專利名稱：光刻膠成膜樹(shù)脂及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子加工領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻膠成膜樹(shù)脂及其制備方法。
背景技術(shù)：
隨著微電子加工工藝的發(fā)展，光刻膠在行業(yè)中得到了廣泛地運(yùn)用。目前常用的正性光刻膠中的成膜樹(shù)脂多為酚醛樹(shù)脂，因其單體為苯酚或取代苯酚和甲醛，在制備過(guò)程中所使用的原料較容易獲得，且較容易合成。所生成的酚醛樹(shù)脂具有一定的堿溶性，使得光刻膠可以通過(guò)堿性溶液進(jìn)行顯影，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。但是，在微電子產(chǎn)品加工的過(guò)程中，需要在高溫環(huán)境下進(jìn)行加工，此時(shí)因光刻膠中酚醛樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為70-120°C，過(guò)高的環(huán)境溫度會(huì)使通過(guò)構(gòu)圖工藝形成的圖形發(fā)生形變，從而無(wú)法實(shí)現(xiàn)高精度的微電子加工。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種熱穩(wěn)定性較高的光刻膠成膜樹(shù)脂及其制備方法。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一方面，本發(fā)明提供了一種光刻膠成膜樹(shù)脂，由式(I)所示的單體A、式(2)所示的單體B和式(3)所示的單體C聚合而成；
權(quán)利要求
1.一種光刻膠成膜樹(shù)脂，其特征在于，由式(I)所示的單體A、式(2)所示的單體B和式(3)所示的單體C聚合而成；
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻膠成膜樹(shù)脂，其特征在于，所述R1-R4各自地選自氫、鹵素、羥基、取代或未取代的C1-C4烷基、C1-C4烷氧基、取代或未取代的C1-C4胺基中的一種； 所述R5-R6各自地選自氫、取代或未取代的烷基和雜環(huán)基中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻膠成膜樹(shù)脂，其特征在于，所述R7選自氫、鹵素、羥基和C1-C4烷基中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻膠成膜樹(shù)脂，其特征在于，所述R8選自羧基或酯基中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光刻膠成膜樹(shù)脂，其特征在于， 所述單體A的物質(zhì)的量的百分比為25%-40% ； 所述單體B的物質(zhì)的量的百分比為35%-45% ； 所述單體C的物質(zhì)的量的百分比為20%-30%。
6.一種光刻膠成膜樹(shù)脂的制備方法，其特征在于，包括 向溶劑中分別混入式(I)所示的單體Α、式(2)所示的單體B、式(3)所示的單體C和引發(fā)劑，形成第一混合溶液；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述R1-R4各自地選自氫、鹵素、羥基、取代或未取代的C1-C4烷基、C1-C4烷氧基、取代或未取代的C1-C4胺基中的一種； 所述R5-R6各自地選自氫、取代或未取代的烷基和雜環(huán)基中的一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述R7選自氫、鹵素、羥基和C1-C4烷基中的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述R8選自羧基或酯基中的一種。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述單體A的物質(zhì)的量的百分比為25%-40% ;所述單體B的物質(zhì)的量的百分比為35%-45% ;所述單體C的物質(zhì)的量的百分比為20%-30%。
11.根據(jù)權(quán)利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述反應(yīng)溫度為80-85°C。
12.根據(jù)權(quán)利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述反應(yīng)時(shí)間為12小時(shí)。
13.根據(jù)權(quán)利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述溶劑為單體總質(zhì)量的8-12倍。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，所述溶劑為二氧六環(huán)或四氫呋喃。
15.根據(jù)權(quán)利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述引發(fā)劑為偶氮二異丁腈、過(guò)氧化苯甲?；蜻^(guò)硫酸銨。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述引發(fā)劑質(zhì)量為單體總質(zhì)量的.0.6%-1%。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠成膜樹(shù)脂及其制備方法，屬于微電子加工領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有技術(shù)中以酚醛樹(shù)脂作為光刻膠成膜樹(shù)脂時(shí)，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度較低，不適于高溫加工的問(wèn)題而設(shè)計(jì)。一種光刻膠成膜樹(shù)脂，由式(1)所示的單體A、式(2)所示的單體B和式(3)所示的單體C聚合而成；其中，所述單體A的物質(zhì)的量的百分比為20%-60%；所述單體B的物質(zhì)的量的百分比為20%-60%；所述單體C的物質(zhì)的量的百分比為10%-60%；所述n為1-10的整數(shù)。
文檔編號(hào)G03F7/004GK102890418SQ20121037954
公開(kāi)日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月29日
發(fā)明者劉陸, 薛建設(shè), 惠官寶 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司