本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)激光成像技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)是一種用于鏡筒調(diào)焦的微調(diào)裝置。

背景技術(shù)：

曝光組件是PCB光刻設(shè)備的核心部件，通過(guò)曝光組件對(duì)PCB上感光膠進(jìn)行曝光，產(chǎn)生相應(yīng)的圖形，而后通過(guò)一系列的工藝制作出所需要的PCB板。由于現(xiàn)在PCB板線(xiàn)路的線(xiàn)寬非常細(xì)，達(dá)到微米級(jí)，曝光組件的曝光效果要求非常高，而在設(shè)備中曝光組件往往非常重，如何對(duì)曝光組件的焦面能夠精細(xì)調(diào)整就非常關(guān)鍵。因此研究出一種能夠?qū)ζ毓饨M件中鏡筒的焦距進(jìn)行精細(xì)微調(diào)的裝置已經(jīng)成為急需解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中鏡筒難以進(jìn)行精細(xì)微調(diào)的缺陷，提供一種用于鏡筒調(diào)焦的微調(diào)裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種用于鏡筒調(diào)焦的微調(diào)裝置，包括鏡筒和臺(tái)面，鏡筒的外壁上設(shè)有環(huán)形凸臺(tái)，

還包括承載臺(tái)、固定座和調(diào)節(jié)座，固定座和調(diào)節(jié)座均為半圓形結(jié)構(gòu)，固定座的上表面和調(diào)節(jié)座的上表面均為斜面結(jié)構(gòu)，固定座和調(diào)節(jié)座放置在臺(tái)面上且兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，當(dāng)固定座與調(diào)節(jié)座相接在一起時(shí)，固定座上表面與調(diào)節(jié)座上表面組成倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，固定座的上表面和調(diào)節(jié)座的上表面均設(shè)有若干個(gè)滾珠凹槽，若干個(gè)滾珠凹槽內(nèi)均安裝有滾珠；承載臺(tái)的底部為倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，承載臺(tái)放置在固定座和調(diào)節(jié)座上，環(huán)形凸臺(tái)安裝在承載臺(tái)上且鏡筒穿過(guò)承載臺(tái)和臺(tái)面。

還包括輔助調(diào)節(jié)組件，所述的輔助調(diào)節(jié)組件包括螺孔座和螺桿座，螺孔座安裝在固定座的外側(cè)部，螺桿座安裝在調(diào)節(jié)座的外側(cè)部，螺孔座上設(shè)有螺孔，蝶形螺栓安裝在螺桿座上且蝶形螺栓的前端固定在螺孔座的螺孔內(nèi)。

所述的承載臺(tái)下表面的直徑大于固定座與調(diào)節(jié)座相接組合在一起所形成圓臺(tái)下表面的直徑，承載臺(tái)上表面的外壁均與固定座的外壁、調(diào)節(jié)座的外壁上下對(duì)應(yīng)。

有益效果

本實(shí)用新型的一種用于鏡筒調(diào)焦的微調(diào)裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比通過(guò)滾珠和斜坡面的巧妙結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得控制固定座和調(diào)節(jié)座之間的距離變化來(lái)推動(dòng)承載臺(tái)的上下移動(dòng)，從而改變鏡筒與焦面之間的距離，達(dá)到較好成像的結(jié)果。本實(shí)用新型能夠方便實(shí)時(shí)調(diào)整距離，保證整個(gè)光路曝光效果完好，有效的解決了機(jī)臺(tái)在安裝過(guò)程中調(diào)節(jié)焦面的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)正視圖；

圖2為本實(shí)用新型中承載臺(tái)、固定座和調(diào)節(jié)座的安裝結(jié)構(gòu)立體圖；

圖3為圖1的縱向剖視圖；

圖4為圖2的A-A向剖視圖；

其中，1-承載臺(tái)、2-固定座、3-調(diào)節(jié)座、4-蝶形螺栓、5-鏡筒、6-臺(tái)面、7-滾珠、8-環(huán)形凸臺(tái)、9-螺孔座、10-螺桿座。

具體實(shí)施方式

為使對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說(shuō)明，說(shuō)明如下：

如圖1和圖3所示，本實(shí)用新型所述的一種用于鏡筒調(diào)焦的微調(diào)裝置，包括鏡筒5和臺(tái)面6，鏡筒5的外壁上設(shè)有環(huán)形凸臺(tái)8，環(huán)形凸臺(tái)8與鏡筒5為現(xiàn)有技術(shù)中的一體結(jié)構(gòu)，環(huán)形凸臺(tái)8用于鏡筒5的安裝固定。為了能夠使得鏡筒5能夠進(jìn)行上下位移，如圖2和圖4所示，在此設(shè)計(jì)承載臺(tái)1、固定座2和調(diào)節(jié)座3。固定座2和調(diào)節(jié)座3均為半圓形結(jié)構(gòu)，在固定座2的上表面和調(diào)節(jié)座3的上表面均為斜面結(jié)構(gòu)，即固定座2的上表面和調(diào)節(jié)座3的上表面均為斜向內(nèi)凹的錐形設(shè)計(jì)。固定座2和調(diào)節(jié)座3放置在臺(tái)面6上且兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，固定座2和調(diào)節(jié)座3由于需要左右位移，其與臺(tái)面6并不固定，若為了增加固定座2和調(diào)節(jié)座3的位移穩(wěn)定性，則可以在固定座2或調(diào)節(jié)座3與臺(tái)面6之間設(shè)計(jì)軌道，使得固定座2和調(diào)節(jié)座3能夠在臺(tái)面6進(jìn)行限位滑動(dòng)。當(dāng)固定座2與調(diào)節(jié)座3相接在一起時(shí)，固定座2上表面與調(diào)節(jié)座3上表面組成倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，固定座2上表面與調(diào)節(jié)座3上表面所組成的倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)用于配合承載臺(tái)1的底部倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)而使用。

承載臺(tái)1的底部為倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，其倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)為圓臺(tái)結(jié)構(gòu)反過(guò)來(lái)的形狀，即與圓臺(tái)不同的是倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)為上圓大、下圓小。承載臺(tái)1底部的倒置圓臺(tái)結(jié)構(gòu)以配合固定座2與調(diào)節(jié)座3的組合設(shè)計(jì)，承載臺(tái)1放置在固定座2和調(diào)節(jié)座3上。環(huán)形凸臺(tái)8安裝在承載臺(tái)1上且鏡筒5穿過(guò)承載臺(tái)1和臺(tái)面6，通過(guò)承載臺(tái)1的上下移動(dòng)則可以帶動(dòng)環(huán)形凸臺(tái)8的上下移動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)固定座2與調(diào)節(jié)座3的相對(duì)運(yùn)動(dòng)致使承載臺(tái)1的上下位移，在固定座2的上表面和調(diào)節(jié)座3的上表面均設(shè)有若干個(gè)滾珠凹槽，若干個(gè)滾珠凹槽內(nèi)均安裝有滾珠7，則滾珠7的數(shù)量也為多個(gè)。這樣便形成基于固定座2與調(diào)節(jié)座3兩者間距的改變而形成承載臺(tái)1的上下移動(dòng)。

為了方便的控制固定座2與調(diào)節(jié)座3兩者的間距距離，還可以設(shè)計(jì)輔助調(diào)節(jié)組件，輔助調(diào)節(jié)組件的數(shù)量最好為2個(gè)，2個(gè)輔助調(diào)節(jié)組件呈鏡像對(duì)應(yīng)布置，其穩(wěn)定性較好。輔助調(diào)節(jié)組件包括螺孔座9和螺桿座10，螺孔座9上設(shè)有螺孔，螺孔座9用于蝶形螺栓4的前端插入，螺桿座10用于安裝蝶形螺栓4。螺孔座9安裝在固定座2的外側(cè)部，螺桿座10安裝在調(diào)節(jié)座3的外側(cè)部，固定座2和調(diào)節(jié)座3兩者位置相對(duì)應(yīng)。蝶形螺栓4安裝在螺桿座10上且蝶形螺栓4的前端固定在螺孔座9的螺孔內(nèi)，這樣通過(guò)旋轉(zhuǎn)蝶形螺栓4的蝶形螺母便可以基于螺孔座9推動(dòng)螺桿座10向其靠近或遠(yuǎn)離，實(shí)現(xiàn)固定座2和調(diào)節(jié)座3的靠近或遠(yuǎn)離。

為了更加方便固定座2與調(diào)節(jié)座3的間距控制來(lái)帶動(dòng)承載臺(tái)1的上升和下降，可以設(shè)計(jì)承載臺(tái)1下表面的直徑大于固定座2與調(diào)節(jié)座3相接組合在一起所形成圓臺(tái)下表面的直徑，并且承載臺(tái)1上表面的外壁均與固定座2的外壁、調(diào)節(jié)座3的外壁上下對(duì)應(yīng)，如圖2所示，這樣便可以形成固定座2與調(diào)節(jié)座3之間的間距設(shè)計(jì)，為固定座2與調(diào)節(jié)座3之間的位移運(yùn)動(dòng)提供一定的位移范圍。

在實(shí)際使用時(shí)，當(dāng)需要鏡筒5上升時(shí)，旋轉(zhuǎn)蝶形螺栓4的蝶形螺母，使其推動(dòng)螺桿座10向螺孔座9方向運(yùn)動(dòng)，即調(diào)節(jié)座3向固定座2方向運(yùn)動(dòng)。由于調(diào)節(jié)座3和固定座2上表面設(shè)有多個(gè)滾珠7，并且調(diào)節(jié)座3和固定座2的上表面與承載臺(tái)1的下表面為相配合的圓臺(tái)設(shè)計(jì)，因此承載臺(tái)1在滾珠7的轉(zhuǎn)動(dòng)下被調(diào)節(jié)座3和固定座2給頂起，即承載臺(tái)1的四周位于調(diào)節(jié)座3和固定座2上表面斜面結(jié)構(gòu)的上部，從而實(shí)現(xiàn)承載臺(tái)1上升，承載臺(tái)1帶動(dòng)鏡筒5的上升。當(dāng)需要鏡筒5下降時(shí)，反向旋轉(zhuǎn)蝶形螺栓4的蝶形螺母，使其推動(dòng)螺桿座10向遠(yuǎn)離螺孔座9方向運(yùn)動(dòng)，即調(diào)節(jié)座3與固定座2拉開(kāi)距離。此時(shí)承載臺(tái)1在滾珠7的轉(zhuǎn)動(dòng)下被調(diào)節(jié)座3和固定座2給沉下，即承載臺(tái)1的四周位于調(diào)節(jié)座3和固定座2上表面斜面結(jié)構(gòu)的下部，從而實(shí)現(xiàn)承載臺(tái)1下降，承載臺(tái)1則帶動(dòng)鏡筒5的下降。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等同物界定。