平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種機(jī)架結(jié)構(gòu)，尤其涉及平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，屬于曝光機(jī)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光。
[0003]平行光曝光機(jī)是曝光機(jī)的一種，其光源為平行光源。平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)較普通的機(jī)架要求更高，要求有良好的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度以及穩(wěn)定性，同時(shí)需要有合理的布局節(jié)省空間，而現(xiàn)有技術(shù)中一般的機(jī)架結(jié)構(gòu)并不能滿足平行光曝光機(jī)的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較高，穩(wěn)定性較高，布局合理，可滿足平行光曝光機(jī)的需求。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，所述底座包括底部框架及固定連接在所述底部框架上的底板，所述底部框架上設(shè)有互相連接的主機(jī)機(jī)架及工作機(jī)架，所述主機(jī)機(jī)架與所述工作機(jī)架之間設(shè)有隔板，所述隔板具有線路孔，所述主架機(jī)架包括固定安裝在所述底部框架上的四個(gè)長立柱，相鄰長立柱的頂端分別通過上橫梁固定連接，
所述工作機(jī)架包括固接在所述底部框架上的四個(gè)短立柱，其中兩個(gè)短立柱與所述長立柱固定貼合，相鄰短立柱的頂端分別通過連接梁固定連接，位于所述底座長邊兩側(cè)的連接梁上分別固定設(shè)有扶手，位于所述底座長邊兩側(cè)的長立柱之間固定夾持有臺框安裝板，所述臺框安裝板的高度與所述扶手的高度大致相等；
靠近所述隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之一高度處分別連接有第一下球面鏡支撐耳，靠近所述隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之三高度處分別連接有第一上球面鏡支撐耳；位于所述底座短邊上的長立柱的底端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與所述第一下球面鏡支撐耳相配套的第二下球面鏡支撐耳，位于所述底座短邊上的長立柱的頂端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與所述第一上球面鏡支撐耳相配套的第二上球面鏡支撐耳。
[0006]進(jìn)一步地，所述主機(jī)機(jī)架的長度與所述工作機(jī)架的長度相等，所述主機(jī)機(jī)架的寬度與所述工作機(jī)架的寬度相等。
[0007]本發(fā)明所述的平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，其有益效果是:結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較高，穩(wěn)定性較高，布局合理，滿足了平行光曝光機(jī)的需求。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明所述平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖； 圖2為本發(fā)明所述平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)的主視圖；
圖3為圖2的右視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0010]如圖1、圖2及圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例所述的平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座10，底座10包括底部框架11及固定連接在底部框架11上的底板12，底部框架11上設(shè)有互相連接的主機(jī)機(jī)架20及工作機(jī)架30，主機(jī)機(jī)架20與工作機(jī)架30之間設(shè)有隔板40，隔板40具有線路孔41，主架機(jī)架20包括固定安裝在底部框架11上的四個(gè)長立柱21，相鄰長立柱21的頂端分別通過上橫梁22固定連接。
[0011]工作機(jī)架30包括固接在底部框架11上的四個(gè)短立柱31，其中兩個(gè)短立柱31與長立柱21固定貼合，相鄰短立柱31的頂端分別通過連接梁32固定連接，位于底座10長邊1a兩側(cè)的連接梁32上分別固定設(shè)有扶手33，位于底座10長邊1a兩側(cè)的長立柱21之間固定夾持有臺框安裝板23，臺框安裝板23的高度與扶手33的高度大致相等。
[0012]靠近隔板40的兩個(gè)長立柱21內(nèi)側(cè)四分之一高度處分別連接有第一下球面鏡支撐耳51，靠近隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之三高度處分別連接有第一上球面鏡支撐耳61 ;位于底座10短邊1b上的長立柱21的底端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與第一下球面鏡支撐耳51相配套的第二下球面鏡支撐耳52，位于底座10短邊1b上的長立柱21的頂端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與第一上球面鏡支撐耳61相配套的第二上球面鏡支撐耳62。
[0013]主機(jī)機(jī)架20的長度與工作機(jī)架30的長度相等，主機(jī)機(jī)架20的寬度與工作機(jī)架30的寬度相等。
[0014]以上所述僅為說明本發(fā)明的實(shí)施方式，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，其特征在于，所述底座包括底部框架及固定連接在所述底部框架上的底板，所述底部框架上設(shè)有互相連接的主機(jī)機(jī)架及工作機(jī)架，所述主機(jī)機(jī)架與所述工作機(jī)架之間設(shè)有隔板，所述隔板具有線路孔，所述主架機(jī)架包括固定安裝在所述底部框架上的四個(gè)長立柱，相鄰長立柱的頂端分別通過上橫梁固定連接， 所述工作機(jī)架包括固接在所述底部框架上的四個(gè)短立柱，其中兩個(gè)短立柱與所述長立柱固定貼合，相鄰短立柱的頂端分別通過連接梁固定連接，位于所述底座長邊兩側(cè)的連接梁上分別固定設(shè)有扶手，位于所述底座長邊兩側(cè)的長立柱之間固定夾持有臺框安裝板，所述臺框安裝板的高度與所述扶手的高度大致相等； 靠近所述隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之一高度處分別連接有第一下球面鏡支撐耳，靠近所述隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之三高度處分別連接有第一上球面鏡支撐耳；位于所述底座短邊上的長立柱的底端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與所述第一下球面鏡支撐耳相配套的第二下球面鏡支撐耳，位于所述底座短邊上的長立柱的頂端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與所述第一上球面鏡支撐耳相配套的第二上球面鏡支撐耳。
2.如權(quán)利要求1所述的平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述主機(jī)機(jī)架的長度與所述工作機(jī)架的長度相等，所述主機(jī)機(jī)架的寬度與所述工作機(jī)架的寬度相等。
【專利摘要】本發(fā)明涉及平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，包括矩形的底座，底座包括底部框架及固定連接在底部框架上的底板，底部框架上設(shè)有互相連接的主機(jī)機(jī)架及工作機(jī)架，靠近隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之一高度處分別連接有第一下球面鏡支撐耳，靠近隔板的兩個(gè)長立柱內(nèi)側(cè)四分之三高度處分別連接有第一上球面鏡支撐耳；位于底座短邊上的長立柱的底端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與第一下球面鏡支撐耳相配套的第二下球面鏡支撐耳，位于底座短邊上的長立柱的頂端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有與第一上球面鏡支撐耳相配套的第二上球面鏡支撐耳。本發(fā)明的平行光曝光機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)，其有益效果是：結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較高，穩(wěn)定性較高，布局合理，滿足了平行光曝光機(jī)的需求。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN104635425
【申請?zhí)枴緾N201310561114
【發(fā)明人】韓懿琰
【申請人】無錫新奇特鈑金機(jī)械有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2013年11月13日