技術(shù)編號(hào)：2708326
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及曝光，具體而言，涉及一種燈箱移動(dòng)裝置，包括橫梁和二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)安裝于橫梁上，二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過支撐架與燈箱連接；橫梁與豎梁連接，并通過豎梁固定于機(jī)架上。本實(shí)用新型提供的燈箱移動(dòng)裝置，通過二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制燈箱在X和Y方向上運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)燈箱做二維運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，能夠通過控制二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)軌跡和速度，滿足紫外光的高均勻度和不同能量需求，避免局部的能量疊加和不均。專利說明一種燈箱移動(dòng)裝置[0001]本實(shí)用新型涉及曝光，具體而言，涉及一種燈箱移動(dòng)...
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