專利名稱：可重復(fù)安裝在真空室的墻壁上的激光干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光干涉儀。
背景技術(shù)：
環(huán)境控制室是要求任何設(shè)備以及所述設(shè)備內(nèi)的部件必須能夠經(jīng)得起高壓或低壓、有機(jī)氣體和150℃以及更高溫度的場(chǎng)所，其中室內(nèi)污染是一個(gè)值得關(guān)注的問題。傳統(tǒng)的激光干涉儀系統(tǒng)無法滿足這些要求。要求進(jìn)行環(huán)境控制的一種情況是半導(dǎo)體制造，例如，計(jì)算機(jī)芯片以及它們的掩模的制造，在該過程中最重要的是要求干凈的環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容
依照本發(fā)明的第一方面，提供了一種激光干涉儀，包括殼體，能夠基本上被可重復(fù)安裝到環(huán)境室的墻壁中，所述殼體包括激光源；反射鏡，被附著到所述環(huán)境室內(nèi)放置的對(duì)象；以及光線通路，貫穿所述環(huán)境室的墻壁，允許激光束從激光源到達(dá)反射鏡。
優(yōu)選的是，在所述殼體內(nèi)提供檢測(cè)器。
所述激光源可以是激光或者鏈接到激光的光纖的末端。
依照第二方面，本發(fā)明提供了一種激光干涉儀，包括激光源，用于提供第一激光束；用于提供第二激光束的裝置；干涉裝置，用于根據(jù)第一和第二激光束的交疊(super position)位置來提供干涉束。
檢測(cè)器，用于檢測(cè)所述干涉束；以及反射鏡，附著于可相對(duì)于所述激光源移動(dòng)的對(duì)象，用于把來自于所述對(duì)象的至少一個(gè)激光束反射到所述干涉裝置；其中至少在環(huán)境室內(nèi)提供所述反射裝置，并且通過能夠基本上可重復(fù)安裝到環(huán)境室的墻壁中的殼體、至少在真空室外部提供激光源，并且貫穿真空室的墻壁提供光線通路，以允許其中通過至少一個(gè)激光束。
環(huán)境室的墻壁在增壓(減壓)期間、或者在烘烤該室時(shí)可能變形。這樣會(huì)損壞干涉儀的靈敏部件。另外，所述變形可能導(dǎo)致激光束無法對(duì)準(zhǔn)，由此，設(shè)計(jì)定位連接是十分有益的，如此使得當(dāng)所述環(huán)境室受制于使用條件時(shí)，提供校正的并且正確的可重復(fù)定位。
把所述客體依照具有足夠的可重復(fù)性的方式(它基本上可被重復(fù)安裝)安裝在室內(nèi)墻壁中，以便至少將檢測(cè)到最小信號(hào)強(qiáng)度。這樣允許使用信號(hào)強(qiáng)度計(jì)重新對(duì)準(zhǔn)激光束，以便實(shí)現(xiàn)最佳的信號(hào)強(qiáng)度，由此，絕對(duì)的可重復(fù)性不是必要的。
環(huán)境室包括可以通常稱為真空室的任何室，其中使用了能夠經(jīng)得起局部或者全部真空的封接來避免進(jìn)入或者溢出氣體。這種室可以用于全真空、半真空、缺少空氣的情況，例如當(dāng)使用諸如氧或者有機(jī)氣體的處理氣體時(shí)，乃至在大于一個(gè)大氣壓的壓力下的環(huán)境。
為了處理射束校準(zhǔn)過程中的偏差，優(yōu)選的是，提供至少一個(gè)射束控制器。優(yōu)選的是，提供至少兩個(gè)射束控制器，均用于垂直于射束方向的平面。所述射束控制器調(diào)節(jié)激光束穿過光線通路的通過方向。所述射束控制器可以包括楔形棱柱和/或機(jī)械調(diào)節(jié)器。當(dāng)提供至少兩個(gè)楔形棱柱時(shí)，優(yōu)選的是，他們是不匹配的。


現(xiàn)在參照附圖、通過舉例來描述本發(fā)明，所述附圖包括圖1是依照本發(fā)明的干涉系統(tǒng)的平面視圖；圖2是圖1中所示的安裝視圖；圖3是依照本發(fā)明的可替代的激光干涉儀系統(tǒng)；圖4是依照本發(fā)明的又一激光干涉儀系統(tǒng)；以及圖5是圖4中所示的安裝的側(cè)視圖；以及圖6是穿過圖4中所示的激光干涉儀的橫截面。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了可拆卸對(duì)象10，所述對(duì)象10包括組合的激光源及檢測(cè)系統(tǒng)12，用于把來自于激光源12的射束分解為基準(zhǔn)射束16和測(cè)量射束20的偏振分光鏡14。所述基準(zhǔn)射束16朝向反光鏡18射出，然后回到偏振分光鏡14和檢測(cè)器12。所述測(cè)量射束20入射到真空可兼容平面鏡22上，所述真空可兼容平面鏡22安裝在移動(dòng)架24上，所述移動(dòng)架位于真空室26內(nèi)，并且可以朝向所述激光源移動(dòng)并且可以遠(yuǎn)離激光源移動(dòng)(沿X軸方向)。所述測(cè)量射束20經(jīng)由光學(xué)窗38進(jìn)入和離開所述真空室26。所述可拆卸對(duì)象10經(jīng)由運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)28保持在真空室26的墻壁上。
所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)28包括三對(duì)空間分離的球30，這些球被安裝在可拆卸對(duì)象10的凸出部32中(參見圖2的運(yùn)動(dòng)定位器的更加清楚的視圖)。安裝在所述真空室26上的是三個(gè)條34，這些條是空間分離的，如此使得一個(gè)條對(duì)應(yīng)于一對(duì)球30的中心。套管36從真空室26的墻壁中伸出，用于容納可拆卸對(duì)象10上的凸出物30。所述套管36和條34被安全地安裝到真空室的墻壁中，其具有足夠的自由度以便在加熱期間或者當(dāng)真空被吸引來適應(yīng)任何真空室墻壁的變形，但是它們也足夠堅(jiān)硬以便與所述墻壁和平面鏡22保持固定，從而允許可重復(fù)定位可拆卸對(duì)象10來維持它們之間的光學(xué)路徑，并從而在測(cè)量過程期間提供相對(duì)于移動(dòng)架的穩(wěn)定的安裝位置。如果使用多個(gè)不同的真空強(qiáng)度，那么所述安裝可能需要進(jìn)行調(diào)節(jié)以便解決在墻壁彎曲方便的變化。
現(xiàn)在參照?qǐng)D2，在運(yùn)動(dòng)連接的中心處提供了孔39，所述孔和真空室中的光學(xué)窗38和平面鏡22成一直線，并且這樣允許測(cè)量射束入射到平面鏡22上并且由平面鏡22反射。
當(dāng)樣品臺(tái)24移動(dòng)時(shí)，其中例如可以將半導(dǎo)體晶片置于所述樣品臺(tái)24上，由激光探測(cè)器12測(cè)量的測(cè)量射束20和基準(zhǔn)射束16之間的干涉將改變，由此能夠獲知可移動(dòng)的樣品座24和所述可拆卸對(duì)象10的相對(duì)位置。
所述運(yùn)動(dòng)連接28由三個(gè)空間分離的磁體37保持在位置中，所述磁體37位于可拆卸對(duì)象10的凸出物30上的成對(duì)球之間的位置中。這意味著或者是所述真空室的墻壁必須由磁性材料制成，或者是套管36和條34機(jī)構(gòu)要求薄的金屬基座。
具有容納激光源、檢測(cè)器和相關(guān)聯(lián)的光學(xué)器件的可拆卸對(duì)象的優(yōu)勢(shì)之一在于它允許在抽空真空室以及烘烤室內(nèi)期間去除可拆卸的對(duì)象。這樣防止激光干涉儀的任何易毀部件被損壞、變形或受到真空室內(nèi)不利條件的影響。
如上所述的運(yùn)動(dòng)連接的類型是優(yōu)選的，但是其他的運(yùn)動(dòng)支架結(jié)構(gòu)以及偏移方法都可用來代替磁體。在H Braddick，Chapman以及HallLimited于1960年在倫敦發(fā)表的“Mechanical Design of LaboratoryApparatus”中描述了作為替代的運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。替代的偏移的一個(gè)例子是使用彈簧，根據(jù)所設(shè)計(jì)的連接方式，所述彈簧可以是張力彈簧或者是壓力彈簧。
可重復(fù)的位置無須受到運(yùn)動(dòng)學(xué)上的約束，只要激光源相對(duì)于所述反光鏡的位置足以是可重復(fù)的即可。一種可替代的方式是使用滑板，在其上安裝位于真空室外部的激光干涉儀部件。然后，這被置于相應(yīng)的“u”狀機(jī)構(gòu)中，其中所述“u”狀機(jī)構(gòu)設(shè)置在真空室的墻壁上?？梢允褂脺?zhǔn)確定位的螺釘來確保所述滑板在所述機(jī)構(gòu)內(nèi)的位置的可重復(fù)性。
為了使基準(zhǔn)和測(cè)量射束路由的條件盡可能類似，可以在反光鏡18和分光鏡14之間為所述基準(zhǔn)射束路由提供一塊玻璃，其與光學(xué)窗38具有相同的厚度和成分。
這樣解決了隨著系統(tǒng)的溫度增加時(shí)因?yàn)椴ＡУ呐蛎?收縮而使路徑長(zhǎng)度變化的問題。
圖3示出了具有可拆卸對(duì)象40的柱形激光干涉儀系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括組合的激光源和檢測(cè)系統(tǒng)12以及分光鏡42，所述分光鏡42用于把來自于激光源12的激光束分解為測(cè)量射束44和基準(zhǔn)射束48。在該情況下，所述分光鏡42是偏振分光鏡，用于產(chǎn)生雙通路干涉系統(tǒng)。所述測(cè)量射束44入射于反光鏡46上，反光鏡46將其朝向平面鏡22引導(dǎo)，所述平面鏡22安裝在真空室26中的可移動(dòng)的樣品支架24上。所述基準(zhǔn)射束48入射于45°的鏡面54上，所述鏡面用于把所述射束朝向平面鏡50引導(dǎo)，所述平面鏡50安裝在柱體基準(zhǔn)52上，所述柱體基準(zhǔn)52與所述可移動(dòng)的樣品支架24相關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)固定。當(dāng)所述干涉系統(tǒng)被動(dòng)態(tài)定位時(shí)，柱體基準(zhǔn)52的位置相對(duì)于干涉系統(tǒng)的其余部件而固定。樣品臺(tái)24的移動(dòng)將引入測(cè)量射束44和基準(zhǔn)射束48之間路線長(zhǎng)度方面的改變，此改變是由檢測(cè)器12檢測(cè)到的。由此，可以精確地計(jì)算樣品臺(tái)24的位置。位于真空室26墻壁中的真空窗138具有足夠的大小，以便除了允許測(cè)量射束44通過外，還允許基準(zhǔn)射束48進(jìn)入第二反射鏡50。
在此例子中，組合的激光源和檢測(cè)器基本上垂直于平面鏡22、50。這樣減少了可拆卸對(duì)象40沿X軸方向的長(zhǎng)度，這意味著運(yùn)動(dòng)連接上的形變、并從而是其所要求的強(qiáng)度得以減少，并且可拆卸對(duì)象40的事故性移除的概率得以減少。
三個(gè)一組的棱柱56、58、60位于測(cè)量射束44和基準(zhǔn)射束48的通路中。兩個(gè)棱柱56、58的旋轉(zhuǎn)會(huì)引起測(cè)量或者基準(zhǔn)射束到它們各自的平面鏡22、50的射束方向的偏差。這樣允許校準(zhǔn)光學(xué)部件的過程中的操作誤差得以補(bǔ)償?？梢允褂脙蓚€(gè)可旋轉(zhuǎn)的棱柱，但是它們往往是配對(duì)的，由此增加了成本?？梢蕴娲?5°鏡面54的是五棱鏡。在US6473250中更詳細(xì)地描述了使用三個(gè)棱柱對(duì)兩個(gè)平面中的射束偏移產(chǎn)生影響的方案。
圖4示出了圖3中所示系統(tǒng)的柱形干涉儀系統(tǒng)的替代方案。在此例子中，組合的激光源和檢測(cè)器112、分光鏡142和反光鏡146全部與平面鏡122、150(當(dāng)附著于所述室時(shí))成接近直角、但是非直角地被定位。所述鏡面154與入射基準(zhǔn)射束148不成45°，其中所述鏡面154用于把基準(zhǔn)射束148朝向平面鏡150反射。所述鏡面154在兩個(gè)平面中相對(duì)于基準(zhǔn)射束148是傾斜的。使用這種離軸激光系統(tǒng)意味著并不使用如同垂直對(duì)準(zhǔn)的激光一樣的兩個(gè)匹配的棱柱或者三個(gè)棱柱，而是可以使用兩個(gè)匹配的或者不匹配的可旋轉(zhuǎn)棱柱156、158用于射束校準(zhǔn)。
兩個(gè)棱柱156、158相對(duì)于射束路徑均具有受限的轉(zhuǎn)動(dòng)。例如，棱柱只限于就射束路徑旋轉(zhuǎn)90°，由此每個(gè)棱柱的旋轉(zhuǎn)令激光束沿不同平面產(chǎn)生偏差。兩個(gè)這種棱柱的使用不局限于那種激光源幾乎垂直于鏡面定位的所述情形，所述激光源可以與所述鏡面具有斜角。在一并待審的申請(qǐng)GB0222970.6中更詳細(xì)地描述了這種離軸的實(shí)施例。
用于二維射束偏移的兩個(gè)可旋轉(zhuǎn)的棱柱具有進(jìn)一步的用法。在樣品位置至關(guān)重要的處理過程中，樣品的任何角度偏差都是不希望的。因此，除允許測(cè)量樣品的定位以外，利用兩個(gè)旋轉(zhuǎn)棱鏡(或者它們的等價(jià)物)的本發(fā)明的實(shí)施例還允許在線性運(yùn)動(dòng)期間跟蹤樣品臺(tái)的角度運(yùn)動(dòng)。因?yàn)樵跍y(cè)量過程期間必須始終檢測(cè)干涉束，所以在丟失信號(hào)以前將容許一定的角度失準(zhǔn)，這是表明存在角度運(yùn)動(dòng)的一種方式。然而，如果所述棱柱被旋轉(zhuǎn)以便抑制樣品臺(tái)的這種角度偏差，那么角度偏差量可以通過監(jiān)控旋轉(zhuǎn)程度以及旋轉(zhuǎn)速率(可能的話)來計(jì)算。如果所述棱柱是電動(dòng)化的，那么可以自動(dòng)跟蹤所述角度偏差。如果容許一定的角度偏差，那么此跟蹤技術(shù)甚至可以在測(cè)量期間使用，以便表明該樣品臺(tái)的偏差超出了容許范圍。
使用兩個(gè)楔形棱柱是不必要的。例如，所述鏡面可以只沿一個(gè)平面向所要求的射束方向偏移，而在這樣情況下可以使用單個(gè)射束控制器。所述楔形棱柱可以由可替代的光學(xué)元件或者諸如活動(dòng)鉗的機(jī)械調(diào)節(jié)器來替代，如在國(guó)際公開申請(qǐng)WO00/57228中所描述的那樣。
現(xiàn)在將參照?qǐng)D4、5和6來描述圖4中所示的可重復(fù)的機(jī)構(gòu)。在可拆卸對(duì)象40的凸出部232上提供三個(gè)空間分離的定位器230。所述室內(nèi)墻壁126具有凹進(jìn)區(qū)域240，用于容納安裝板242。所述安裝板242包括凹口236，所述凹口236對(duì)應(yīng)于可拆卸對(duì)象的凸出232的大小和形狀。所述安裝板凹口236還包括三個(gè)定位器凹口234，其對(duì)應(yīng)于三個(gè)定位器230的大小和相對(duì)位置，并且其中容納有所述定位器。
現(xiàn)在參照?qǐng)D6，安裝板242并入窗口238，所述窗口238用于允許光線從激光源112進(jìn)入反射鏡122、150。所述安裝板242通過o形環(huán)244密封到室內(nèi)墻壁126上，其中所述o形環(huán)244位于室內(nèi)墻壁126中的凹槽246中。便利的地方在于，o形環(huán)244相對(duì)于窗口238密封。
所述定位器230包括中心孔248，一螺釘(未示出)穿過該孔，并且定位器230包括外部凸緣250，所述外部凸緣250同適當(dāng)?shù)亩ㄎ黄靼伎?34合作來提供可拆卸對(duì)象40相對(duì)于室內(nèi)墻壁126的近似定位。當(dāng)所述可拆卸對(duì)象經(jīng)由所述定位器栓接在某一位置時(shí)，可旋轉(zhuǎn)棱柱156和158(圖4)的旋轉(zhuǎn)把激光束144、148定位到鏡面122、150上并且回到檢測(cè)器112。
在可替代的實(shí)施例中，所述可拆卸對(duì)象不固定于所述安裝板，而是直接固定于室內(nèi)墻壁。提供了三個(gè)空間分離的定位插腳，用于從室內(nèi)墻壁中伸出，并且同可拆卸對(duì)象中的相同大小的孔合作。為了提供優(yōu)良的定位的可重復(fù)性，三個(gè)定位插腳提供與所述孔接觸的六個(gè)點(diǎn)。例如，第一插腳在三個(gè)地點(diǎn)接觸孔表面，第二插腳在兩個(gè)點(diǎn)上接觸橢圓形狀的孔，而第三個(gè)插腳在一點(diǎn)上接觸過大的孔。
在一些情況下，當(dāng)所述室被密封時(shí)，例如進(jìn)行激光束的目視校準(zhǔn)是不可能的。在這種環(huán)境中，提供了校準(zhǔn)裝置260。所述校準(zhǔn)裝置幫助對(duì)準(zhǔn)激光束以便使其穿過環(huán)境室的墻壁。
校準(zhǔn)裝置260固定在可拆卸對(duì)象40和安裝板242之間(圖6)。校準(zhǔn)裝置260容納目標(biāo)262，所述目標(biāo)262設(shè)置在與激光束路徑成45°的位置上。所述目標(biāo)具有兩對(duì)孔264a、264b、266a、66b。當(dāng)校準(zhǔn)射束時(shí)，一對(duì)與測(cè)量射束264a、264b重合，一對(duì)與基準(zhǔn)射束266a、266b重合(由于是雙路干涉儀系統(tǒng)，所以一對(duì)與每個(gè)射束相關(guān)聯(lián))。把所述目標(biāo)262與紙平面成45°來設(shè)置，如此使得入射到目標(biāo)262的光線穿過校準(zhǔn)裝置260的一側(cè)被反射，并且因此當(dāng)把單個(gè)部件232、260、242螺栓連接在一起時(shí)可以查看該目標(biāo)262。如果所述射束被校準(zhǔn)，然后在第一通路上穿過系統(tǒng)，那么所示射束穿過第一孔264a、266a，而在第二通路上，所述射束穿過第二孔264b、266b。如果沒有校準(zhǔn)任何的射束，那么它們將遇到目標(biāo)262，并且被所述裝置的一側(cè)反射。棱柱的旋轉(zhuǎn)將使通過其中的激光束在一個(gè)平面中偏離，從而使得射束被校準(zhǔn)為穿過孔264a、264b、266a、266b。楔形棱柱156、158(圖4)的旋轉(zhuǎn)使激光束分別沿迎角(Z軸方向)和斜角(Y軸方向)偏離。
一旦激光束被校準(zhǔn)，就可以去除所述校準(zhǔn)裝置，以允許可拆卸對(duì)象和安裝板之間直接接觸。對(duì)于干凈的環(huán)境處理來說，所述室在每個(gè)加工周期之間被焙烤，這令室內(nèi)墻壁產(chǎn)生變形。這種變形未必是可重復(fù)的，因此激光束的校直可能要求調(diào)節(jié)，以便當(dāng)重新附著以便解決這種問題時(shí)，可以重新進(jìn)行最佳的校準(zhǔn)。附著于室內(nèi)墻壁的可拆卸對(duì)象的表面和射束平面之間的容許偏差是每76mm容許±0.02mm，以便保持重新校準(zhǔn)的最小信號(hào)強(qiáng)度。
在圖3到6中，射束的第一和第二通路以及測(cè)量和基準(zhǔn)射束已經(jīng)依照彼此垂直移位的方式舉例說明過了。在實(shí)踐中，所述測(cè)量和基準(zhǔn)射束是垂直移位的，但每個(gè)射束的兩個(gè)通路是沿與之垂直的平面移位的，也就是被移位進(jìn)入該紙張平面。
圖3和4中所示的柱形干涉儀在測(cè)量和基準(zhǔn)射束之間具有基本上固定的距離(因楔形棱柱的旋轉(zhuǎn)而經(jīng)受一些偏差)。在一些情況下，可能希望改變這種距離而無需設(shè)計(jì)新系統(tǒng)。為此，在可拆卸對(duì)象40的凸出32、232中提供了進(jìn)一步的楔形棱柱270。此棱柱270沿Y軸方向(沿紙張的平面)偏離所述射束，由此減少或者增加測(cè)量和基準(zhǔn)射束之間的距離。為簡(jiǎn)單起見，此額外的楔形棱柱270相對(duì)于其所作用的所述射束而固定，由此產(chǎn)生射束之間角度方面的固定變化。
作為選擇，所述楔形棱柱270可以位于安裝板242內(nèi)。
在圖3和4中所示的干涉測(cè)量系統(tǒng)中，反光鏡22、50、122、150和測(cè)量射束44、144和基準(zhǔn)射束48，148基本上彼此平行。在一些情況下，這樣做是不可能的，或者是不合乎需要的。在這種環(huán)境中，相對(duì)固定的柱體上的鏡面50，150可以與柱體52、152成一定角度。在圖3和4中所示類型的柱形干涉儀中，相對(duì)固定的柱體可以相對(duì)于相對(duì)可移動(dòng)的樣品臺(tái)來移動(dòng)，然而，柱體的移動(dòng)在40次左右，這小于樣品臺(tái)的移動(dòng)。如果所述鏡面50、150與柱體成一定角度地安裝，那么整個(gè)柱體行程距離上的余弦誤差對(duì)于角度10°來說將是2％。隨著鏡面50、150對(duì)向角度的增加，此誤差還將增加。如果樣品臺(tái)上的鏡面22、122是成角度的，那么在樣品臺(tái)移動(dòng)的范圍內(nèi)所述誤差將非常大，這或許將導(dǎo)致非常不精確的結(jié)果。
依照本發(fā)明的激光干涉儀允許測(cè)量與對(duì)象的距離。這是通過如下方式實(shí)現(xiàn)的，其中把來自于激光源12、112的第一激光束20、44、144引導(dǎo)向安裝在所述對(duì)象上的反射鏡22、122，沿基準(zhǔn)路徑16、48、148引導(dǎo)第二激光束，其中第二激光束是根據(jù)第一激光束提供的，在其已經(jīng)沿基準(zhǔn)路徑經(jīng)過之后對(duì)該反射的第一激光束和第二激光束進(jìn)行疊加，以便產(chǎn)生干涉束，檢測(cè)所述干涉束，并且計(jì)算對(duì)象和檢測(cè)器在位置方面的相對(duì)變化。
依照本發(fā)明的柱形激光干涉儀還允許跟蹤樣品支架或者對(duì)象的方位。這是通過如下方式來實(shí)現(xiàn)的，其中把來自于激光源12、112的第一激光束44、144引導(dǎo)向安裝在采樣支架上的反射鏡22、122，沿基準(zhǔn)路徑48、148引導(dǎo)第二激光束，其中第二激光束是根據(jù)第一激光束提供的，在其已經(jīng)沿基準(zhǔn)路徑經(jīng)過之后對(duì)該反射的第一激光束和第二激光束進(jìn)行疊加，以便產(chǎn)生干涉束，并且檢測(cè)所述干涉束，其中至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)楔形棱柱56、58、60、156、158被設(shè)置在第一激光束的路徑上，借此至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的楔形棱柱的旋轉(zhuǎn)使第一激光束沿平面偏離，并且其中通過至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的楔形棱柱的旋轉(zhuǎn)來跟蹤樣品支架沿平面的方位變化。
雖然已經(jīng)使用組合的激光源和檢測(cè)器舉例說明了本發(fā)明，但是這不是必要的。實(shí)際上，合乎需要的例如是具有安裝在真空室內(nèi)的墻壁上的獨(dú)立的檢測(cè)器，并且并具有連接到真空室的外部的光纖。
權(quán)利要求
1.一種激光干涉儀，包括殼體(10，40)，能夠基本上被可重復(fù)地安裝到環(huán)境室(26，126)的墻壁上，所述殼體包括激光源(12，112)；反射鏡(22，50，122，150)，附著于位于所述環(huán)境室內(nèi)的對(duì)象；以及光線通路，貫穿所述環(huán)境室的墻壁，允許激光束從激光源到達(dá)反射鏡。
2.如權(quán)利要求1所述的激光干涉儀，其中所述殼體(10)能夠動(dòng)態(tài)地安裝(30)到所述墻壁中。
3.如先前任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的激光干涉儀，其中，所述環(huán)境室是真空室。
4.如先前任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的激光干涉儀，其中，所述反射鏡是鏡面(22)。
5.如先前任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的激光干涉儀，其中，所述殼體包括至少一個(gè)射束控制器(56，58，156，158)，用于調(diào)節(jié)激光束穿過光線通路的通過方向。
6.如權(quán)利要求5所述的激光干涉儀，其中，所述殼體包括兩個(gè)射束控制器(56，58，156，158)，用于調(diào)節(jié)激光束在兩個(gè)平面中的通過方向。
7.如權(quán)利要求5或者6所述的激光干涉儀，包括校準(zhǔn)裝置(260)，用于校準(zhǔn)穿過環(huán)境室墻壁的激光束的通路。
8.一種柱形激光干涉儀，包括如先前任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的激光干涉儀，借此在環(huán)境室(26，126)內(nèi)提供第二相對(duì)固定的反射鏡(50，150)，并且所述光線通路允許來自于激光源的基準(zhǔn)射束(48，148)進(jìn)入第二反射鏡。
9.如權(quán)利要求8所述的激光干涉儀，其中，所述殼體包括楔形棱柱(270)，用于調(diào)節(jié)測(cè)量射束和基準(zhǔn)射束之間的角度。
全文摘要
公開了一種激光干涉儀，包括能夠基本上可重復(fù)地安裝到環(huán)境室(26，126)墻壁中的殼體(10，40)，所述殼體包括激光源(12，112)，反射鏡(22，50，122，150)附著于位于環(huán)境室內(nèi)的對(duì)象，以及穿過環(huán)境室墻壁提供的光線通路，用于允許來自于激光源的激光束進(jìn)入反射鏡?？梢蕴峁┲辽僖粋€(gè)射束控制器(56，58，156，158)，用于調(diào)節(jié)激光束穿過光線通路的通過方向。還公開了一種柱形激光干涉儀。
文檔編號(hào)G03F7/20GK1703609SQ200380100920
公開日2005年11月30日 申請(qǐng)日期2003年10月3日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月4日
發(fā)明者馬克·阿德里安·文森特·查普曼, 威廉·歐內(nèi)斯特·李, 馬丁·喬納森·馬伊 申請(qǐng)人:瑞尼斯豪公司