一種顯影工藝噴嘴的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明顯影工藝噴嘴包括：噴嘴主體，該噴嘴主體的底面開設(shè)條形安裝槽，該條形安裝槽的中部向上設(shè)置一顯影液入口；以及，噴嘴底板，該噴嘴底板上部內(nèi)設(shè)置條形主流道，該條形主流道的上口邊向上設(shè)置法蘭凸臺，底部設(shè)置若干出射流道；所述噴嘴主體和噴嘴底板上下對置安裝，所述條形安裝槽與所述法蘭凸臺配合定位。其中所述出射流道呈細孔狀，且該細孔的深徑比不大于10。本發(fā)明顯影工藝噴嘴用于集成電路芯片顯影工藝中顯影液的輸出，將顯影液出射流道流道從傳統(tǒng)的大深徑比孔流道改為細短孔狀出射流道，由大深徑比孔改為小深徑比孔，解決了現(xiàn)有顯影工藝噴嘴中大深徑比孔難以加工的難題，同時降低了顯影工藝噴嘴的加工周期和加工成本，滿足顯影工藝發(fā)展的要求。
【專利說明】一種顯影工藝噴嘴【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴涂領(lǐng)域，主要應(yīng)用于芯片顯影工藝，具體涉及一種顯影工藝噴嘴。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，顯影設(shè)備中對顯影工藝噴嘴的要求越來越高，不僅要求顯影工藝噴嘴能實現(xiàn)較好的噴涂區(qū)域，同時對噴嘴的加工精度以及成本也提出了很高的要求。
[0003]傳統(tǒng)的顯影工藝噴嘴出射流道的孔徑一般較大，同時出射孔流道較深，噴嘴流道的設(shè)計不具有良好的加工性能。細長孔具有孔徑小、孔深大的特點，現(xiàn)有的一些細長孔出射流道噴嘴，一直存在細長孔深徑比(孔長度/深度與孔直徑的比)大，難以加工的問題。這些大大增加了對噴嘴設(shè)備的要求，延長了噴嘴的加工周期，同時，噴嘴的加工成本也會相應(yīng)提聞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于現(xiàn)有芯片顯影工藝中存在的大深徑比孔難以加工的問題，本發(fā)明提供了一種顯影工藝噴嘴，通過對顯影液流道的設(shè)計，減少出射流道的長度，在實現(xiàn)較好的噴涂效果的同時降低了顯影工藝噴嘴的加工難度，為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案。
[0005]一種顯影工藝噴嘴包括:噴嘴主體，該噴嘴主體的底面開設(shè)條形安裝槽，該條形安裝槽的中部向上設(shè)置一顯影液入口 ；以及，噴嘴底板，該噴嘴底板上部內(nèi)設(shè)置條形主流道，該條形主流道的上口邊向上設(shè)置法蘭凸臺，底部設(shè)置若干出射流道；所述噴嘴主體和噴嘴底板上下對置安裝，所述條形安裝槽與所述法蘭凸臺配合定位。
[0006]其中，所述出射流道間隔分布于所述條形主流道的底部。
[0007]所述出射流道呈細孔狀，且該細孔的深徑比不大于10，該細孔的深度不超過3mm。
[0008]所述顯影液入口包括連接部、出口段部以及該連接部與出口段部之間的窄部。
[0009]所述出口段部與窄部的直徑比為1:0.5-0.8。
[0010]所述噴嘴主體與所述噴嘴底板之間加設(shè)柔性密封墊。
[0011]本發(fā)明顯影工藝噴嘴用于集成電路芯片顯影工藝中顯影液的輸出，將顯影液出射流道從傳統(tǒng)的大深徑比孔流道改為細短孔狀出射流道，由大深徑比孔改為小深徑比孔，解決了現(xiàn)有顯影工藝噴嘴中大深徑比孔難以加工的難題，同時降低了顯影工藝噴嘴的加工周期和加工成本，滿足顯影工藝發(fā)展的要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明顯影工藝噴嘴的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為圖1實施例1截面圖；
圖3為圖2圈示部分的放大圖；
圖4為圖1中噴嘴底板的截面圖；`
圖5為圖1中噴嘴底板的俯視圖?！揪唧w實施方式】
[0013]以下結(jié)合具體實施例對本發(fā)明做詳細描述。
[0014]參照圖1-5，本發(fā)明用于芯片顯影工藝的工藝噴嘴實施例1主要包括噴嘴主體I和噴嘴底板2。
[0015]噴嘴主體I呈條形板狀，噴嘴主體I的底面開設(shè)條形安裝槽12，條形安裝槽12的中部向上設(shè)置一顯影液入口 11。如圖2，顯影液入口 11位于噴嘴主體I的中心處，顯影液入口 11包括帶螺紋的連接部111、出口段部113以及連接部111與出口段部113之間的窄部112。帶螺紋的連接部111用于與傳統(tǒng)顯影液的輸出管連接，該輸出管的孔徑與窄部112孔徑相同。顯影液入口 11的出口段部113與窄部112的直徑比為1:0.75。
[0016]噴嘴底板2上部內(nèi)設(shè)置條形主流道22，條形主流道22的上口邊向上設(shè)置法蘭凸臺21，條形主流道22的底部設(shè)置若干出射流道23。出射流道23間隔分布于主體流道22的底部，該出射流道23呈細孔狀，設(shè)計要求該細孔的深徑比不大于10，且深度不大于3mm。實施例I中該細孔23的直徑為0.3mm，深度為3mm，深徑比為10。條形主流道22的橫截面呈長圓狀，這種設(shè)計方式減少了構(gòu)成出射流道的細孔的深度，便于出射流道23的加工，進而便于噴嘴底板2的整體加工。
[0017]安裝時，噴嘴主體I和噴嘴底板2上下對置固定，所述條形安裝槽12與所述法蘭凸臺21配合定位，法蘭凸臺的上表面與條形凹槽的底面接觸。來自顯影液輸出管(連接在顯影液入口 11的連接部111)的顯影液由顯影液入口 11注入，進而流經(jīng)窄部112、出口段部113、條形主流道22，由各出射流道23噴出。
[0018]為了便于組裝以及噴嘴主體I與噴嘴底板2之間的密封，在噴嘴主體與噴嘴底板之間加設(shè)柔性密封墊，該密封墊采用全氟橡膠制成，以防止顯影液的腐蝕。
[0019]以上通過具體實施例對本發(fā)明做了詳細的說明，這些具體的描述不能認(rèn)為本發(fā)明僅僅限于這些實施例的內(nèi)容。本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思、這些描述并結(jié)合本領(lǐng)域公知常識做出的任何改進、等同替代方案，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯影工藝噴嘴，其特征在于，包括: 噴嘴主體，該噴嘴主體的底面開設(shè)條形安裝槽，該條形安裝槽的中部向上設(shè)置一個顯影液入口 ；以及 噴嘴底板，該噴嘴底板上部內(nèi)設(shè)置條形主流道，該條形主流道的上口邊向上設(shè)置法蘭凸臺，底部設(shè)置若干出射流道；所述噴嘴主體和噴嘴底板上下對置，所述條形安裝槽與所述法蘭凸臺配合定位； 其中，所述出射流道呈細孔狀，且該細孔的深徑比不大于10。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述出射流道間隔分布于所述條形主流道的底部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述細孔的深度不超過3mm ο
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述顯影液入口包括連接部、出口段部以及該連接部與該出口部之間的窄部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述出口段部與窄部的直徑比為 I:0.5-0.8。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述法蘭凸臺的上表面與所述條形凹槽的底面接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述噴嘴主體與所述噴嘴底板之間加設(shè)柔性密封墊。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影工藝噴嘴，其特征在于，所述條形主流道的橫截面呈長圓狀。
【文檔編號】G03F7/30GK103576470SQ201310525953
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月31日
【發(fā)明者】劉學(xué)平, 徐強, 向東, 牟鵬, 王漢 申請人:清華大學(xué)深圳研究生院