絲網(wǎng)印刷裝置及其基板夾緊位置的設(shè)定方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種絲網(wǎng)印刷裝置及其基板夾緊位置的設(shè)定方法，能夠防止因基板和夾緊部件的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良。基于在由夾緊部件（12）限制了基板（11）的位置的狀態(tài)下測(cè)量夾緊部件（12）的上面（12a）和該夾緊部件（12）附近的基板（11）的上面（11a）的高低差的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行夾緊位置設(shè)定處理或夾緊位置修正處理，所述夾緊位置設(shè)定處理設(shè)定表示在基板（11）的夾緊中該基板（11）應(yīng)位于的與夾緊部件（12）的相對(duì)高度位置的夾緊位置，所述夾緊位置修正處理修正所設(shè)定的夾緊位置。由此，能夠?qū)A緊部件（12）和基板（11）設(shè)為適當(dāng)?shù)南鄬?duì)位置，能夠防止因基板（11）和夾緊部件（12）的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良。
【專利說(shuō)明】絲網(wǎng)印刷裝置及其基板夾緊位置的設(shè)定方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及將膏狀釬焊料等粘性體印刷于基板的絲網(wǎng)印刷裝置及絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，作為將電子零件貼裝于基板時(shí)的接合方法大多使用釬焊接合。在該方法中，在釬焊接合之前，向基板的電極供給釬焊接合材料即膏狀釬焊料等粘性體。作為該粘性體的供給方法，廣泛使用經(jīng)由設(shè)置于絲網(wǎng)掩模的圖案孔將粘性體印刷于基板的絲網(wǎng)印刷。在絲網(wǎng)印刷動(dòng)作中，由夾緊部件從水平方向的兩側(cè)夾持印刷對(duì)象基板并固定位置，并且在由承接部件從下面?zhèn)戎С谢宓臓顟B(tài)下，使其與絲網(wǎng)掩模的下面抵接(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2004 - 322479號(hào)公報(bào)
[0004]為了在絲網(wǎng)印刷中得到高質(zhì)量的印刷結(jié)果，在使涂刷器在絲網(wǎng)掩模上滑動(dòng)的涂刷中，需要使基板的印刷面高精度地密合于絲網(wǎng)掩模。為了確保該高精度的密合性，要求適當(dāng)?shù)卦O(shè)定表示基板的上面和夾持該基板的夾緊部件的上面的高度方向的相對(duì)位置關(guān)系的夾緊位置。但是，包含上述的專利文獻(xiàn)例在內(nèi)的現(xiàn)有技術(shù)中，用于確保印刷質(zhì)量的夾緊部件和基板的適當(dāng)?shù)南鄬?duì)位置關(guān)系不一定明確。另外，由于在印刷對(duì)象基板上也存在厚度的不均及撓曲等變形，因此，即使在由承接部件從下面正確地支承的狀態(tài)下，基板上面也未必保持在適當(dāng)?shù)母叨任恢?，在良好地確保印刷質(zhì)量上存在有課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]于是，本發(fā)明的目的在于，提供能夠防止因基板和夾緊部件的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良的絲網(wǎng)印刷裝置及絲網(wǎng)印刷裝置的夾緊位置的設(shè)定方法。
[0006]本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置將形成有圖案孔的絲網(wǎng)掩模重疊在基板的上面，經(jīng)由所述圖案孔，將粘性體印刷在所述基板的上面，其中，具備:承接部件，其承接所述基板的下面；基板夾緊單元，其使至少一組夾緊部件與由所述承接部件承接的所述基板的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，夾緊所述承接部件上的所述基板；第一升降單元，其為了使所述基板位于表示在所述基板的夾緊中該基板應(yīng)位于的與所述夾緊部件的相對(duì)高度位置的夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降；對(duì)位單元，進(jìn)行由所述承接部件承接的所述基板與所述絲網(wǎng)掩模的水平方向的對(duì)位；第二升降單元，其為了在進(jìn)行了所述對(duì)位的所述基板的上面重疊所述絲網(wǎng)掩?；?yàn)榱耸顾鼈兘咏娇蛇M(jìn)行絲網(wǎng)印刷的距離，使所述基板和所述絲網(wǎng)掩模相對(duì)地接近，在絲網(wǎng)印刷后，為了使所述絲網(wǎng)掩模從所述基板的上面脫版，使所述基板和所述絲網(wǎng)掩模相對(duì)地在上下方向分離；印刷頭，其通過(guò)沿著所述絲網(wǎng)掩模的上面移動(dòng)，由此，經(jīng)由所述圖案孔將所述粘性體印刷在所述基板的上面；控制部，其控制所述絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作；高低差測(cè)量單元，其在由所述夾緊單元限制了所述基板的位置的狀態(tài)下，測(cè)量所述夾緊部件的上面與該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差，所述控制部基于所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行修正所述夾緊位置的夾緊位置修正處理。
[0007]本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法在第一方面或第二方面的絲網(wǎng)印刷裝置中，設(shè)定所述夾緊位置，其包含:基板承接工序，承接所述基板的下面；承接部件移動(dòng)工序，為了使所述基板位于被暫定設(shè)定的假設(shè)的夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降；高低差測(cè)量工序，由所述高低差測(cè)量單元測(cè)量所述夾緊部件的上面和該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差；夾緊位置設(shè)定工序，在多次反復(fù)執(zhí)行逐漸更新所述假設(shè)的夾緊位置的同時(shí)依次進(jìn)行所述承接部件移動(dòng)工序及所述高低差測(cè)量工序的反復(fù)試驗(yàn)處理的過(guò)程中，將確認(rèn)了所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果即高低差包含在規(guī)定的范圍內(nèi)的反復(fù)試驗(yàn)處理的假設(shè)的夾緊位置設(shè)定為最終的夾緊位置。
[0008]另外，本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法在第一方面或第二方面的絲網(wǎng)印刷裝置中，設(shè)定所述夾緊位置，其包含:基板承接工序，承接所述基板的下面；承接部件移動(dòng)工序，為了使所述基板位于所述夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降；基板夾緊工序，使所述夾緊部件與位于所述夾緊位置的所述基板的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，夾緊所述承接部件上的所述基板；高低差測(cè)量工序，由所述高低差測(cè)量單元測(cè)量夾緊了所述基板的狀態(tài)的所述夾緊部件的上面和該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差；夾緊位置修正工序，基于所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果，修正所述夾緊位置。
[0009]根據(jù)本發(fā)明，基于在由夾緊單元限制了基板的位置的狀態(tài)下測(cè)量夾緊部件的上面和該夾緊部件附近的基板的上面的高低差的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行夾緊位置設(shè)定處理或夾緊位置修正處理，所述夾緊位置設(shè)定處理設(shè)定表示在基板的夾緊中該基板應(yīng)位于的與夾緊部件的相對(duì)高度位置的夾緊位置，所述夾緊位置修正處理修正所設(shè)定的夾緊位置，由此，能夠?qū)A緊部件和基板設(shè)為適當(dāng)?shù)南鄬?duì)位置，能夠防止因基板和夾緊部件的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的側(cè)面圖；
[0011]圖2是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的局部俯視圖；
[0012]圖3 (a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖；
[0013]圖4 (a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖；
[0014]圖5 (a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的涂刷動(dòng)作的說(shuō)明圖；
[0015]圖6 (a)、(b)是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷方法的基板及夾緊部件的高低差測(cè)量的說(shuō)明圖；
[0016]圖7是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷方法的基板和夾緊部件的高低差測(cè)量的測(cè)量結(jié)果的說(shuō)明圖；
[0017]圖8是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的塊圖；
[0018]圖9是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的夾緊位置設(shè)定處理的流程圖；
[0019]圖10是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的夾緊位置修正處理的流程圖。
[0020]符號(hào)說(shuō)明
[0021]I絲網(wǎng)印刷裝置[0022]2基板定位部
[0023]3對(duì)位機(jī)構(gòu)
[0024]4基板保持部
[0025]10輸送導(dǎo)軌
[0026]11 基板
[0027]Ila 上面
[0028]12夾緊部件
[0029]12a 上面
[0030]13承接部件
[0031]14絲網(wǎng)掩模
[0032]16掩模板
[0033]17 印刷頭
[0034]19涂刷器
[0035]20中間組件
[0036]20a基板識(shí)別攝像機(jī)
[0037]20b掩模識(shí)別攝像機(jī)
[0038]20c測(cè)距器
[0039]C1、Pi 測(cè)量點(diǎn)
[0040]Dh, Dih 高低差
【具體實(shí)施方式】
[0041]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。首先，參照?qǐng)D1、2對(duì)絲網(wǎng)印刷裝置I的整體構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。絲網(wǎng)印刷裝置I具有如下的功能，即，通過(guò)將形成有圖案孔的絲網(wǎng)掩模重疊在基板的上面，且使涂刷器在供給有釬焊膏等粘性體的絲網(wǎng)掩模上面滑動(dòng)，經(jīng)由圖案孔將粘性體印刷在基板的上面。
[0042]在圖1中，絲網(wǎng)印刷裝置I為在基板定位部2的上方配設(shè)有由絲網(wǎng)掩模14及印刷頭17構(gòu)成的絲網(wǎng)印刷機(jī)構(gòu)的構(gòu)成?；宥ㄎ徊?以在層疊有Y軸工作臺(tái)3Y、X軸工作臺(tái)3Χ、Θ軸工作臺(tái)3 Θ的構(gòu)成的對(duì)位機(jī)構(gòu)3的上部設(shè)有夾緊保持印刷對(duì)象基板11的基板保持部4的方式而構(gòu)成。在Θ軸工作臺(tái)3 Θ的上面結(jié)合有移動(dòng)板3a，在移動(dòng)板3a上配設(shè)有基板升降機(jī)構(gòu)5。
[0043]基板升降機(jī)構(gòu)5為通過(guò)由第二電動(dòng)機(jī)5b、螺母5c、進(jìn)給絲杠5d構(gòu)成的直動(dòng)機(jī)構(gòu)使由多個(gè)導(dǎo)向軸7相對(duì)于移動(dòng)板3a沿垂直方向滑移自如地保持的第二升降板5a升降的構(gòu)成。另外，在第二升降板5a上配設(shè)有基板承接升降機(jī)構(gòu)6?；宄薪由禉C(jī)構(gòu)6為通過(guò)由第一電動(dòng)機(jī)6b、螺母6c、進(jìn)給絲杠6d構(gòu)成的直動(dòng)機(jī)構(gòu)使由多個(gè)導(dǎo)向軸8相對(duì)于第二升降板5a沿垂直方向滑移自如地保持的第一升降板6a升降的構(gòu)成。
[0044]在第二升降板5a上，沿X方向立設(shè)有兩個(gè)縱向框架9，在各縱向框架9的上端部，沿X方向(基板輸送方向)并列設(shè)置有輸送導(dǎo)軌10。如圖2所示，在各輸送導(dǎo)軌10的內(nèi)側(cè)設(shè)有帶式輸送機(jī)IOa (也參照?qǐng)D5)。在由這一對(duì)帶式輸送機(jī)IOa支承基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊(Y方向的兩端部)狀態(tài)下，通過(guò)由輸送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)對(duì)帶式輸送機(jī)IOa進(jìn)行水平驅(qū)動(dòng)，基板11被輸送到規(guī)定的位置。
[0045]在第一升降板6a的上面配設(shè)有塊形狀的承接部件13，輸送到規(guī)定位置的基板11的下面Ilb由與第一升降板6a—同上升的承接部件13來(lái)承接(參照?qǐng)D3)。輸送導(dǎo)軌10、帶式輸送機(jī)IOa及輸送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由一對(duì)帶式輸送機(jī)IOa支承基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的下面，構(gòu)成用于絲網(wǎng)印刷的向規(guī)定位置輸送的基板輸送單元。
[0046]在各輸送導(dǎo)軌10的上面，沿X方向配設(shè)有細(xì)長(zhǎng)形狀的夾緊部件12，這一組夾緊部件12中的一側(cè)的夾緊部件12通過(guò)夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b在Y方向相向運(yùn)動(dòng)自如。如圖2所示，通過(guò)分別使夾緊部件12與由承接部件13承接有的基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接而驅(qū)動(dòng)夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b，基板11由夾緊部件12夾持，限制承接部件13上的基板11的水平位置。
[0047]另外，在此表示由一組夾緊部件12夾持基板11的例子，但也可以在X方向的多個(gè)位置由多組夾緊部件12夾持基板11，夾緊部件12及夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b成為進(jìn)行夾緊動(dòng)作的夾緊單元，所述夾緊動(dòng)作使至少一組夾緊部件12抵接，限制承接部件13上的基板11的水平方向的位置。
[0048]在上述構(gòu)成中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)基板承接升降機(jī)構(gòu)6，能夠使承接部件13相對(duì)于夾緊部件12而相對(duì)地升降。由此，能夠使基板11位于表示在基板11的夾緊中基板11應(yīng)位于的與夾緊部件12的相對(duì)高度位置的夾緊位置。因此，基板承接升降機(jī)構(gòu)6成為為了使基板11位于夾緊位置而使承接部件13相對(duì)于夾緊部件12相對(duì)升降的第一升降單元。
[0049]而且，前述的夾緊單元由該第一升降單元使至少一組夾緊部件12與從帶式輸送機(jī)IOa抬起的基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接而進(jìn)行前述的夾緊動(dòng)作。另外，上述的第一升降單元通過(guò)使承接部件13相對(duì)于帶式輸送機(jī)IOa相對(duì)地升降，從帶式輸送機(jī)IOa上抬起基板11。
[0050]絲網(wǎng)掩模14以在掩模架15上擴(kuò)展掩模板16的方式構(gòu)成,在掩模板16上,對(duì)應(yīng)于基板11的成為印刷對(duì)象的電極配置而形成有多個(gè)圖案孔16a。配設(shè)于絲網(wǎng)掩模14的上方的印刷頭17通過(guò)印刷頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)17a而在Y方向(涂刷方向)上水平移動(dòng)自如(箭頭a)，并具備分別通過(guò)涂刷器升降機(jī)構(gòu)18而升降的一對(duì)涂刷器19。在絲網(wǎng)印刷動(dòng)作中，根據(jù)印刷頭17的行進(jìn)方向，使某個(gè)涂刷器19下降而與掩模板16的上面抵接，在該狀態(tài)下，由印刷頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)17a使印刷頭17沿著掩模板16的上面而水平移動(dòng)，由此，經(jīng)由圖案孔16a將釬焊膏21被印刷在基板11的上面。
[0051]在絲網(wǎng)掩模14的下方配設(shè)有基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b、測(cè)距器20c成為一體而成的中間組件20，所述中間組件20通過(guò)中間組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22 (參照?qǐng)D7)，在基板保持部4和絲網(wǎng)掩模14之間的空間內(nèi)可水平移動(dòng)。通過(guò)使中間組件20位于掩模板16和基板11之間，基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b分別拍攝基板11的上面、掩模板16的下面。通過(guò)對(duì)該拍攝結(jié)果進(jìn)行識(shí)別處理，來(lái)檢測(cè)基板11及掩模板16的位置。另夕卜，測(cè)距器20c具有非接觸地測(cè)量位于激光位移計(jì)等下方的對(duì)象物的高度位置的功能，以測(cè)量面朝下的方式配設(shè)。
[0052]在本實(shí)施方式中，基板11的上面IIa及夾緊部件12的上面12a是測(cè)量對(duì)象，基于這些高度測(cè)量的結(jié)果，測(cè)量由承接部件13承接基板11時(shí)的基板11和夾緊部件12的高低差。即，測(cè)距器20c在由前述的夾緊單元限制了基板11的位置的狀態(tài)下，對(duì)直至基板11的上面Ila及夾緊部件12的上面12a的高度距離進(jìn)行測(cè)量，作為對(duì)夾緊部件12的上面12a和該夾緊部件12附近的基板11的上面Ila的高低差進(jìn)行測(cè)量的高低差測(cè)量單元而發(fā)揮功倉(cāng)泛。
[0053]而且，在本實(shí)施方式中，測(cè)距器20c成為與拍攝基板11的基板識(shí)別標(biāo)識(shí)Ilc(參照?qǐng)D6)的基板識(shí)別攝像機(jī)20a及拍攝絲網(wǎng)掩模14的識(shí)別標(biāo)識(shí)(省略圖示)的掩模識(shí)別攝像機(jī)20b 一同安裝于中間組件20的形態(tài)，所述中間組件20通過(guò)中間組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22 (圖7)在由承接部件13承接的基板11的上方進(jìn)行水平移動(dòng)。
[0054]這樣，由承接部件13承接且由夾緊部件12夾緊的基板11相對(duì)于掩模板16在水平方向上對(duì)位。該對(duì)位通過(guò)基于基板11及掩模板16的位置檢測(cè)結(jié)果而驅(qū)動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)3來(lái)進(jìn)行。因此，對(duì)位機(jī)構(gòu)3成為進(jìn)行由承接部件13承接的基板11和絲網(wǎng)掩模14的水平方向的對(duì)位的對(duì)位單元。
[0055]而且，在絲網(wǎng)印刷時(shí)，為了在進(jìn)行了對(duì)位的基板11的上面重疊掩模板16，或者在印刷形態(tài)為不使基板11的上面和掩模板16接觸的非接觸式印刷的情況下，為了使它們接近到可進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的距離，使基板11和夾緊部件12相對(duì)地接近。而且，在絲網(wǎng)印刷后，為了使絲網(wǎng)掩模14從基板11的上面脫版，使基板11和絲網(wǎng)掩模14相對(duì)地在上下方向上分離。這些升降動(dòng)作通過(guò)驅(qū)動(dòng)基板升降機(jī)構(gòu)5而使輸送導(dǎo)軌10與第二升降板5a、縱向框架9一同升降來(lái)進(jìn)行。
[0056]因此，基板升降機(jī)構(gòu)5成為為了在進(jìn)行了對(duì)位的基板11的上面重疊絲網(wǎng)掩模14，或者，為了使它們接近到可進(jìn)行絲網(wǎng)印刷的距離，使基板11和絲網(wǎng)掩模14相對(duì)地接近，在絲網(wǎng)印刷后，為了使絲網(wǎng)掩模14從基板11的上面脫版，使基板11和絲網(wǎng)掩模14相對(duì)地在上下方向上分離的第二升降單元。
[0057]接著，參照?qǐng)D3、圖4對(duì)絲網(wǎng)印刷裝置I的絲網(wǎng)印刷方法的作業(yè)動(dòng)作工序進(jìn)行說(shuō)明。首先，如圖3 Ca)所示，由輸送導(dǎo)軌10的帶式輸送機(jī)IOa將基板11輸送到承接部件13的上方的規(guī)定位置(基板輸送工序)。該輸送動(dòng)作通過(guò)由帶式輸送機(jī)IOa支承基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的下面來(lái)進(jìn)行(參照?qǐng)D2)。
[0058]接下來(lái)，如圖3 (b)所示，由承接部件13支承基板11的下面11b，從帶式輸送機(jī)IOa抬起基板11，并且使一組夾緊部件12與基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，限制承接部件13上的基板11的水平方向的位置(基板夾緊工序)。即，驅(qū)動(dòng)基板承接升降機(jī)構(gòu)6 (箭頭b)，使第一升降板6a上的承接部件13上升到規(guī)定的夾緊位置，然后使承接部件13相對(duì)于夾緊部件12而相對(duì)地升降。由此，與基板11的下面Ilb抵接而抬起基板11，接下來(lái)，驅(qū)動(dòng)夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b，使夾緊部件12相向運(yùn)動(dòng)，將基板11夾持夾緊。
[0059]這時(shí)，以使基板11的上面Ila從夾緊部件12的上面12a向上方突出突出量(高低差Dh)的方式預(yù)設(shè)定夾緊位置。由此，如圖5 (a)所示，基板11由承接部件13從帶式輸送機(jī)IOa被抬起，以其上面Ila從上面12a向上方突出了高低差Dh的狀態(tài)被夾緊。
[0060]此后，如圖4 (a)所示，使中間組件20進(jìn)出于基板保持部4和絲網(wǎng)掩模14之間的空間(箭頭c)，由基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b分別識(shí)別基板11、掩模板16，并檢測(cè)位置(基板識(shí)別工序及掩模識(shí)別工序)，并且由測(cè)距器20c測(cè)量基板11和夾緊部件12的高低差(高低差測(cè)量工序)。然后，通過(guò)基于基板11、掩模板16的位置檢測(cè)結(jié)果而驅(qū)動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)3,將保持于基板保持部4的基板11相對(duì)于掩模板16在水平方向上對(duì)位。[0061]在此，參照?qǐng)D6對(duì)測(cè)距器20c的高低差檢測(cè)進(jìn)行說(shuō)明。圖6 (a)表示用于對(duì)成為檢測(cè)對(duì)象的夾緊部件12的上面12a和該夾緊部件12附近的基板11的上面Ila的高低差進(jìn)行測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)的設(shè)定例。在一對(duì)夾緊部件12的上面12a且在與基板11的抵接線的附近，分別以恒定間距而列狀地設(shè)定有測(cè)量點(diǎn)Cl?C5及測(cè)量點(diǎn)C6?C10。另外，在基板11的上面Ila且在與夾緊部件12的抵接線的附近，對(duì)應(yīng)于測(cè)量點(diǎn)Cl?C5及測(cè)量點(diǎn)C6?ClO而分別設(shè)定有測(cè)量點(diǎn)Pl?P5及測(cè)量點(diǎn)P6?P10。
[0062]在高低差測(cè)量工序中，如圖6 (b)所示，首先，使測(cè)距器20c向夾緊部件12上移動(dòng)，進(jìn)行測(cè)量點(diǎn)Ci的高度測(cè)量。即，從測(cè)距器20c對(duì)測(cè)量點(diǎn)Ci照射測(cè)量光LI，通過(guò)接受其反射光L2，來(lái)測(cè)量從測(cè)距器20c的基準(zhǔn)位置到測(cè)量點(diǎn)Ci的高度尺寸HCi。接下來(lái)，使測(cè)距器20c在夾緊部件12中向?qū)?yīng)于測(cè)量點(diǎn)Ci的測(cè)量點(diǎn)Pi上移動(dòng)，同樣進(jìn)行測(cè)量點(diǎn)Pi的高度測(cè)量，測(cè)量從測(cè)距器20c的基準(zhǔn)位置到測(cè)量點(diǎn)Pi的高度尺寸HPi。然后，通過(guò)運(yùn)算高度尺寸HCi和高度尺寸HPi之差，求出高低差Dih。
[0063]圖7表示上述高低差測(cè)量的測(cè)量結(jié)果的例子。在圖7中，橫軸所示的高低差Dih(i=l?10)表示測(cè)量點(diǎn)Ci和對(duì)應(yīng)的測(cè)量點(diǎn)Pi的組合，縱軸表示高低差Dh,即，基板11的上面Ila的距夾緊部件12的上面12a的突出量。在本實(shí)施方式中，以這多個(gè)高低差Dh值中的表示最小的值的高低差Dmh成為預(yù)規(guī)定的范圍(0.05mm?0.15mm)的方式設(shè)定夾緊位置。
[0064]接著，在將基板11和形成有圖案孔16a的掩模板16對(duì)位后，如圖4 (b)所示，在基板11的上面重疊掩模板16 (基板掩模對(duì)位工序)，即，在此，通過(guò)驅(qū)動(dòng)基板升降機(jī)構(gòu)5而使第二升降板5a上升(箭頭d)，使保持有基板11的基板保持部4整體上升。另外，在非接觸式印刷的情況下，使基板11和掩模板16接近到規(guī)定距離，以代替在基板11的上面重疊掩模板16。
[0065]此后，在印刷頭17中，驅(qū)動(dòng)涂刷器升降機(jī)構(gòu)18，使涂刷器19下降(箭頭e)，且與掩模板16的上面抵接。然后，使印刷頭17在預(yù)供給有釬焊膏21的掩模板16的上面向涂刷方向移動(dòng)。由此，如圖5 (b)所示，涂刷器19刮起釬焊膏21的同時(shí)在掩模板16的上面滑動(dòng)(箭頭f)，在基板11的上面經(jīng)由圖案孔16a印刷釬焊膏21 (印刷工序)。
[0066]該印刷工序在使上面Ila的上面從夾緊部件12的上面12a向上方突出前述的突出量(高低差Dh)的狀態(tài)下進(jìn)行。另外，基板11的上面Ila的從夾緊部件12的上面12a的突出量設(shè)定為該基板11的厚度t的一半以下。而且，作為具體的數(shù)值范圍，突出量(高低差Dh)設(shè)定為0.0lmm?0.5mm的范圍。
[0067]接著，參照?qǐng)D8對(duì)控制系統(tǒng)的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明?？刂撇?5具有CPU功能，通過(guò)基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部29的各種動(dòng)作、處理程序、各種數(shù)據(jù)對(duì)以下說(shuō)明的各部進(jìn)行綜合控制，來(lái)執(zhí)行絲網(wǎng)印刷裝置I的絲網(wǎng)印刷作業(yè)動(dòng)作及各種控制處理。在存儲(chǔ)部29，除存儲(chǔ)有上述的各種動(dòng)作、處理程序、各種數(shù)據(jù)以外，還存儲(chǔ)有表示由夾緊部件12夾緊基板11時(shí)的基板11相對(duì)于夾緊部件12的突出量的上限及下限的突出量上限值29a、突出量下限值2%、表示成為對(duì)象的基板11的厚度的基板厚度數(shù)據(jù)29c。
[0068]控制部25與夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b、基板承接升降機(jī)構(gòu)6、基板升降機(jī)構(gòu)5、對(duì)位機(jī)構(gòu)3、印刷頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)17a、測(cè)距器20c，基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b、中間組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22、顯示部23、操作輸入部24連接。控制部25通過(guò)控制夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b、基板承接升降機(jī)構(gòu)6、基板升降機(jī)構(gòu)5、對(duì)位機(jī)構(gòu)3、印刷頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)17a，執(zhí)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)動(dòng)作。
[0069]另外，控制部25具備圖像識(shí)別功能，通過(guò)對(duì)基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b的拍攝結(jié)果進(jìn)行識(shí)別處理，來(lái)進(jìn)行基板11的基板識(shí)別標(biāo)識(shí)Ilc (參照?qǐng)D6)及掩模板16的掩模識(shí)別標(biāo)識(shí)的位置識(shí)別。另外，控制部25通過(guò)控制中間組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22，進(jìn)行基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b的拍攝時(shí)及測(cè)距器20c的高低差測(cè)量的中間組件20的位置控制。
[0070]在絲網(wǎng)印刷作業(yè)動(dòng)作中，控制部25基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部29的突出量上限值29a、突出量下限值2%、基板厚度數(shù)據(jù)29c，控制第一升降單元即基板承接升降機(jī)構(gòu)6，以使基板11的上面Ila從夾緊部件12的上面12a向上方突出。即，控制部25具備對(duì)基板11的厚度和該基板11的從夾緊部件12的上面12a的突出量進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)部29，并基于基板11的厚度和突出量上限值29a、突出量下限值2%，控制第一升降單元。
[0071]顯示部23是液晶面板等顯示裝置，進(jìn)行操作輸入部24的操作、輸入時(shí)的引導(dǎo)畫面的顯示及各種告知畫面的顯示。操作輸入部24是鍵盤及觸摸面板開(kāi)關(guān)等的輸入單元，進(jìn)行用于使絲網(wǎng)印刷裝置I運(yùn)轉(zhuǎn)的操作指令及各種數(shù)據(jù)輸入。
[0072]另外，控制部25具備高低差測(cè)量處理部26、夾緊位置設(shè)定處理部27、夾緊位置修正處理部28作為內(nèi)部處理功能。高低差測(cè)量處理部26基于測(cè)距器20c的高度測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行求出基板11的上面Ila和夾緊部件12的上面12a的高低差的處理。夾緊位置設(shè)定處理部27進(jìn)行設(shè)定夾緊位置的處理，即，在基板11的夾緊中，設(shè)定基板11應(yīng)位于的與夾緊部件12的相對(duì)高度位置。該處理在絲網(wǎng)印刷裝置I的成為印刷對(duì)象的基板品種的每次更換、開(kāi)始生產(chǎn)前執(zhí)行。另外，夾緊位置修正處理部28在生產(chǎn)途中，在必要的情況下，進(jìn)行修正夾緊位置的處理。即，控制部25基于高低差測(cè)量單元即測(cè)距器20c的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行修正夾緊位置的夾緊位置修正處理。
[0073]接著，按照?qǐng)D9的流程圖并參照各圖對(duì)由夾緊位置設(shè)定處理部27執(zhí)行的夾緊位置設(shè)定處理進(jìn)行說(shuō)明。如上述，夾緊位置是指規(guī)定基板11由夾緊部件12夾緊固定后的狀態(tài)的基板11和夾緊部件12的高度方向的相對(duì)位置關(guān)系的術(shù)語(yǔ)，因此，如本實(shí)施方式那樣，在由升降的承接部件13承接基板11而保持高度位置的構(gòu)成中，承接部件13的高度位置規(guī)定夾緊位置。另外，如果是夾緊部件12進(jìn)行升降而規(guī)定基板11和夾緊部件12的高度方向的相對(duì)位置關(guān)系的構(gòu)成，則夾緊部件12的高度位置規(guī)定夾緊位置。
[0074]在圖9中，首先，設(shè)定夾緊位置A的初始值(ST1)。在此，將作為暫定值的AO作為初始值進(jìn)行輸入。此后，如圖3 (a)所示，基板11被搬入絲網(wǎng)印刷裝置I (ST2)，且被輸送到承接部件13的上方的規(guī)定位置。接下來(lái)，使承接部件13上升，承接基板11的下面Ilb(ST3)(基板承接工序)。
[0075]即，如圖3(b)所示，為了使承接部件13移動(dòng)到夾緊位置A，S卩，為了使基板11位于作為初始值暫定設(shè)定的假設(shè)的夾緊位置A0，驅(qū)動(dòng)基板承接升降機(jī)構(gòu)6，使承接基板11的承接部件13相對(duì)于夾緊部件12而相對(duì)地升降(承接部件移動(dòng)工序)。接下來(lái)，執(zhí)行夾緊(ST4)，驅(qū)動(dòng)夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b，使夾緊部件12與位于夾緊位置的基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，將承接部件13上的基板11夾緊(基板夾緊工序)。
[0076]然后，在該狀態(tài)下，執(zhí)行高低差測(cè)量處理(ST5)(高低差測(cè)量工序)。即，如圖4 (a)所示，使中間組件20向基板保持部4的上方移動(dòng)，如在圖6所述，在多個(gè)部位對(duì)夾緊基板11后的狀態(tài)的夾緊部件12的上面12a和該夾緊部件12附近的基板11的上面Ila的高低差進(jìn)行測(cè)量。
[0077]接著，判斷由通過(guò)高低差測(cè)量而取得的測(cè)量結(jié)果所表示的高低差尺寸，即，基板11的上面Ila從夾緊部件12的上面12a突出的突出量是否在由突出量上限值29a、突出量下限值29b規(guī)定的范圍內(nèi)(ST6)。在此，如果所取得的突出量在規(guī)定的范圍內(nèi)，則將該階段的夾緊位置A設(shè)定為最終的夾緊位置Af (夾緊位置設(shè)定工序)。
[0078]與此相對(duì)，在(ST6)中判斷為突出量在規(guī)定的范圍外的情況下，反復(fù)多次執(zhí)行反復(fù)試驗(yàn)處理，所述反復(fù)試驗(yàn)處理為逐漸更新假設(shè)的夾緊位置A的同時(shí)依次進(jìn)行(ST3)所示的承接部件移動(dòng)工序及(ST5)所示的高低差測(cè)量工序。S卩，首先，以該階段的夾緊位置A加上預(yù)設(shè)定的增量b所得的A +b為新的夾緊位置A (ST7)。接下來(lái)，解除夾緊部件12的夾緊(ST8 )，然后返回到(ST3 )，執(zhí)行直到(ST6 )的處理。
[0079]這些處理反復(fù)執(zhí)行直到判斷為由(ST6)取得的突出量在規(guī)定的范圍內(nèi)，該時(shí)刻的夾緊位置A設(shè)定為最終的夾緊位置Af。即，在反復(fù)執(zhí)行前述的反復(fù)試驗(yàn)處理的過(guò)程中，將確認(rèn)了高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果即多個(gè)部位的高低差(參照?qǐng)D6)包含在規(guī)定范圍內(nèi)的反復(fù)試驗(yàn)處理的假設(shè)的夾緊位置設(shè)定為最終的夾緊位置(夾緊位置設(shè)定工序)，由此，夾緊位置設(shè)定處理結(jié)束。
[0080]接著，按照?qǐng)D10的流程圖并參照各圖對(duì)在印刷處理執(zhí)行途中由夾緊位置修正處理部28執(zhí)行的夾緊位置修正處理進(jìn)行說(shuō)明。在圖10中，首先，如圖3 (a)所示，基板11被搬入絲網(wǎng)印刷裝置I (ST11)，并被輸送到承接部件13的上方的規(guī)定位置。接著，使承接部件13上升，承接基板11的下面lib (ST12)(基板承接工序)。即，如圖3 (b)所示，為了使基板11位于夾緊位置A，驅(qū)動(dòng)基板承接升降機(jī)構(gòu)6，使承接有基板11的承接部件13相對(duì)于夾緊部件12而相對(duì)地升降(承接部件移動(dòng)工序)。接下來(lái)，執(zhí)行夾緊(ST13)，驅(qū)動(dòng)夾緊部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)12b，使夾緊部件12與位于夾緊位置的基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，將承接部件13上的基板11夾緊(基板夾緊工序)。
[0081]然后，在該階段，判斷有沒(méi)有必要執(zhí)行夾緊位置的修正處理(ST14)。S卩，在執(zhí)行印刷處理的過(guò)程中，在特定的條件例如當(dāng)進(jìn)行了對(duì)象基板的批次變更時(shí)、累積印刷次數(shù)達(dá)到規(guī)定數(shù)時(shí)、連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)持續(xù)時(shí)間達(dá)到規(guī)定時(shí)間時(shí)等的預(yù)設(shè)定的條件的情況下，判斷為需要夾緊位置的修正處理的執(zhí)行，然后執(zhí)行由虛線框包圍的(ST15)?(ST20)工序。
[0082]在該修正處理中，首先，與圖9所示的(ST5)同樣，由測(cè)距器20c在多個(gè)部位測(cè)量夾緊基板11后的狀態(tài)的夾緊部件12的上面12a和該夾緊部件12附近的基板11的上面Ila的高低差(高低差測(cè)量工序)(ST15)。接下來(lái)，與圖9所示的(ST6)同樣，判斷由通過(guò)高低差測(cè)量而取得的測(cè)量結(jié)果表示的突出量是否在由突出量上限值29a、突出量下限值29b規(guī)定的范圍內(nèi)(ST16)。在此，在所取得的突出量在規(guī)定的范圍外的情況下，進(jìn)行夾緊位置的修正(ST17)(夾緊位置修正工序)。在該夾緊位置修正工序中，進(jìn)行修正夾緊位置的處理，以使在(ST15)中成為高低差測(cè)量對(duì)象的多個(gè)部位的基板11的上面Ila為夾緊部件12的上面12a以上的高度。
[0083]然后，在該夾緊位置修正工序之后，基于修正后的夾緊位置，進(jìn)行承接部件移動(dòng)工序，其后，再次執(zhí)行高低差測(cè)量工序和夾緊位置修正工序。即，首先，解除基板11的夾緊(ST18)，基于修正后的夾緊位置，執(zhí)行使承接部件13升降的承接部件高度調(diào)節(jié)(ST19)，在該狀態(tài)下，再次夾緊基板11 (ST20)。此后，返回到(ST15)，反復(fù)執(zhí)行同樣的處理，如果判斷為由(ST16)取得的測(cè)量結(jié)果表示的突出量在規(guī)定的范圍內(nèi)，則完成了夾緊位置的修正處理，返回到通常的印刷處理工序。
[0084]S卩，如利用圖4 (b)所說(shuō)明，基于由基板識(shí)別攝像機(jī)20a、掩模識(shí)別攝像機(jī)20b識(shí)別基板11、掩模板16后的結(jié)果，執(zhí)行在基板11的上面重疊掩模板16的基板掩模對(duì)位工序(ST21)，接著，如利用圖5 (b)所說(shuō)明，執(zhí)行印刷工序(ST22)，S卩、涂刷器19刮起釬焊膏21的同時(shí)在掩模板16的上面滑動(dòng)，在基板11的上面經(jīng)由圖案孔16a印刷釬焊膏21。
[0085]此后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)第二升降單元即基板升降機(jī)構(gòu)5使基板保持部4下降，進(jìn)行使基板11離開(kāi)掩模板16的下面的脫版工序(ST23)。接著，解除基板11的夾緊部件12的夾緊，然后使承接部件13下降，解除基板11的承接狀態(tài)(ST24)。由此，印刷處理結(jié)束，印刷完成的基板11由輸送導(dǎo)軌10向下游側(cè)搬出。
[0086]如上所說(shuō)明，在本實(shí)施方式所示的絲網(wǎng)印刷中，在使至少一組夾緊部件12與由承接部件13承接的基板11的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接而限制承接部件13上的基板11的水平方向的位置時(shí)，控制使承接部件13相對(duì)于夾緊部件12相對(duì)地升降的第一升降單元，以使基板11的上面Ila從夾緊部件12的上面12a向上方突出。
[0087]另外，基于在由夾緊單元限制了基板11的位置的狀態(tài)下測(cè)量夾緊部件12的上面12a和該夾緊部件12附近的基板11的上面12a的高低差的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行夾緊位置設(shè)定處理或夾緊位置修正處理，所述夾緊位置設(shè)定處理設(shè)定表示在基板11的夾緊中基板11應(yīng)位于的與夾緊部件12的相對(duì)高度位置的夾緊位置，所述夾緊位置修正處理修正所設(shè)定的夾緊位置。
[0088]由此，即使在存在承接部件13的尺寸精度及基板11的厚度的不均、撓曲變形等的情況下，也能夠使基板11的上面Ila相對(duì)于夾緊部件12經(jīng)常保持在適當(dāng)?shù)母叨任恢茫軌蚍乐挂蚧?1和夾緊部件12的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良。
[0089]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0090]本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置其基板夾緊位置的設(shè)定方法具有能夠防止因基板和夾緊部件的相對(duì)高度而產(chǎn)生的印刷質(zhì)量不良這種效果，應(yīng)用于在基板上印刷膏狀釬焊料或?qū)щ娦愿嗟雀嗟念I(lǐng)域。
【權(quán)利要求】
1.一種絲網(wǎng)印刷裝置，將形成有圖案孔的絲網(wǎng)掩模重疊在基板的上面，經(jīng)由所述圖案孔，將粘性體印刷在所述基板的上面，其特征在于，具備: 承接部件，其承接所述基板的下面； 基板夾緊單元，其使至少一組夾緊部件與由所述承接部件承接的所述基板的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，夾緊所述承接部件上的所述基板； 第一升降單元，其為了使所述基板位于表示在所述基板的夾緊中該基板應(yīng)位于的與所述夾緊部件的相對(duì)高度位置的夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降；對(duì)位單元，進(jìn)行由所述承接部件承接的所述基板與所述絲網(wǎng)掩模的水平方向的對(duì)位；第二升降單元，其為了在進(jìn)行了所述對(duì)位的所述基板的上面重疊所述絲網(wǎng)掩?；?yàn)榱耸顾鼈兘咏娇蛇M(jìn)行絲網(wǎng)印刷的距離，使所述基板和所述絲網(wǎng)掩模相對(duì)地接近，在絲網(wǎng)印刷后，為了使所述絲網(wǎng)掩模從所述基板的上面脫版，使所述基板和所述絲網(wǎng)掩模相對(duì)地在上下方向分離； 印刷頭，其通過(guò)沿著所述絲網(wǎng)掩模的上面移動(dòng)，由此，經(jīng)由所述圖案孔將所述粘性體印刷在所述基板的上面； 控制部，其控制所述絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作； 高低差測(cè)量單元，其在由所述夾緊單元限制了所述基板的位置的狀態(tài)下，測(cè)量所述夾緊部件的上面與該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差， 所述控制部基于所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果，進(jìn)行修正所述夾緊位置的夾緊位置修正處理。
2.如權(quán)利要求1所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于， 所述高低差測(cè)量單元是對(duì)至所述基板的上面及所述夾緊部件的上面的高度距離進(jìn)行測(cè)量的測(cè)距器， 另外，所述測(cè)距器與拍攝所述基板的識(shí)別標(biāo)識(shí)的基板識(shí)別攝像機(jī)及拍攝絲網(wǎng)掩模的識(shí)別標(biāo)識(shí)的掩模識(shí)別攝像機(jī)一起被安裝于中間組件，所述中間組件通過(guò)中間組件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在由所述承接部件承接的基板的上方進(jìn)行水平移動(dòng)。
3.—種絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法，其在權(quán)利要求1或2所述的絲網(wǎng)印刷裝置中，設(shè)定所述夾緊位置，其特征在于，包含: 基板承接工序，承接所述基板的下面； 承接部件移動(dòng)工序，為了使所述基板位于被暫定設(shè)定的假設(shè)的夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降； 高低差測(cè)量工序，由所述高低差測(cè)量單元測(cè)量所述夾緊部件的上面和該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差； 夾緊位置設(shè)定工序，在多次反復(fù)執(zhí)行逐漸更新所述假設(shè)的夾緊位置的同時(shí)依次進(jìn)行所述承接部件移動(dòng)工序及所述高低差測(cè)量工序的反復(fù)試驗(yàn)處理的過(guò)程中，將確認(rèn)了所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果即高低差包含在規(guī)定的范圍內(nèi)的反復(fù)試驗(yàn)處理的假設(shè)的夾緊位置設(shè)定為最終的夾緊位置。
4.如權(quán)利要求3所述的絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法，其特征在于， 所述高低差測(cè)量工序是測(cè)量所述夾緊部件的上面和所述基板的上面的多個(gè)部位的高低差的工序，所述夾緊位置設(shè)定工序?qū)⒋_認(rèn)了所述多個(gè)部位的所述高低差包含在所述規(guī)定的范圍內(nèi)的反復(fù)試驗(yàn)處理的所述假設(shè)的夾緊位置設(shè)定為所述最終的夾緊位置。
5.一種絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法，其在權(quán)利要求1或2所述的絲網(wǎng)印刷裝置中，設(shè)定所述夾緊位置，其特征在于，包含: 基板承接工序，承接所述基板的下面； 承接部件移動(dòng)工序，為了使所述基板位于所述夾緊位置，使所述承接部件相對(duì)于所述夾緊部件相對(duì)地升降； 基板夾緊工序，使所述夾緊部件與位于所述夾緊位置的所述基板的相對(duì)的兩個(gè)邊的側(cè)面抵接，夾緊所述承接部件上的所述基板； 高低差測(cè)量工序，由所述高低差測(cè)量單元測(cè)量夾緊了所述基板的狀態(tài)的所述夾緊部件的上面和該夾緊部件附近的所述基板的上面的高低差； 夾緊位置修正工序，基于所述高低差測(cè)量單元的測(cè)量結(jié)果，修正所述夾緊位置。
6.如權(quán)利要求5所述的絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法，其特征在于， 所述高低差測(cè)量工序是測(cè)量所述夾緊部件的上面和所述基板的上面的多個(gè)部位的高低差的工序，所述夾緊位置修正工序修正所述夾緊位置，以使所述多個(gè)部位的所述基板的上面成為所述夾緊部件的上面以上的高度。
7.如權(quán)利要求5或6所述的絲網(wǎng)印刷裝置的基板夾緊位置的設(shè)定方法，其特征在于， 在所述夾緊位置修正工序之后，基于修正后的夾緊位置進(jìn)行所述承接部件移動(dòng)工序，然后，進(jìn)行所述高低差測(cè)量工`序和所述夾緊位置修正工序。
【文檔編號(hào)】B41F15/14GK103770450SQ201310511298
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月25日
【發(fā)明者】村上俊行, 村上稔, 前田亮 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社