)性能要求，切換速度快，能耗低，使用壽命長的要求。
【IPC分類】C23C14-02, G02B1-10, C23C14-30
【公開號】CN104849778
【申請?zhí)枴緾N201410053079
【發(fā)明人】朱凱敏
【申請人】上海雄漢實業(yè)有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2014年2月17日