專利名稱：探測板組的膠合方法和夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光刻機，特別是一種用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法和夾具，該探測板主要用于分步投影光刻機探測標記的位置對準，該向成果直接影響到分步投影光刻機里的娃片向位光柵自動對準。
背景技術(shù)：
目前歐美國家探測板加工的鍍膜工序安排在零件加工之后，探測板加工沒有對鍍膜標記區(qū)域污染、膠合對零件加工形位的影響?；鶞拭婷嫘稳菀走_到O. 003_，上下面平行度小于O. 006mm的要求。而國內(nèi)加工探測板的板體需要采購國外鍍膜后的標準板體,加工過程要求很高防污染處理，使得加工成品率低風(fēng)險大，遠遠不能滿足90nm光刻機的要求。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法和夾具，對鍍膜標記區(qū)域基準面進行防污染膠合保護，加工基準面面形優(yōu)于O. 003_，上下面平行度小于O. 006mm,使之符合光刻機向位光柵自動對準要求。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下
一種用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于，該方法包括下列步
驟
①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內(nèi)溫度為20 26°C±0. 1°C，濕度為50 70%標準大氣壓下超凈工作臺上進行探測板保護膜和測板組的膠合工作；
②在超凈工作臺，工作人員帶上防靜電手套和口罩，用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精對基準板保護玻璃進行擦拭，在擦拭過程中把鍍膜探側(cè)基準板和基準板保護玻璃放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，把鍍膜探側(cè)基準板和擦拭好的基準板保護玻璃放在玻璃器皿中，防止再次污染；
③從所述的玻璃器皿中取出鍍膜探側(cè)基準板水平放到工作臺面上，鍍膜探側(cè)基準板的鍍膜面向上，將保護膜貼到鍍膜探側(cè)基準板的鍍膜面上，眼睛觀察，如沒有氣泡，則為合格，如有氣泡，則重新再貼，直到合格為止；用刀片按照鍍膜探側(cè)基準板的尺寸大小切去多余保護膜；
④從玻璃器皿中取出基準板保護玻璃水平放到探測板膠合夾具的基準板上，使基準板保護玻璃的兩側(cè)側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的兩個側(cè)基準邊，基準板保護玻璃的另外兩側(cè)側(cè)邊用彈性壓塊壓緊；
⑤將步栗③中貼好保護膜的鍍膜探測基準板水平放到基準板保護玻璃的中間位置，使貼有保護膜的一面向下；鍍膜探測基準板的兩側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的上檔塊，鍍膜探測基準板的另外兩側(cè)邊用彈性壓塊壓緊；
⑥在鍍膜探測基準板上方水平放置配重塊，均勻施加5 8kg重力，用雙組合環(huán)氧樹脂膠對鍍膜探測基準板與基準板保護玻璃接觸的四周邊進行膠合處理，使膠體的寬度和高度控制在1. 5 3mm之間，持續(xù)放置20 24小時，形成探測板組。所述的膠合處理是將雙組合環(huán)氧樹脂膠裝在雙管膠搶上，打開膠筒出口保護蓋，在膠筒出口安裝混膠頭，搬動雙管膠搶沿所述的四周邊連續(xù)均勻涂膠，混膠頭流出膠量2 3g。該方法還包括步驟
⑦取下配重塊，檢查環(huán)氧樹脂膠沿鍍膜探測基準板下鍍膜面間隙侵入量為I 3mm;對侵入量小于Imm是進行補膠；對侵入量大于3mm，進行去除處理后，返回到步驟②；
⑧將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況，如膠合面有水的滲漏點，對滲漏點再次進行膠合處理；
⑨探測板組補充膠合
用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精擦干凈膠合處，混膠頭對準探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補膠，膠體的寬度和高度控制在2. 5 3. 5mm之間，水平放置20 24小時；
⑩探測板組加固膠合
混膠頭對準探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補膠，使膠體的寬度和高度控制在4 5mm之間，水平放置24 26小時，獲得加固探測板組；
(11)用三坐標測量儀測量步驟⑩加固探測板組的上下面平行度、面形是否符合規(guī)定；
(12)對符合規(guī)定的加固探測板組進行包裝，然后放在恒溫箱內(nèi)五天以上，使其完全固化后待用。所述的將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況具體是
將探測板組侵入水I分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水10分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水I小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水3小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水10小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水20 24小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；
將探測板組侵入水120 150小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理。所述的加固探測板組的上下面平行度、面形標準要求為面形優(yōu)于O. 003mm,上下面平行度小于O. 006mm。所述的膠合后探測板膠合組的膠合面的水污染區(qū)域小于2mm。一種用于光刻機的探測板組膠合夾具，其特征在于，該夾具包括基準板，該基準板的相鄰兩邊分別設(shè)有基準靠邊，基準板的另兩邊外側(cè)分別設(shè)有彈性壓塊，在基準靠邊的內(nèi)側(cè)上部設(shè)有上檔塊。所述的彈性壓塊呈~!形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是
通常的探測板加工一般采用薄膜保護方式，鍍膜探測基準板鍍膜保護完全依靠薄膜的附著力來進行防止污染，鍍膜邊緣保護區(qū)域小，很難確保鍍膜邊緣的污染隔離，直接影響加工合格率。I、本發(fā)明解決了如下問題
★通過膠合隔離了鍍膜探測基準板鍍膜標記區(qū)域，保證了在加工過程中鍍膜標記區(qū)域接觸不到污染源；
★在保證有足夠膠合力的前提下，使膠水的擴散面積符合要求；
★盡可能使探測板膠合面無污染或者無雜質(zhì)；
★降低生產(chǎn)成本提高了產(chǎn)品合格率,符合高質(zhì)量要求。2、經(jīng)本發(fā)明方法膠合的探測板組，可確保膠合的探測板組完全符合分步光刻機向位光柵自動對準要求。
圖1是本發(fā)明探測板組夾具的主視圖。圖2是本發(fā)明探測板組夾具的俯視圖。圖3探測板組主視圖。圖中1 一側(cè)基準邊、2 —上檔塊，3 —配重塊、4-彈性壓塊、5-基準板、6-基準板保護玻璃、7-鍍膜探測基準板、8-保護膜。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護范圍。為了防止膠合所處的工房溫度和濕度對膠合的影響的解決方案 凈室內(nèi)溫度為20 26°C ±0. 1°C，濕度為50 70%，標準大氣壓下進行；
I、盡最大可能使鍍膜探測基準板鍍膜面和基準板保護玻璃無污染或者無雜質(zhì)；
解決方案
擦拭需要在至少萬級以上潔凈室里的潔凈工作臺內(nèi)打開鍍膜探測基準板，要帶上防靜電手套和口罩，把鍍膜探測基準板和基準板保護玻璃放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到很難看出灰塵，將保護膜貼到鍍膜探測基準板的鍍膜面上并把貼好膜的鍍膜探測基準板放在特定的玻璃器皿中，防止再次污染。2、保證膠合過程探測板組的形位公差精度
將基準板保護玻璃水平放到基準板5上，兩側(cè)邊緊靠兩個側(cè)基準邊1，并用彈性壓塊4壓緊；將貼好保護膜的鍍膜探側(cè)基準板7水平放到基準板保護玻璃6上，保護膜面向下；基準板保護玻璃6側(cè)邊緊靠兩個上檔塊2，用彈性壓塊同時壓緊；在鍍膜探側(cè)基準板上平面水平放置配重塊，均勻施加5 8kg重力，用雙組合環(huán)氧樹脂膠對鍍膜探側(cè)基準板下鍍膜面四周邊與基準板保護玻璃接觸邊進行環(huán)繞定位膠合。用三坐標測量儀測量加探測板膠合組的上下面平行度。測量平行度、面形符合設(shè)計要求。3、保證膠合區(qū)域牢固無泄漏，確保產(chǎn)品加工的合格率
探測板組進行膠合，膠體寬度 、高度控制到1. 5 3mm，水平放置20 24小時后依次進行以下措施
★將探測板組侵入水I分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水10分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水I小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水3小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水10小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水20 24小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時；
★將探測板組侵入水120 150小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時對滲漏點進行補膠，水平放置20 24小時。4、保證膠合區(qū)域牢固無泄漏，提高產(chǎn)品合格率
為了保證膠合區(qū)域在后續(xù)加工過程中與外界隔離，保證膠合質(zhì)量，提高產(chǎn)品合格率我們采用了分步膠合措施
★用雙組合環(huán)氧樹脂膠裝在雙管膠搶上，安裝混膠頭膠合；
★均勻連續(xù)膠合鍍膜探側(cè)基準板四周邊，膠體寬度、高度控制到1. 5 3mm，水平放置20 24小時；
★檢查環(huán)氧樹脂膠沿鍍膜探測基準板下鍍膜面與基準板保護玻璃之間的間隙侵入量為I 3mm ;對侵入量小于Imm重新進行膠合，對侵入量大于3mm，要將探測板組放到潔凈的容器中用除膠劑去除膠體，轉(zhuǎn)入步栗②；
★用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精擦干凈膠合處，混膠頭對準探測板組膠合處，搬動膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補膠，膠體寬度、高度控制到2. 5 3. 5mm，水平放置20 24小時；
★混膠頭對準探測板組膠合處，搬動膠搶沿膠合4周邊連續(xù)均勻涂補膠，膠體寬度、高度控制到4 5mm，水平放置24 26小時，獲得加固探測板膠合組。圖1是本發(fā)明探測板組夾具的主視圖，圖2是本發(fā)明探測板組夾具的俯視圖，如圖所示，一種用于光刻機的探測板組膠合夾具，包括基準板5，該基準板5的相鄰兩邊分別設(shè)有基準靠邊1，基準板5的另兩邊外側(cè)分別設(shè)有彈性壓塊4，在基準靠邊I的內(nèi)側(cè)上部設(shè)有上檔塊2，彈性壓塊4呈I形。彈性壓塊的下部用于壓緊基準板保護玻璃6，彈性壓塊的上部用于壓緊鍍膜探測基準板7。
權(quán)利要求
1.一種用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于，該方法包括下列步驟①建立超凈工作室和超凈工作臺，室內(nèi)溫度為20 26°C±0. 1°C，濕度為50 70%標準大氣壓下超凈工作臺上進行探測板保護膜和探測板組的膠合工作；②在超凈工作臺，工作人員帶上防靜電手套和口罩，用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精對基準板保護玻璃(6)進行擦拭，在擦拭過程中把鍍膜探側(cè)基準板(7)和基準板保護玻璃(6)放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，把鍍膜探側(cè)基準板(7) 和擦拭好的基準板保護玻璃(6 )放在玻璃器皿中，防止再次污染；③從所述的玻璃器皿中取出鍍膜探側(cè)基準板(7)水平放到工作臺面上，鍍膜探側(cè)基準板(7)的鍍膜面向上，將保護膜(8)貼到鍍膜探側(cè)基準板(7)的鍍膜面上，眼睛觀察，如沒有氣泡，則為合格，如有氣泡，則重新再貼，直到合格為止；用刀片按照鍍膜探側(cè)基準板(7)的尺寸大小切去多余保護膜；④從玻璃器皿中取出基準板保護玻璃(6)水平放到探測板膠合夾具的基準板(5)上， 使基準板保護玻璃(6)的兩側(cè)側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的兩個側(cè)基準邊(1)，基準板保護玻璃(6)的另外兩側(cè)側(cè)邊用彈性壓塊(4)壓緊；⑤將步栗③中貼好保護膜的鍍膜探測基準板(7)水平放到基準板保護玻璃(6)的中間位置，使貼有保護膜的一面向下；鍍膜探測基準板(7)的兩側(cè)邊緊靠探測板組膠合夾具的上檔塊(2)，鍍膜探測基準板(7)的另外兩側(cè)邊用彈性壓塊(4)壓緊；⑥在鍍膜探測基準板(7)上方水平放置配重塊(3)，均勻施加5 8kg重力，用雙組合環(huán)氧樹脂膠對鍍膜探測基準板(7)與基準板保護玻璃(6)接觸的四周邊進行膠合處理，使膠體的寬度和高度控制在I. 5 3mm之間，持續(xù)放置20 24小時，形成探測板組。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于， 所述的膠合處理是將雙組合環(huán)氧樹脂膠裝在雙管膠搶上，打開膠筒出口保護蓋，在膠筒出口安裝混膠頭，搬動雙管膠搶沿所述的四周邊連續(xù)均勻涂膠，混膠頭流出膠量2 3g。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于，該方法還包括步驟⑦取下配重塊(3)，檢查環(huán)氧樹脂膠沿鍍膜探測基準板(7)下鍍膜面間隙侵入量為I 3mm ;對侵入量小于Imm是進行補膠；對侵入量大于3mm，進行去除處理后，返回到步驟②；⑧將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況，如膠合面有水的滲漏點，對滲漏點再次進行膠合處理；⑨探測板組補充膠合用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精擦干凈膠合處，混膠頭對準探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補膠，膠體的寬度和高度控制在2. 5 3. 5mm之間，水平放置20 24小時；⑩探測板組加固膠合混膠頭對準探測板組膠合處，搬動雙管膠搶沿膠合四周邊連續(xù)均勻涂補膠，使膠體的寬度和高度控制在4 5mm之間，水平放置24 26小時，獲得加固探測板組；(11)用三坐標測量儀測量步驟⑩加固探測板組的上下面平行度、面形是否符合規(guī)定；(12)對符合規(guī)定的加固探側(cè)板組進行包裝，然后放在恒溫箱內(nèi)五天以上，使其完全固化后待用。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于， 所述的將探測板組侵入水中檢查膠合漏水情況具體是將探測板組侵入水I分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時， 對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水10分鐘，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水I小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時， 對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水3小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時， 對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水10小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水20 24小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理；將探測板組侵入水120 150小時，取出觀察膠合面有無水的滲漏點，如發(fā)現(xiàn)有水的滲漏點時，對滲漏點再次進行膠合處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，其特征在于， 所述的加固探測板組的上下面平行度、面形標準要求為面形優(yōu)于O. 003mm，上下面平行度小于 O. 006mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探測板組的膠合方法，其特征在于所述的膠合后探測板膠合組的膠合面的水污染區(qū)域小于2mm。
7.一種用于光刻機的探測板組膠合夾具，其特征在于，該夾具包括基準板(5)，該基準板(5)的相鄰兩邊分別設(shè)有基準靠邊(1)，基準板(5)的另兩邊外側(cè)分別設(shè)有彈性壓塊(4)， 在基準靠邊(I)的內(nèi)側(cè)上部設(shè)有上檔塊(2)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于光刻機的探測板組膠合夾具，其特征在于，所述的彈性壓塊(4)呈~!形。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于分步投影光刻機的探測板組的膠合方法，包括①建立超凈工作室和超凈工作臺；②在超凈工作臺對符合要求的基準板保護玻璃用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭；③將保護膜貼到鍍膜探測基準板鍍度膜表面；④將貼好鍍的膜探測基準板和保護玻璃基準板膠合成防水探測板組，以及探測板組膠合夾具。本發(fā)明保證了在加工過程中鍍膜標記區(qū)域接觸不到污染源，減少報廢率，加工的探測板符合分步投影光刻機高質(zhì)量要求。
文檔編號G03F7/20GK102981374SQ20121052990
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月11日
發(fā)明者黃克飛, 魏向榮, 顧亞平 申請人:上?，F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司