一種燈箱移動裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及曝光【技術領域】,具體而言,涉及一種燈箱移動裝置,包括橫梁和二維運動平臺,二維運動平臺安裝于橫梁上,二維運動平臺通過支撐架與燈箱連接;橫梁與豎梁連接,并通過豎梁固定于機架上。本實用新型提供的燈箱移動裝置,通過二維運動平臺控制燈箱在X和Y方向上運動,實現(xiàn)燈箱做二維運動,同時,能夠通過控制二維運動平臺移動軌跡和速度,滿足紫外光的高均勻度和不同能量需求,避免局部的能量疊加和不均。
【專利說明】一種燈箱移動裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及曝光【技術領域】,具體而言,涉及一種燈箱移動裝置。
【背景技術】
[0002]曝光機中光源決定曝光的質量,為了提高曝光質量,有人采用UV-LED燈矩陣燈箱的方式作為光源進行曝光,但是,多個UV-LED燈排列,相鄰的UV-LED燈之間存在疊加或能量小的現(xiàn)象,影響曝光質量。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種燈箱移動裝置,以解決上述的問題。
[0004]在本實用新型的實施例中提供了一種燈箱移動裝置,包括橫梁和二維運動平臺,所述二維運動平臺安裝于所述橫梁上,所述二維運動平臺通過支撐架與燈箱連接;所述橫梁與豎梁連接,并通過豎梁固定于機架上,所述支撐架包括兩個角鋼,兩個所述角鋼與所述燈箱連接,兩個所述角鋼之間設有橫板,所述二維運動平臺設于所述橫板與所述橫梁之間。
[0005]本實用新型實施例提供的一種燈箱移動裝置,通過二維運動平臺控制燈箱在X和Y方向上運動,實現(xiàn)燈箱做二維運動,同時,能夠通過控制二維運動平臺移動軌跡和速度,滿足紫外光的高均勻度和不同能量需求,避免局部的能量疊加和不均。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]圖1示出了本實用新型實施例所述的一種燈箱移動裝置的結構示意圖。
[0007]圖中:
[0008]1、橫梁;2、二維運動平臺;3、燈箱;4、豎梁;5、角鋼;6、橫桿。
【具體實施方式】
[0009]下面通過具體的實施例子并結合附圖對本實用新型做進一步的詳細描述。
[0010]如圖1所示,一種燈箱移動裝置,包括橫梁I和二維運動平臺2,二維運動平臺2安裝于橫梁I上,二維運動平臺2通過支撐架與燈箱3連接;橫梁I與豎梁4連接,并通過豎梁4固定于機架上,支撐架包括兩個角鋼5,兩個角鋼5與燈箱3連接,兩個角鋼5之間設有橫板6,二維運動平臺2設于橫板6與橫梁I之間。橫板6與二維運動平臺2連接,且橫板6設于二維運動平臺2的頂部,帶動燈箱3滑動,受力更均勻。
[0011]上述實施例提供的一種燈箱移動裝置,通過二維運動平臺2控制燈箱3在X和Y方向上運動,實現(xiàn)燈箱3做二維運動,同時,能夠通過控制二維運動平臺移動軌跡和速度,滿足紫外光的高均勻度和不同能量需求,避免局部的能量疊加和不均。
[0012]角鋼5與燈箱3上均設有連接孔,連接孔上穿接有固定螺釘。通過螺釘連接,便于拆裝,當燈箱3或移動裝置需要維護或維修時,拆裝方便、快捷。
[0013]橫梁I包括兩根相互平行的型材,與豎梁的穩(wěn)固連接,再連接在機架上,使燈箱運動時穩(wěn)定,震動小,保持曝光機的正常運轉。
[0014]優(yōu)選的,燈箱3與二維運動平臺2通過兩個支撐架連接,兩個支撐架起穩(wěn)定作用。
[0015]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本實用新型,對于本領域的技術人員來說,本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種燈箱移動裝置,其特征在于,包括橫梁和二維運動平臺,所述二維運動平臺安裝于所述橫梁上,所述二維運動平臺通過支撐架與燈箱連接;所述橫梁與豎梁連接,并通過豎梁固定于機架上,所述支撐架包括兩個角鋼,兩個所述角鋼與所述燈箱連接,兩個所述角鋼之間設有橫板,所述二維運動平臺設于所述橫板與所述橫梁之間。
2.根據(jù)權利要求1所述的燈箱移動裝置,其特征在于,所述角鋼與所述燈箱上均設有連接孔,所述連接孔上穿接有固定螺釘。
3.根據(jù)權利要求1所述的燈箱移動裝置,其特征在于,所述燈箱與所述二維運動平臺通過兩個所述支撐架連接。
【文檔編號】G03F7/20GK203759423SQ201320833387
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年12月17日 優(yōu)先權日:2013年12月17日
【發(fā)明者】李炬, 佘瑞峰, 肖麗, 王金鵬, 李松凌, 李小蓉, 佘振宇 申請人:四川聚能核技術工程有限公司