專利名稱：光刻膠的脫泡方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及OLED (有機(jī)發(fā)光二極管)的生產(chǎn)工藝，具體的講是OLED生產(chǎn)過程中的光刻膠的脫泡方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
在OLED生產(chǎn)流程中需要對所使用的光敏聚合物在特定波長的光下曝光特定的時(shí)間，使其能通過光化學(xué)反應(yīng)，使各種物質(zhì)發(fā)生不同的化學(xué)結(jié)構(gòu)變化。當(dāng)在玻璃基板或電路板上對光刻膠(Photo Resist，簡稱PR)進(jìn)行涂布時(shí)，如果PR內(nèi)存有殘留氣泡的話，無法獲得出良好的基板，使基板表面不能滿足生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。PR內(nèi)的氣泡不僅影響基板美觀，而且還降低了 PR自身的功能特性，從而影響產(chǎn)品的等級。 傳統(tǒng)的PR除泡方法是在PR中加入除泡劑，如非硅膠類聚合物等，再通過攪拌機(jī)攪拌使PR和除泡劑充分溶合。而在長時(shí)間的攪拌過程中通常又會誘發(fā)出更多的氣泡，因此這種除泡方式很難將PR和除泡劑進(jìn)行適當(dāng)?shù)幕旌?，并且這種除泡方式還減弱了 PR的性質(zhì)，使制的的基板表面凹凸不平。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述的問題，本發(fā)明提供了一種光刻膠的脫泡方法及設(shè)備，在除去光刻膠內(nèi)氣泡的時(shí)候不需要除泡劑，除泡后保持光刻膠的原有特性，使光刻膠涂布的基板表面光滑平整，提高光刻膠的涂布性能。本發(fā)明光刻膠的脫泡方法，包括在涂布光刻膠之前最多I小時(shí)內(nèi)，通過振蕩裝置將置于容器內(nèi)的光刻膠產(chǎn)生振動，使光刻膠內(nèi)的氣泡上升直到所述氣泡溢出容器。光刻膠(PR)內(nèi)的氣泡受振動后會沿著同一方向移動，這樣就可以使PR內(nèi)的氣泡最終溢出容器，達(dá)到除泡的目的。而振動需在涂布PR前最多I小時(shí)左右進(jìn)行，如果振動和涂布的間隔時(shí)間太長會因PR本身的性質(zhì)特性出現(xiàn)不良的問題。振動時(shí)間最長I小時(shí)左右，優(yōu)選30分鐘左右。本發(fā)明的方法不需要化學(xué)除泡劑，通過簡單的裝置即可實(shí)現(xiàn)PR的除泡，同時(shí)振動還能使PR內(nèi)的添加劑和溶劑充分混合?！N優(yōu)選的方式是，將裝有光刻膠的容器置于超聲波振蕩器的振動板上，超聲波振蕩器由超聲波發(fā)生裝置控制開關(guān)；通過超聲波發(fā)生裝置控制超聲波振蕩器帶動容器內(nèi)的光刻膠振動，使光刻膠內(nèi)的氣泡上升直到氣泡溢出容器。為了使裝有光刻膠的容器更多部位能夠接收到振動，提高除泡和攪拌的效率，優(yōu)選的，將裝有光刻膠的容器的一部分和超聲波振蕩器置于裝有水的容腔中。通過水作為介質(zhì)，超聲波使水產(chǎn)生振動，這樣就能使侵入水中的容器周面都能接收振動。具體的，超聲波振蕩器的振動頻率為40KHz，振動加速度為2500mm/s2 (毫米/秒
2)o進(jìn)一步的，裝有光刻膠的容器的頂部具有使所述氣泡溢出的空隙，例如將容器的頂蓋打開一部分，這樣的目的是避免容器內(nèi)的PR受振動后溢出容器。
優(yōu)選的，在涂布光刻膠之前約30分鐘時(shí)，將光刻膠進(jìn)行所述的振動。本發(fā)明還提供了一種用于上述方法的光刻膠的脫泡設(shè)備，包括有裝有光刻膠的容器，將所述的容器與振蕩裝置連接。優(yōu)選的，所述的振蕩裝置為超聲波振蕩器，容器與超聲波振蕩器的振動板相連，超聲波振蕩器通過數(shù)據(jù)線與控制其開關(guān)的超聲波發(fā)生裝置連接。優(yōu)選的，裝有光刻膠的容器的一部分和超聲波振蕩器置于裝有水的容腔中。優(yōu)選的，裝有光刻膠的容器的頂部 設(shè)有使光刻膠內(nèi)的氣泡溢出的空隙。本發(fā)明的光刻膠的脫泡方法及設(shè)備，能夠在除去光刻膠內(nèi)氣泡的時(shí)候不需要除泡齊U，除泡后能夠保持光刻膠的原有特性，使光刻膠涂布的基板表面光滑平整，明顯的提高了光刻膠的涂布性能，并且還可以任意調(diào)節(jié)光刻膠的量，方便生產(chǎn)的需要。以下結(jié)合實(shí)施例的具體實(shí)施方式
，對本發(fā)明的上述內(nèi)容再作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)例。在不脫離本發(fā)明上述技術(shù)思想情況下，根據(jù)本領(lǐng)域普通技術(shù)知識和慣用手段做出的各種替換或變更，均應(yīng)包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。


圖I為本發(fā)明光刻膠的脫泡設(shè)備的正面示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖I所示本發(fā)明光刻膠的脫泡設(shè)備，包括有裝有光刻膠PR的容器4，將所述的容器4與超聲波振蕩器結(jié)構(gòu)的振蕩裝置2連接，容器4固定連接在超聲波振蕩器的振動板上。超聲波振蕩器結(jié)構(gòu)的振蕩裝置2通過數(shù)據(jù)線與控制其開關(guān)的超聲波發(fā)生裝置I連接。將裝有光刻膠的容器4的一部分和超聲波振蕩器置于裝有水6的容腔3中，容腔3內(nèi)的水面7低于容器4的頂部。將容器4的頂蓋打開一部分產(chǎn)生空隙5，有利于使光刻膠內(nèi)的氣泡從空隙5溢出。使用圖I所示設(shè)備時(shí)，在涂布光刻膠PR之前30分鐘左右，通過超聲波發(fā)生裝置I控制超聲波振蕩器結(jié)構(gòu)的振蕩裝置2，使置于容器內(nèi)4的光刻膠PR產(chǎn)生振動，使光刻膠PR內(nèi)的氣泡上升直到所述氣泡溢出容器4。振蕩裝置2的振動頻率為40KHz，振動加速度為2500mm/s2，沖擊波是數(shù)十大氣壓。由于容器4是置于水6中的，因此能夠?qū)⑺?作為介質(zhì)，超聲波使水6產(chǎn)生振動，這樣容器4的周面也都能接收振動，有利于提高除泡和攪拌光刻膠PR效率。由于光刻膠PR內(nèi)的氣泡在受振動后會向容器4的頂蓋方向移動,這樣就可以使光刻膠PR內(nèi)的氣泡通過空隙5最終溢出容器，達(dá)到除泡的目的。振動時(shí)間最長I小時(shí)左右，優(yōu)選30分鐘左右。本發(fā)明的除泡方法不需要化學(xué)除泡劑，通過簡單的裝置即可實(shí)現(xiàn)光刻膠PR的除泡，同時(shí)振動還能使光刻膠PR內(nèi)的添加劑和溶劑充分混合。
權(quán)利要求
1.光刻膠的脫泡方法，其特征包括在涂布光刻膠之前最多I小時(shí)內(nèi)，通過振蕩裝置將置于容器內(nèi)的光刻膠產(chǎn)生振動，使光刻膠內(nèi)的氣泡上升直到所述氣泡溢出容器。
2.如權(quán)利要求I所述的光刻膠的脫泡方法，其特征包括將裝有光刻膠的容器置于超聲波振蕩器的振動板上，超聲波振蕩器由超聲波發(fā)生裝置控制開關(guān)；通過超聲波發(fā)生裝置控制超聲波振蕩器帶動容器內(nèi)的光刻膠振動，使光刻膠內(nèi)的氣泡上升直到氣泡溢出容器。
3.如權(quán)利要求2所述的光刻膠的脫泡方法，其特征包括將裝有光刻膠的容器的一部分和超聲波振蕩器置于裝有水的容腔中。
4.如權(quán)利要求2所述的光刻膠的脫泡方法，其特征包括超聲波振蕩器的振動頻率為40KHz，振動加速度為2500mm/s2。
5.如權(quán)利要求I至4之一所述的光刻膠的脫泡方法，其特征包括裝有光刻膠的容器的頂部具有使所述氣泡溢出的空隙。
6.如權(quán)利要求I至4之一所述的光刻膠的脫泡方法，其特征包括在涂布光刻膠之前約30分鐘時(shí)，將光刻膠進(jìn)行所述的振動。
7.用于權(quán)利要求I所述方法的光刻膠的脫泡設(shè)備，包括有裝有光刻膠的容器(4)，其特征為將所述的容器(4)與振蕩裝置(2)連接。
8.如權(quán)利要求7所述的光刻膠的脫泡設(shè)備，其特征為所述的振蕩裝置(2)為超聲波振蕩器，容器(4)與超聲波振蕩器的振動板相連，超聲波振蕩器通過數(shù)據(jù)線與控制其開關(guān)的超聲波發(fā)生裝置(I)連接。
9.如權(quán)利要求8所述的光刻膠的脫泡設(shè)備，其特征為裝有光刻膠的容器(4)的一部分和超聲波振蕩器置于裝有水(6)的容腔(3)中。
10.如權(quán)利要求7至9之一所述的光刻膠的脫泡設(shè)備，其特征為裝有光刻膠的容器(4)的頂部設(shè)有使光刻膠內(nèi)的氣泡溢出的空隙(5)。
全文摘要
本發(fā)明涉及光刻膠的脫泡方法及設(shè)備。包括在涂布光刻膠之前最多1小時(shí)內(nèi)，通過振蕩裝置將置于容器內(nèi)的光刻膠產(chǎn)生振動，使光刻膠內(nèi)的氣泡上升直到所述氣泡溢出容器。本發(fā)明的光刻膠的脫泡方法及設(shè)備，能夠在除去光刻膠內(nèi)氣泡的時(shí)候不需要除泡劑，除泡后能夠保持光刻膠的原有特性，使光刻膠涂布的基板表面光滑平整，明顯的提高了光刻膠的涂布性能，并且還可以任意調(diào)節(jié)光刻膠的量，方便生產(chǎn)的需要。
文檔編號G03F7/16GK102778817SQ20121028832
公開日2012年11月14日 申請日期2012年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月14日
發(fā)明者楊海浪, 金鉉東 申請人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司