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有源矩陣基板和顯示裝置的制作方法

文檔序號(hào):2681915閱讀:164來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:有源矩陣基板和顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及在絕緣基板中設(shè)置了有源元件的有源矩陣基板和使用了該有源矩陣基板的顯示裝置。
背景技術(shù)
近年來(lái),使用薄膜晶體管(Thin Film Transistor,以下稱為“TFT”)等作為像素的開(kāi)關(guān)元件的有源矩陣型顯示裝置因響應(yīng)速度快,多灰度級(jí)顯示容易,自電視機(jī)開(kāi)始,已廣泛利用于便攜電話、便攜式游戲機(jī)、車(chē)載用導(dǎo)航裝置等。有源矩陣型顯示裝置通常是有源矩陣基板和相對(duì)基板相互相對(duì)配置,在這些基板之間利用密封材料封入有顯示元件(液晶、有機(jī)EL等)。
另一方面,掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路、數(shù)據(jù)信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路在有源矩陣基板中形成為單片的顯示裝置因能減少邊框區(qū)域、提高可靠性,適合利用于便攜電話、便攜式游戲機(jī)等便攜信息終端。(有源矩陣基板)以下,基于圖9說(shuō)明掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路形成為單片的有源矩陣基板的概要構(gòu)成。圖9是示出有源矩陣基板的主要部分的概要構(gòu)成的俯視圖。如圖9所示,有源矩陣基板20在包括玻璃基板等的絕緣基板21的中央部分形成有顯示區(qū)域22,在該顯示區(qū)域22中,像素電極、顯示驅(qū)動(dòng)用TFT元件(開(kāi)關(guān)元件)(未圖示)形成為矩陣狀。掃描信號(hào)線30連接于顯示驅(qū)動(dòng)用TFT元件的柵極電極,數(shù)據(jù)信號(hào)線31連接于源極電極,像素電極(未圖示)連接于漏極電極。掃描信號(hào)線30和數(shù)據(jù)信號(hào)線31在有源矩陣基板20的顯示區(qū)域22上設(shè)置于相互正交的方向。此外,掃描信號(hào)線30和數(shù)據(jù)信號(hào)線31以不在它們正交的部分相互電連接的方式隔著絕緣層設(shè)置于有源矩陣基板20上的不同層。在顯示區(qū)域22的周?chē)膮^(qū)域并且是在有源矩陣基板20的基板端邊26的附近區(qū)域形成有邊框區(qū)域24,隔著顯示區(qū)域22在該邊框區(qū)域24的左右側(cè)(圖9所示的箭頭X方向)設(shè)置有掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32。掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32與掃描信號(hào)線30電連接,向掃描信號(hào)線30施加掃描信號(hào)。由于隔著顯示區(qū)域22在邊框區(qū)域24的左右兩側(cè)設(shè)置有掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32,因此在從兩側(cè)對(duì)I個(gè)掃描信號(hào)線30輸入信號(hào)的情況下,能夠使信號(hào)的波形鈍化減小。因此,能夠使構(gòu)成掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的多個(gè)驅(qū)動(dòng)用TFT元件的尺寸變小,從而能夠提供邊框區(qū)域24窄的有源矩陣基板20。另一方面,即使是在從單側(cè)對(duì)I個(gè)掃描信號(hào)線30輸入信號(hào)的情況下,也能夠通過(guò)將掃描信號(hào)線30分為由右側(cè)的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32驅(qū)動(dòng)的組和由左側(cè)的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32驅(qū)動(dòng)的組,使有源矩陣基板20左右的邊框區(qū)域24均等。在邊框區(qū)域24的上下側(cè)(圖9所示的箭頭Y方向)中的一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)器33。驅(qū)動(dòng)器33與數(shù)據(jù)信號(hào)線31電連接,向數(shù)據(jù)信號(hào)線31施加數(shù)據(jù)信號(hào)。包括時(shí)鐘配線等的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35與已用金屬薄膜等圖案化的端子34連接,通過(guò)FPC (Flexible printed circuits :柔性印刷電路)(未圖示)等,從夕卜部的DC/DC轉(zhuǎn)換器、顯示控制電路輸入為了使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32動(dòng)作所需的信號(hào)。此外,圖9所示的有源矩陣基板20的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32設(shè)置于顯示區(qū)域22的兩側(cè),但也能是單側(cè)的構(gòu)成。另外,也能是將提供到掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35的信號(hào)從驅(qū)動(dòng)器33提供的構(gòu)成。(專利文獻(xiàn)I)作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的具體構(gòu)成,有例如專利文獻(xiàn)I所記載的構(gòu)成。圖10是示出專利文獻(xiàn)I所記載的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖。如圖10所示,在有源矩陣基板100的邊框區(qū)域,設(shè)置有包括掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路400和時(shí)鐘配線等的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線122、以及連接配線172。在掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路400中設(shè)置有多個(gè)驅(qū)動(dòng)用TFT元件T5/T6/T10/T11/T41 T45等,掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線122直接或者通過(guò)連接配線172向各驅(qū)動(dòng)用TFT元件施加所需的信號(hào)。此外,掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線122和連接配線172通過(guò)2個(gè)接觸孔200電連接?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本公開(kāi)專利公報(bào)“特開(kāi)2006-39524號(hào)公報(bào)(2006年2月9日公開(kāi))”專利文獻(xiàn)2 :日本公開(kāi)專利公報(bào)“特開(kāi)2005-352455號(hào)公報(bào)(2005年12月22日公開(kāi)),,專利文獻(xiàn)3 :日本公開(kāi)專利公報(bào)“特開(kāi)平11-190857號(hào)公報(bào)(1999年7月13日公開(kāi)),,專利文獻(xiàn)4 :日本公開(kāi)專利公報(bào)“特開(kāi)2000-199917號(hào)公報(bào)(2000年7月18日公開(kāi)),,

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題然而,在上述專利文獻(xiàn)I所記載的構(gòu)成中,上述連接配線172為相對(duì)于掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線122而突出的形狀,且上述掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線122和上述連接配線172通過(guò)2個(gè)接觸孔200電連接,因此產(chǎn)生連接部的占有面積變大、邊框區(qū)域變大的問(wèn)題。本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而完成的,其目的在于,提供邊框區(qū)域窄、可靠性高的有源矩陣基板和顯示裝置。用于解決問(wèn)題的方案為了解決上述問(wèn)題,本發(fā)明的有源矩陣基板的特征在于,是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成,在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,
在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件,在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層,在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中,在上述第2絕緣層中設(shè)置有第I接觸孔, 在上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,能使第I配線和上述第2配線連接的部分的占有面積縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,因此能夠減小配線間的漏電。因此,能夠謀求合格率的提聞。為了解決上述問(wèn)題,本發(fā)明的有源矩陣基板的特征在于,是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成,在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件,在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層,在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中,在上述第2絕緣層中設(shè)置有2個(gè)第I接觸孔,上述2個(gè)第I接觸孔各自沿著上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線所延伸的方向設(shè)置,上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線的一部分在俯視時(shí)也設(shè)置于上述2個(gè)第I接觸孔中的某個(gè)接觸孔內(nèi),在上述另一方配線的一部分中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,在2個(gè)部位中,第I配線和第2配線電連接。因此,能夠?qū)⒌贗配線和第2配線可靠地連接,能使可靠性提高。另外,如上所述,能縮小連接部的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,即使在產(chǎn)生了例如第2配線相對(duì)于第I配線的對(duì)準(zhǔn)偏差或者第2配線相對(duì)于接觸孔的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,2個(gè)部位的連接部的面積的總和也不易變動(dòng)。發(fā)明效果本發(fā)明的有源矩陣基板是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩 陣狀而成,在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件,在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層,在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中,在上述第2絕緣層中設(shè)置有第I接觸孔,在上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。因此,能使第I配線和第2配線的連接的部分的占有面積縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞。


圖I的(a)是示出實(shí)施方式I的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖,圖I的(b)是示出圖I的(a)所示的切換部的構(gòu)成的放大圖。圖2是示出實(shí)施方式I的顯示裝置的主要部分的構(gòu)成的側(cè)視圖。圖3的(a)是示出實(shí)施方式I的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖3的(b)是圖3的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。圖4是圖3的(a)所示的切換部的\_V線截面圖。圖5是示出實(shí)施方式I的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖。圖6是示出實(shí)施方式I的連接部的構(gòu)成的俯視圖。圖7的(a) 圖7的(g)是示出實(shí)施方式I的切換部的構(gòu)成的變形例的俯視圖。圖8的(a)是示出實(shí)施方式2的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖8的(b)是圖8的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。圖9是示出現(xiàn)有的有源矩陣基板的主要部分的概要構(gòu)成的俯視圖。圖10是示出專利文獻(xiàn)I所記載的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖。圖11的(a)是示出現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖11的(b)是圖11的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。
圖12的(a)是示出現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖12的(b)是圖11的(a)所示的切換部示出的X-X'線截面圖。
具體實(shí)施例方式以下,詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式?!矊?shí)施方式I〕 基于圖I 圖7如下說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。(顯示裝置)圖2是示出本實(shí)施方式的顯示裝置的主要部分的概要構(gòu)成的側(cè)視圖。如圖2所示,在顯示裝置10中,有源矩陣基板20和相對(duì)基板80隔著密封材料相互相對(duì)配置。相對(duì)基板80具備相對(duì)電極、彩色濾光片(未圖不)。另一方面,有源矩陣基板20在顯示區(qū)域22中以矩陣狀具備像素電極、顯示驅(qū)動(dòng)用TFT元件(未圖示),隔著顯示區(qū)域22在邊框區(qū)域24的兩側(cè),掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32設(shè)置為單片。此外,設(shè)置上述掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的位置沒(méi)有特別限定。例如,作為其它方式,在圖2中,也能在有源矩陣基板20未與相對(duì)基板80重疊的位置,作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32a/32b來(lái)設(shè)置。另外,也能一并設(shè)置圖2中的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32和掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32a/32b。為了避免外部光導(dǎo)致的動(dòng)作不良,掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32以與設(shè)置于相對(duì)基板80的黑矩陣重疊的方式設(shè)置。在作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32a/32b來(lái)設(shè)置的情況下,優(yōu)選實(shí)施將遮光帶等遮光部件配置于32a/32b上等遮光對(duì)策。在此,有源矩陣基板20具有與已基于圖9說(shuō)明的有源矩陣基板20大致同樣的概要構(gòu)成,因此為了便于說(shuō)明,對(duì)于具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略具體說(shuō)明。以下,詳細(xì)地說(shuō)明掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32。(掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路)圖I的(a)是示出本實(shí)施方式的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖,圖I的(b)是示出圖I的(a)所示的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路中的切換部的構(gòu)成的局部放大圖。在此,所謂上述切換部,是指將形成于不同層的配線彼此連接的連接部的一個(gè)例子,為了將以下說(shuō)明的連接分支配線和連接配線的連接部區(qū)別于連接分支配線和主干配線的連接部而使用。如圖I的(a)所示,在有源矩陣基板20的邊框區(qū)域24設(shè)置有掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32和掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35。作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32,設(shè)置有多個(gè)電路部36,在各個(gè)電路部36形成有驅(qū)動(dòng)用TFT元件42。另外,作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35,沿著有源矩陣基板20的Y方向設(shè)置有作為主干配線的低電位電源配線40 ;作為主干配線的第I時(shí)鐘配線41a ;以及作為主干配線的第2時(shí)鐘配線41b。具體地說(shuō),從基板端邊26朝向顯示區(qū)域22的方向設(shè)置有I個(gè)低電位電源配線40、然后是第I時(shí)鐘配線41a、第2時(shí)鐘配線41b。在此,所謂顯示區(qū)域22,是指作為開(kāi)關(guān)元件的顯示驅(qū)動(dòng)用TFT元件(未圖示)和與該顯示驅(qū)動(dòng)用TFT元件連接的像素電極(未圖示)按矩陣狀配置的區(qū)域。另外,為了將掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35和設(shè)置于各電路部36的各驅(qū)動(dòng)用TFT元件42連接,沿著有源矩陣基板20的X方向設(shè)置有作為第2配線的一個(gè)例子的分支配線43。作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35的低電位電源配線40通過(guò)從低電位電源配線40向X方向延伸設(shè)置的分支配線43向驅(qū)動(dòng)用TFT元件42提供低電位信號(hào)。在此,所謂低電位信號(hào),是指為了使TFT元件42成為截止(OFF)狀態(tài)而向TFT元件42的柵極電極提供的信號(hào)。另一方面,作為掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群35的第I時(shí)鐘配線41a和第2時(shí)鐘配線41b通過(guò)分支配線43向驅(qū)動(dòng)用TFT元件42提供時(shí)鐘信號(hào)。此外,在分支配線43與第I時(shí)鐘配線41a及第2時(shí)鐘配線41b的連接部50分別設(shè)置有2個(gè)接觸孔51a/51b,通過(guò)連接導(dǎo)體45,第I時(shí)鐘配線41a及第2時(shí)鐘配線41b與分支配線43電連接。
另外,在沿著X方向設(shè)置多個(gè)電路部36而成的各級(jí)中,設(shè)置有與I個(gè)第I時(shí)鐘配線41a或者第2時(shí)鐘配線41b電連接的分支配線43,通過(guò)該分支配線43,從時(shí)鐘配線41a/41b提供第I時(shí)鐘信號(hào)和第2時(shí)鐘信號(hào)中的某一方時(shí)鐘信號(hào)。此外,在相同級(jí)中,在相互相鄰的電路部36之間,設(shè)置有與分支配線43電連接的作為第I配線的一個(gè)例子的連接配線44,通過(guò)該連接配線44,向一部分電路部36提供上述
一方時(shí)鐘信號(hào)。另外,在不同級(jí)之間,也設(shè)置有連接配線44,通過(guò)該連接配線44,從另一級(jí)分支配線43提供另一方時(shí)鐘信號(hào)。根據(jù)上述構(gòu)成,與在各級(jí)中設(shè)置了與第I時(shí)鐘配線41a和第2時(shí)鐘配線41b分別電連接的2個(gè)分支配線43的構(gòu)成相比,分支配線43的數(shù)量被削減,因此能夠抑制合格率的降低。在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,如圖I的(b)所示,對(duì)于分支配線43,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于接觸孔61內(nèi),在切換部60中,該分支配線43的配線寬度固定,不擴(kuò)大。以下,說(shuō)明各配線使用的導(dǎo)電性材料。(導(dǎo)電性材料)延伸于Y方向的第I時(shí)鐘配線41a及第2時(shí)鐘配線41b與分支配線43設(shè)置于不同層,由形成掃描信號(hào)線30 (參照?qǐng)D9)的第I導(dǎo)電性材料Ml形成。另一方面,延伸于Y方向的低電位電源配線40和延伸于X方向延伸的分支配線43由形成數(shù)據(jù)信號(hào)線31 (參照?qǐng)D9)的第2導(dǎo)電性材料M2形成。另外,分支配線43和連接配線44設(shè)置于不同層,連接配線44由第I導(dǎo)電性材料Ml形成。連接導(dǎo)體45由形成像素電極的第3導(dǎo)電性材料M3形成。在此,能夠使用包括鋁合金膜(Al)的單層膜作為第I導(dǎo)電性材料M1,使用包括鈦(Ti)膜和鋁(Al)膜的層疊膜作為第2導(dǎo)電性材料M2,使用ITO (Indium Tin Oxide :銦錫氧化物)膜作為第3導(dǎo)電性材料M3,但不限于此。例如,也可以使用IZ0(Indium Zincoxide 銦鋅氧化物)等作為第3導(dǎo)電性材料M3。另外,連接導(dǎo)體45不限于形成像素電極的材料。例如,在 FFS (Fringe Field Switching :邊緣電場(chǎng)轉(zhuǎn)換)模式、IPS (In-plane Switching 平面轉(zhuǎn)換)模式等中,也可以在形成像素電極的基板側(cè)形成共用電極,由形成該共用電極的導(dǎo)電性材料形成連接導(dǎo)體45。在本實(shí)施方式中,低電位電源配線40由第2導(dǎo)電性材料M2形成,但也可以由第I導(dǎo)電性材料M I形成。在該情況下,低電位電源配線40和由第2導(dǎo)電性材料M2形成的分支配線43也可以在接觸孔中通過(guò)連接導(dǎo)體45連接。以下,基于圖3 圖4進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明上述切換部60的構(gòu)成。(切換部)首先,說(shuō)明現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成。
圖11的(a)是示出現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖11的(b)是圖11的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。如圖11的(a)所示,在分支配線243和連接配線244的切換部260設(shè)置有2個(gè)接觸孔26la/26Ib,通過(guò)連接導(dǎo)體245,分支配線243和連接配線244電連接。此外,在切換部260中,分支配線243和連接配線244的配線寬度擴(kuò)大。具體地說(shuō),如圖11的(b)所示,在包括玻璃基板等的絕緣基板221上,按順序?qū)盈B有連接配線244、絕緣層247a、分支配線243、絕緣層247b、連接導(dǎo)體245,分支配線243和連接配線244在俯視時(shí)未重疊。此外,在絕緣層247a和分支配線243之間形成有半導(dǎo)體層248。在接觸孔261a中,連接導(dǎo)體245和分支配線243電連接。另一方面,在接觸孔261b中,連接導(dǎo)體245和連接配線244電連接。分支配線243和連接配線244在俯視時(shí)未重疊,分別在接觸孔261a/261b中與連接導(dǎo)體245電連接。因此,切換部260的占有面積大。圖3的(a)是示出本實(shí)施方式的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖3的(b)是圖3的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。如圖3的(a)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,在該接觸孔61中,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,對(duì)于分支配線43,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于接觸孔61內(nèi)。即,在切換部60中,分支配線43的配線寬度固定,不擴(kuò)大。具體地說(shuō),如圖3的(b)所示,在包括玻璃基板等的絕緣基板21上,按順序?qū)盈B有連接配線(第I配線)44、絕緣層(第I絕緣層)47a、分支配線43 (第2配線)、絕緣層(第2絕緣層)47b、連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44在俯視時(shí)重疊。此外,為了防止連接導(dǎo)體45的分段,在絕緣層47a和分支配線43之間形成有半導(dǎo)體層48。上述接觸孔61包括設(shè)置于上述第I絕緣層47a的第2接觸孔和設(shè)置上述第2絕緣層47b的第I接觸孔。詳細(xì)地說(shuō),接觸孔61分為3個(gè)部分接觸孔61A/61B/61C,上述接觸孔61A/61C相當(dāng)于上述第2接觸孔,其上層和上述接觸孔61B相當(dāng)于上述第I接觸孔。并且,在接觸孔61A/61C中,連接導(dǎo)體45和連接配線44電連接。在形成于接觸孔61A/61C之間的接觸孔61B中,連接導(dǎo)體45和分支配線43電連接。S卩,在俯視時(shí),規(guī)定分支配線43的配線寬度的兩個(gè)邊設(shè)置于接觸孔61內(nèi)。
根據(jù)上述構(gòu)成,能夠使本實(shí)施方式的切換部60的占有面積比以往小。另外,由于規(guī)定分支配線43的配線寬度的兩個(gè)邊設(shè)置于接觸孔61內(nèi),因此即使是在制造工序的光刻工序中產(chǎn)生了分支配線43相對(duì)于連接配線44的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,切換部60的面積也不易變動(dòng)。此外,如圖4所示,也可以在從連接配線44至分支配線43的錐形部分中,將絕緣層47a形成為階梯狀。圖4是圖3的(a)所示的切換部的X-X'線截面圖。在此,例如,在將分支配線43和絕緣層47b作為掩模,蝕刻而除去絕緣層47a的情況下,或者,在絕緣層47b是有機(jī)膜(例如丙烯酸系樹(shù)脂膜)和無(wú)機(jī)膜(例如氮化硅膜)的2層結(jié)構(gòu),將上層的有機(jī)膜的圖案和分支配線43作為掩模,蝕刻而除去下層的無(wú)機(jī)膜和絕緣層47a的情況下,分支配線43成為蝕刻阻擋物,因此其下方的絕緣層47a會(huì)殘存。然而,作為掩模而發(fā)揮作用的分支配線43不被蝕刻,因此有時(shí)其下方的絕緣層47a被迅速蝕刻。
在該情況下,絕緣層47a成為進(jìn)入分支配線43下方的倒錐形形狀,連接導(dǎo)體45容易斷線。在本實(shí)施方式中,在分支配線43和絕緣層47a之間配置蝕刻速度比絕緣層47a的蝕刻速度慢的半導(dǎo)體層48,分支配線43下的絕緣層47a不會(huì)被迅速蝕刻。即,能夠?qū)⒔^緣層47a的圖案端部形成為正錐形,能夠減少連接導(dǎo)體45的斷線。在本實(shí)施方式中,是在絕緣層47a和分支配線43之間形成有半導(dǎo)體層48的構(gòu)成,但不限于此,也可以不形成半導(dǎo)體層48。圖5是示出本實(shí)施方式的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的主要部分的構(gòu)成的配置圖。如圖5所示,在掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32內(nèi)設(shè)置有多個(gè)接觸孔61,在該接觸孔61中,分支配線43和連接配線44電連接,各驅(qū)動(dòng)用TFT42相互電連接。此外,規(guī)定分支配線43的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61內(nèi),因此接觸孔61的占有面積縮小,掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使接觸孔61和各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞。以下,基于圖6進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明作為上述主干配線35的第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b和分支配線43的連接部50的構(gòu)成。(連接部)為了抑制高電阻化導(dǎo)致的信號(hào)延遲,作為主干配線35的第I時(shí)鐘配線41a和第2時(shí)鐘配線41b形成為比分支配線43粗。在此,為了連接部的低電阻化和可靠性的提高,有時(shí)對(duì)線寬相對(duì)較寬的I個(gè)配線配置多個(gè)接觸孔。圖6是示出本實(shí)施方式的連接部的構(gòu)成的俯視圖。如圖6所示,在作為第2配線的一個(gè)例子的分支配線43和作為第I配線的一個(gè)例子且作為主干配線的第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b的連接部50,設(shè)置有2個(gè)接觸孔51a/51b,通過(guò)連接導(dǎo)體45,第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b和分支配線43電連接。具體地說(shuō),2個(gè)接觸孔51a/51b均沿著Y方向設(shè)置,分支配線43的一部分在俯視時(shí)也設(shè)置于上述2個(gè)接觸孔51a/51b中的某個(gè)接觸孔內(nèi)。另外,規(guī)定分支配線43的配線寬度的邊中的I邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔51a內(nèi),另一邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔51b內(nèi)。在接觸孔51a中,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b電連接,在接觸孔51b中,也是通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b電連接。S卩,在2個(gè)部位中,分支配線43和第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b電連接。由此,分支配線43和第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b能夠可靠地電連接,能提高可靠性。另外,即使在產(chǎn)生了分支配線43相對(duì)于主干配線35的對(duì)準(zhǔn)偏差或者分支配線43相對(duì)于接觸孔51a/51b的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,2個(gè)部位的連接部的面積的總和也不易變動(dòng)。另外,使分支配線43分別存在于接觸孔51a/51b內(nèi),由此,在設(shè)置有2個(gè)接觸孔51a/51b的構(gòu)成中,能縮小連接部50的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。在本實(shí)施方式中,在分支配線43和第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b的連接部50分別設(shè)置有2個(gè)接觸孔51a/51b,通過(guò)連接導(dǎo)體45,第I時(shí)鐘配線41a/第2時(shí)鐘配線41b和分支配線43分別電連接,但不限于此,也可以是例如與已基于圖3等說(shuō)明的上述切換部60相同的構(gòu)成。 另外,在本實(shí)施方式中,在分支配線43和連接配線44的切換部60,對(duì)I個(gè)配線設(shè)置有I個(gè)接觸孔,但不限于此,也可以對(duì)I個(gè)配線設(shè)置多個(gè)接觸孔,也可以是例如與連接部50相同的構(gòu)成。以下,基于圖7說(shuō)明上述切換部60的變形例?!沧冃卫齀〕基于圖7的(a)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(a)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,在切換部60中,規(guī)定分支配線43的配線寬度的一邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61內(nèi)。另外,在切換部60中,分支配線43的線寬固定,不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,能縮小切換部60的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞?!沧冃卫?〕基于圖7的(b)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(b)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,在切換部60中,規(guī)定分支配線43的配線寬度的一邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61內(nèi)。
另外,分支配線43在俯視時(shí)在接觸孔61內(nèi)設(shè)置有突起部72,其配線寬度擴(kuò)大。通過(guò)對(duì)分支配線43設(shè)置突起部72,調(diào)整切換部60的面積變得容易。例如,在包括第2導(dǎo)電性材料M2的分支配線43和包括第3導(dǎo)電性材料M3的連接導(dǎo)體45的連接電阻比包括第I導(dǎo)電性材料M I的連接配線44和包括第3導(dǎo)電性材料M3的連接導(dǎo)體45的連接電阻高的情況下,能夠通過(guò)追加突起部72,來(lái)擴(kuò)大連接面積,將整體的連接電阻最佳化。
〔變形例3〕基于圖7的(C)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(C)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,在切換部60中,在連接配線44中,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于接觸孔61內(nèi),在分支配線43中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的I邊在俯視時(shí)配置于接觸孔61內(nèi)。另外,在切換部60中,分支配線43和連接配線44的配線寬度固定,不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,能縮小切換部60的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞?!沧冃卫?〕基于圖7的(d)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(d)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61a/61b,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,接觸孔61a/61b沿著連接配線44的延伸方向并列設(shè)置。在接觸孔61b中,連接導(dǎo)體45和分支配線43電連接,在接觸孔61a中,連接導(dǎo)體45和連接配線44電連接。此外,規(guī)定分支配線43的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61b內(nèi)。S卩,在切換部60中,分支配線43的配線寬度固定,不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,能縮小切換部60的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞。〔變形例5〕基于圖7的(e)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。
本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(e)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61a/61b,通過(guò)連接導(dǎo)體45,分支配線43和連接配線44電連接。此外,接觸孔61a/61b沿著分支配線43的延伸方向并列設(shè)置。在接觸孔61b中,連接導(dǎo)體45和分支配線43電連接,在接觸孔61a中,連接導(dǎo)體45和連接配線44電連接。此外,在連接配線44中,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61b內(nèi)。S卩,在切換部60中,連接配線44的線寬固定,不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,能縮小切換部60的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提 聞。〔變形例6〕基于圖7的(f)和圖7的(g)如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)的變形例。上述圖7的(f)是示出本變形例的切換部60的圖,上述圖7的(g)是上述圖7的(f)的X-X'線截面圖。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。本變形例是關(guān)于上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成的例子。如圖7的(f)和圖7的(g)所示,在本變形例中,規(guī)定連接配線(第I配線)44的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于接觸孔61內(nèi)。S卩,規(guī)定作為第I配線的連接配線44的配線寬度的邊在俯視時(shí)配置于在第2絕緣層47b中設(shè)置的接觸孔61,即第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,能夠縮小切換部60的占有面積,因此,如上所述,窄邊框化、合格率的提聞變得容易?!财渌鼧?gòu)成〕基于圖8如下說(shuō)明與本發(fā)明的顯示裝置相關(guān)聯(lián)的其它構(gòu)成。此外,為了便于說(shuō)明,對(duì)于與已在上述實(shí)施方式I中說(shuō)明的附圖具有相同功能的部件,附記相同的附圖標(biāo)記,省略其說(shuō)明。以下的構(gòu)成示出上述的實(shí)施方式I的切換部60的其它構(gòu)成。首先,說(shuō)明現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成。圖12的(a)是示出現(xiàn)有的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖12的(b)是圖12的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。如圖12的(a)所示,在分支配線343和連接配線344的切換部360設(shè)置有接觸孔361,通過(guò)該接觸孔361,分支配線343和連接配線344直接電連接。此外,在切換部360中,分支配線343和連接配線344的配線寬度擴(kuò)大。如圖12的(b)所示,在包括玻璃基板等的絕緣基板321上按順序?qū)盈B有連接配線344、絕緣層347a、分支配線343、絕緣層347b。分支配線343和連接配線344通過(guò)接觸孔361直接電連接。在切換部360中,分支配線343和連接配線344的配線寬度均擴(kuò)大,因此切換部360的占有面積大。圖8的(a)是示出本構(gòu)成的切換部的構(gòu)成的俯視圖,圖8的(b)是圖8的(a)所示的切換部的X-X^線截面圖。如圖8的(a)所示,在分支配線43和連接配線44的切換部60設(shè)置有接觸孔61,通過(guò)該接觸孔61,分支配線43和連接配線44直接電連接。此外,在切換部60中,規(guī)定連接配線44的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)設(shè)置于接觸孔61內(nèi)。即,在切換部60中,連接配線44的配線寬度固定,不擴(kuò)大。具體地說(shuō),如圖8的(b)所示,在包括玻璃基板等的絕緣基板21上按順序?qū)盈B有連接配線44、絕緣層47a、分支配線43、絕緣層47b。分支配線43和連接配線44通過(guò)接觸孔61直接電連接。
此外,在切換部60中,連接配線44的配線寬度不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,能縮小切換部60的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路32的占有面積變小,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提聞。即,上述其它構(gòu)成的有源矩陣基板,是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成,在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件,在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,在上述第I絕緣層中設(shè)置有接觸孔,上述第I配線和上述第2配線在上述接觸孔中不通過(guò)其它連接導(dǎo)體而直接連接,在上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,除了窄邊框化變得容易以外,還能夠抑制電阻值在連接配線和分支配線的連接中的增加。另外,不使用連接導(dǎo)體,因此能夠減少連接導(dǎo)體導(dǎo)致的不良。例如,能夠減少在配線、絕緣膜的邊緣部中連接導(dǎo)體的斷線、在連接部中配置有密封材料的情況下混入到密封材料中的間隔物材料(纖維狀玻璃等)導(dǎo)致的連接導(dǎo)體的斷線。本發(fā)明不限于上述的各實(shí)施方式,能在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更,適當(dāng)組合在不同的實(shí)施方式中分別公開(kāi)的技術(shù)方案而得到的實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍。本發(fā)明的有源矩陣基板的特征在于,是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成,
在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件, 在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層, 在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中,在上述第2絕緣層中設(shè)置有第I接觸孔,在上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,能使第I配線和上述第2配線連接的部分的占有面積縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,因此能夠減小配線間的漏電。因此,能夠謀求合格率的提聞。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選在上述連接部,在上述第I絕緣層中設(shè)置有第2接觸孔。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述第I配線和上述第2配線通過(guò)設(shè)置于上述第I接觸孔和上述第2接觸孔的連接導(dǎo)體電連接。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述連接導(dǎo)體包括與上述像素電極相同的材料。根據(jù)上述構(gòu)成,能夠?qū)ο嗤膶?dǎo)電層進(jìn)行圖案化來(lái)形成連接導(dǎo)體和像素電極,能夠通過(guò)該連接導(dǎo)體,將第I配線和第2配線電連接。因此,能夠簡(jiǎn)化工序。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線,上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是與上述分支配線連接的連接配線,上述連接配線與同上述分支配線所連接的驅(qū)動(dòng)元件為不同級(jí)的驅(qū)動(dòng)元件連接。根據(jù)上述構(gòu)成,能使向各驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的分支配線和連接配線連接的部分的占有面積縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,分支配線的數(shù)量被削減,因此能夠抑制合格率的降低。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線,上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是與上述分支配線連接的連接配線,上述連接配線與同上述分支配線所連接的驅(qū)動(dòng)元件為相同級(jí)的不同驅(qū)動(dòng)元件連接。根據(jù)上述構(gòu)成,能使向各驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的分支配線和連接配線的連接的部分的占有面積縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選在由上述連接部連接的上述連接配線和上述分支配線中,在俯視時(shí),該分支配線的延伸方向?yàn)樗椒较虻那闆r下,在該分支配線的上側(cè)、下側(cè)或者上側(cè)和下側(cè)中的某一側(cè)的區(qū)域,配置有包括與上述分支配線相同的材料的配線。根據(jù)上述構(gòu)成,能使各配線間的空間變寬。結(jié)果是,能夠減小配線間的漏電,能夠謀求合格率的提高。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選
在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,能使第I配線或者第2配線連接的部分的占有面積進(jìn)一步縮小,使驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,能使各配線間的空間更寬,因此能夠使合格率更為提高。另外,在例如規(guī)定第I配線的配線寬度的兩個(gè)邊配置于上述接觸孔內(nèi)的情況下,即使是在制造工序的光刻工序中產(chǎn)生了第I配線相對(duì)于第2配線的對(duì)準(zhǔn)偏差或者第I配線相對(duì)于接觸孔的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,連接部的面積也不易變動(dòng)。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,僅規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的I邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,能夠使第I配線和第2配線連接的部分的占有面積縮小,因此,窄邊框化變得容易。而且,能使各配線間的空間變寬,因此能夠謀求合格率的提高。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,能夠謀求窄邊框化和合格率的提高。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線在俯視時(shí)在上述第I接觸孔內(nèi)以擴(kuò)大其配線寬度的方式設(shè)置。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,能夠謀求窄邊框化和合格率的提高。此外,根據(jù)上述構(gòu)成,調(diào)整連接部的面積變得容易。因此,例如,即使是在包括第2導(dǎo)電性材料的第2配線和包括第3導(dǎo)電性材料的連接導(dǎo)體的連接電阻比包括第I導(dǎo)電性材料的第I配線和包括第3導(dǎo)電性材料的連接導(dǎo)體的連接電阻高的情況下,也能夠通過(guò)擴(kuò)大配線寬度,來(lái)擴(kuò)大連接面積,將整體的連接電阻最佳化。另外,能夠減小在多個(gè)連接部中各連接電阻的偏差,因此顯示質(zhì)量提高。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選由上述連接部連接的配線中的規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)的配線在上述第I接觸孔中其配線寬度不擴(kuò)大。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,窄邊框化變得容易。本發(fā)明的有源矩陣基板的特征在于,是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成,在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域,上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域,在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路,在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件,
在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線,在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層,以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層,在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中,在上述第2絕緣層中設(shè)置有2個(gè)第I接觸孔,上述2個(gè)第I接觸孔各自沿著上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線所延伸的方向設(shè)置,上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線的一部分在俯視時(shí)也設(shè)置于上述2個(gè)第I接觸孔中的某個(gè)接觸孔內(nèi),在上述另一方配線的一部分中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。根據(jù)上述構(gòu)成,在2個(gè)部位中,第I配線和第2配線電連接。因此,能夠?qū)⒌贗配線和第2配線可靠地連接,能使可靠性提高。另外,如上所述,能縮小連接部的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,即使在產(chǎn)生了例如第2配線相對(duì)于第I配線的對(duì)準(zhǔn)偏差或者第2配線相對(duì)于接觸孔的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,2個(gè)部位的連接部的面積的總和也不易變動(dòng)。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板的特征在于,在上述連接部,在上述第I絕緣層中設(shè)置有第2接觸孔。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線,上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是從外部向上述分支配線提供信號(hào)的主干配線,多個(gè)上述分支配線共同連接于上述主干配線。根據(jù)上述構(gòu)成,如上所述,能縮小連接部的占有面積,使掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路的占有面積變小。因此,窄邊框化變得容易。另外,在主干配線和分支配線在2個(gè)部位中電連接的情況下,能夠?qū)⒅鞲膳渚€和分支配線可靠地連接,能使可靠性提高。另外,即使在產(chǎn)生了例如分支配線相對(duì)于主干配線的對(duì)準(zhǔn)偏差或者分支配線相對(duì)于接觸孔的對(duì)準(zhǔn)偏差的情況下,2個(gè)部位的連接部的面積的總和也不易變動(dòng)。另外,本發(fā)明的有源矩陣基板優(yōu)選上述開(kāi)關(guān)元件和上述驅(qū)動(dòng)元件是晶體管元件。本發(fā)明的顯示裝置優(yōu)選上述有源矩陣基板和相對(duì)基板相互相對(duì)配置。根據(jù)上述構(gòu)成,顯示裝置的窄邊框化變得容易。工業(yè)h的可利用件本發(fā)明能夠在有源矩陣基板中使邊框區(qū)域變窄,提高可靠性,因此能夠適合利用于液晶顯示裝置等顯示裝置。附圖標(biāo)記說(shuō)明
10顯示裝置
16絕緣基板
20有源矩陣基板
21絕緣基板
22顯示區(qū)域 24 邊框區(qū)域 26 基板端邊
30掃描信號(hào)線
31數(shù)據(jù)信號(hào)線
32掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路
33驅(qū)動(dòng)器
34端子
35掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路用配線群
36電路部
40低電位電源配線
41a第I時(shí)鐘配線(第I配線)
41b第2時(shí)鐘配線(第I配線)42驅(qū)動(dòng)用TFT元件
43分支配線(第2配線)
44連接配線(第I配線)
45連接導(dǎo)體
47a絕緣層(第I絕緣層)
47b絕緣層(第2絕緣層)
48半導(dǎo)體層
50連接部
51接觸孔
60切換部(連接部)
61接觸孔72突起部80相對(duì)基板
權(quán)利要求
1.ー種有源矩陣基板,其特征在干, 是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成, 在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域, 上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域, 在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路, 在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件, 在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線, 在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層, 以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層, 在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中, 在上述第2絕緣層中設(shè)置有第I接觸孔, 在上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有源矩陣基板,其特征在干, 在上述連接部,在上述第I絕緣層中設(shè)置有第2接觸孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線通過(guò)設(shè)置于上述第I接觸孔和上述第2接觸孔的連接導(dǎo)體電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線, 上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是與上述分支配線連接的連接配線, 上述連接配線與同上述分支配線所連接的驅(qū)動(dòng)元件為不同級(jí)的驅(qū)動(dòng)元件連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線, 上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是與上述分支配線連接的連接配線, 上述連接配線與同上述分支配線所連接的驅(qū)動(dòng)元件為相同級(jí)的不同驅(qū)動(dòng)元件連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的有源矩陣基板,其特征在干, 在由上述連接部連接的上述連接配線和上述分支配線中,在俯視時(shí)該分支配線的延伸方向?yàn)樗椒较虻那闆r下,在該分支配線的上側(cè)、下側(cè)或者上側(cè)和下側(cè)中的某ー側(cè)的區(qū)域,配置有包括與上述分支配線相同的材料的配線。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干, 在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干, 在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,僅規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的I邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干,在上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求9中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線在俯視時(shí)在上述第I接觸孔內(nèi)以擴(kuò)大其配線寬度的方式設(shè)置。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有源矩陣基板,其特征在干, 由上述連接部連接的配線中的規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)的配線在上述第I接觸孔中其配線寬度不擴(kuò)大。
12.—種有源矩陣基板,其特征在于, 是在絕緣基板上將開(kāi)關(guān)元件和與該開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極設(shè)置為矩陣狀而成, 在上述絕緣基板中,矩陣狀地配置有上述像素電極的區(qū)域是顯示區(qū)域, 上述顯示區(qū)域的周邊的區(qū)域是邊框區(qū)域, 在上述邊框區(qū)域設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述開(kāi)關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)電路, 在構(gòu)成上述驅(qū)動(dòng)電路的多個(gè)電路部分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)元件, 在上述邊框區(qū)域,在上述絕緣基板上按順序設(shè)置有用于向上述驅(qū)動(dòng)元件提供信號(hào)的第I配線和第2配線, 在上述第I配線和上述第2配線之間設(shè)置有第I絕緣層, 以覆蓋上述第I配線和上述第2配線中的至少I(mǎi)個(gè)配線和上述第I絕緣層的方式設(shè)置有第2絕緣層, 在連接上述第I配線和上述第2配線的連接部中, 在上述第2絕緣層中設(shè)置有2個(gè)第I接觸孔, 上述2個(gè)第I接觸孔各自沿著上述第I配線和上述第2配線中的某一方配線所延伸的方向設(shè)置, 上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線的一部分在俯視時(shí)也設(shè)置于上述2個(gè)第I接觸孔中的某個(gè)接觸孔內(nèi), 在上述另一方配線的一部分中,規(guī)定該配線的配線寬度的邊中的至少I(mǎi)邊在俯視時(shí)配置于上述第I接觸孔內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有源矩陣基板,其特征在干, 在上述連接部,在上述第I絕緣層中設(shè)置有第2接觸孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線通過(guò)設(shè)置于上述第I接觸孔和上述第2接觸孔的連接導(dǎo)體電連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求I或權(quán)利要求12所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述第I配線和上述第2配線中的一方配線是與上述驅(qū)動(dòng)元件連接的分支配線, 上述第I配線和上述第2配線中的另一方配線是從外部向上述分支配線提供信號(hào)的主干配線, 多個(gè)上述分支配線共同連接于上述主干配線。
16.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求14所述的有源矩陣基板,其特征在干, 上述連接導(dǎo)體包括與上述像素電極相同的材料。
17.根據(jù)權(quán)利要求I至權(quán)利要求16中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板,其特征在干,上述開(kāi)關(guān)元件和上述驅(qū)動(dòng)元件是晶體管元件。
18.一種顯示裝置,其特征在干,權(quán)利要求I至權(quán)利要求17中的任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板和相對(duì)基板相互相對(duì)配置。
全文摘要
在有源矩陣基板(20)的邊框區(qū)域(24)設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)元件的掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路(32),在構(gòu)成掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路(32)的多個(gè)電路部(36)分別設(shè)置有驅(qū)動(dòng)用TFT元件(42),在邊框區(qū)域(24)設(shè)置有作為向驅(qū)動(dòng)用TFT元件(42)提供信號(hào)的第2配線的分支配線(43)和作為與分支配線(43)連接的第1配線的連接配線(44),連接配線(44)和分支配線(43)在連接部(60)中連接,在分支配線(43)中,規(guī)定該配線的配線寬度的兩個(gè)邊在俯視時(shí)配置于在第2絕緣層中設(shè)置的接觸孔(61)內(nèi)。
文檔編號(hào)G02F1/1368GK102844803SQ20118001928
公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2011年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月22日
發(fā)明者小笠原功, 吉田昌弘 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社
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