專利名稱：噴嘴噴出量的修正方法以及液滴的噴出方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴嘴噴出量的修正方法、液滴的噴出方法以及有機(jī)EL元件的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，公知有ー種將包含功能性材料的液狀體作為液滴從噴墨頭的噴嘴噴出而形成薄膜的液滴噴出法(噴墨法)。作為在液滴噴出法中形成的薄膜的代表例，有濾色器、有 機(jī)EL面板的發(fā)光層。噴墨頭具有存儲(chǔ)液狀體的多個(gè)空腔、與該空腔連通且沿ー個(gè)方向排列的多個(gè)噴嘴、對(duì)各空腔內(nèi)的液狀體進(jìn)行加壓的多個(gè)致動(dòng)器(例如壓電元件、電阻加熱元件等)。噴墨頭通過向基于描繪數(shù)據(jù)而選擇出的致動(dòng)器輸入共用的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)，從與各致動(dòng)器對(duì)應(yīng)的噴嘴噴出液狀體的液滴。在噴墨法中，通過將液狀體作為液滴從噴墨頭的噴嘴向基板噴出，并使噴落在基板上的液滴干燥來形成薄膜。在噴墨法中，期望描繪對(duì)象的高精細(xì)化，同時(shí)還期望灰度表現(xiàn)出色的描繪，例如在專利文獻(xiàn)I中公開了ー種能夠?qū)崿F(xiàn)灰度表現(xiàn)出色的描繪的液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)方法。根據(jù)上述液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)方法，對(duì)基于描繪數(shù)據(jù)而選擇的噴嘴而言，致動(dòng)器被施加與所設(shè)定的等級(jí)對(duì)應(yīng)的多個(gè)不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)，能夠使噴出的液滴的平均重量成為預(yù)先規(guī)定的指定重量。因此，通過按每個(gè)等級(jí)生成的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的組合，能夠?qū)γ總€(gè)噴嘴較正向?qū)ο笪锷蠂姵龅囊籂铙w(液滴)的總重量，可使液狀體干燥而得到的薄膜的膜厚均勻性提高。并且，與利用単一的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)使液滴噴出的情況相比，通過組合不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)，相應(yīng)地能夠在上述平均重量的調(diào)整時(shí)提高其精度，并且能夠擴(kuò)展其自由度。專利文獻(xiàn)I :日本特開2008-136927號(hào)公報(bào)但是，在對(duì)上述專利文獻(xiàn)I所記載的多個(gè)液滴的平均重量進(jìn)行等級(jí)劃分的液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)方法中，由于等級(jí)劃分的灰度受到限制，所以難以充分地修正液滴的重量偏差。在未充分進(jìn)行液滴的重量偏差的修正的情況下,重量較大的液滴或重量較小的液滴沿基板的掃描方向連續(xù)。因此，由于即便重量較大的液滴和重量較小的液滴的重量差很微小，也會(huì)產(chǎn)生濾色器、有機(jī)EL面板的發(fā)光層等薄膜的膜厚差，在電光學(xué)裝置的顯示中被以高的靈敏度反映，所以存在使畫質(zhì)降低這ー課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述課題的至少一部分而提出，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例I]本應(yīng)用例涉及的噴嘴噴出量的修正方法是對(duì)噴嘴列的每個(gè)噴嘴的致動(dòng)器選擇不同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中的I個(gè)進(jìn)行供給，對(duì)從上述噴嘴向噴出區(qū)域噴出的液滴的重量進(jìn)行修正的噴嘴噴出量的修正方法，包括第I步驟，根據(jù)未對(duì)上述每個(gè)噴嘴進(jìn)行上述液滴的重量修正時(shí)向上述噴出區(qū)域噴出的全部液滴的重量的合計(jì)值A(chǔ)與預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量B的差值，以修正后的第I噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量、和向相同的上述噴出區(qū)域噴出的上述第I以外的噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量的合計(jì)值C成為上述規(guī)定量B的方式，對(duì)每個(gè)噴嘴進(jìn)行上述第I噴嘴列単位或噴出単位或者掃描單位的修正計(jì)算；和第2步驟，根據(jù)在上述第I步驟中修正后的向上述噴出區(qū)域噴出的計(jì)算上的全部液滴的重量的合計(jì)值D與上述規(guī)定量B的差值，以修正后的上述第I噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量、向相同的上述噴出區(qū)域噴出的修正后的第2噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量、與向相同的上述噴出區(qū)域噴出的上述第I和上述第2以外的噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量的合計(jì)值E成為上述規(guī)定量B的方式，對(duì)每個(gè)噴嘴進(jìn)行第2噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的修正計(jì)算； 階段性地進(jìn)行上述噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的數(shù)量的量的修正量計(jì)算。根據(jù)本應(yīng)用例，由于按照在一個(gè)噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位中噴出區(qū)域的全部液滴的重量的合計(jì)值A(chǔ)、C成為規(guī)定量B的方式進(jìn)行修正，所以能夠使向噴出區(qū)域噴出液滴的噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的數(shù)量的修正灰度以乘方増加。由此，可充分進(jìn)行每個(gè)噴嘴噴出的液滴的重量偏差的修正，能夠使利用多個(gè)噴嘴在噴出區(qū)域形成的薄膜的膜厚均勻化。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所述的噴嘴噴出量的修正方法中，上述液滴的重量的修正量計(jì)算的順序、和從上述噴嘴向上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的上述噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描単位的順序不相同。根據(jù)本應(yīng)用例，由于對(duì)實(shí)際的液滴的噴出順序沒有限制，所以能夠更加靈活地進(jìn)行噴出，由此，能夠?qū)姵鲆旱蔚膶?duì)象物進(jìn)行最佳的噴出。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所述的噴嘴噴出量的修正方法中，優(yōu)選向相同的上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的各個(gè)上述噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位中的選擇噴嘴不相同。根據(jù)本應(yīng)用例，由于按各個(gè)噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位以不同的噴嘴向噴出區(qū)域進(jìn)行噴出，所以當(dāng)在每個(gè)噴嘴的液滴的噴出重量的測(cè)定上產(chǎn)生誤差時(shí)，能夠使該誤差分散，因此，能夠充分地進(jìn)行液滴的重量偏差的修正。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所述的噴嘴噴出量的修正方法中，向相同的上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的各個(gè)上述噴嘴列単位或者噴出單位或掃描單位中的上述液滴的噴出次數(shù)不均等。根據(jù)本應(yīng)用例，由于能夠根據(jù)噴出區(qū)域自由設(shè)定液滴噴出次數(shù)，所以可向噴出區(qū)域噴出最佳的液滴的重量，同時(shí)能夠充分地進(jìn)行液滴的重量偏差的修正。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所述的噴嘴噴出量的修正方法中，可以通過從以時(shí)間序列排列的上述不同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中選擇ー個(gè)來進(jìn)行上述每個(gè)噴嘴的上述液滴的重量的修正。根據(jù)本應(yīng)用例，液滴重量的修正方法不限于因多用(multi common)而從不同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中選擇ー個(gè)的方法，也能夠在從時(shí)分驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中選擇ー個(gè)的方法中應(yīng)用，即便是不具備多用的噴墨頭，也能夠充分地進(jìn)行液滴的重量偏差的修正。[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例所述的液滴的噴出方法中，使用上述應(yīng)用例的噴嘴噴出量的修正方法，根據(jù)上述第I步驟以及上述第2步驟的修正計(jì)算的結(jié)果，生成向上述每個(gè)噴嘴的致動(dòng)器供給的多個(gè)上述驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)，從選擇出的上述噴嘴向上述噴出區(qū)域噴出上述液滴。根據(jù)本應(yīng)用例，由于按照在一個(gè)噴嘴列單位或者噴出單位或掃描單位中噴出區(qū)域的全部液滴的重量的合計(jì)值A(chǔ)成為規(guī)定量B的方式進(jìn)行修正，所以能夠使向噴出區(qū)域噴出液滴的噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的數(shù)量的修正灰度以乘方增加。即，能夠提供可充分地進(jìn)行液滴的重量偏差的修正的液滴的噴出方法。、[應(yīng)用例7]上述應(yīng)用例所述的有機(jī)EL元件的制造方法是在基板上劃分形成的多個(gè)膜形成區(qū)域上具有包含發(fā)光層的功能層的有機(jī)EL元件的制造方法，具備使用上述應(yīng)用例的液滴的噴出方法，向上述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出含有功能性材料的液狀體的噴出エ序；和使噴出的上述液狀體固化，形成上述功能層的固化工序。根據(jù)本應(yīng)用例，由于對(duì)作為涂敷區(qū)域的膜形成區(qū)域穩(wěn)定地賦予需要量的液狀體，所以如果在固化工序中使賦予的液狀體固化，則在每個(gè)膜形成區(qū)域形成具有幾乎恒定的膜厚的功能層。因此，能夠減少功能層的膜厚不均所引起的亮度不均勻、發(fā)光不均勻，制造出成品率較高的有機(jī)EL元件。[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例所述的有機(jī)EL元件的制造方法中，上述噴出エ序向所希望的上述膜形成區(qū)域噴出可得到不同的發(fā)光色的多種上述液狀體，上述固化工序使噴出的多種上述液狀體固化，至少形成紅、緑、藍(lán)3色的上述發(fā)光層。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠制造出成品率較高的可得到全彩色發(fā)光的有機(jī)EL元件。[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例所述的有機(jī)EL元件的制造方法中，上述噴出エ序?qū)⒍喾N上述液狀體分別填充到不同的噴頭中，按每個(gè)上述液狀體進(jìn)行修正量計(jì)算和驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的生成。根據(jù)本應(yīng)用例，即便向膜形成區(qū)域賦予的每個(gè)液狀體的需要量不同，也能夠恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行噴出量的修正，可以形成具有所希望的膜厚的發(fā)光層。


圖I是表示本實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置的構(gòu)成的概要立體圖。圖2(a)是表示噴頭的構(gòu)成的概要立體圖，(b)是表示噴嘴的配置狀態(tài)的俯視圖。圖3是表示噴頭的構(gòu)造的概要剖視圖。圖4是表示液滴噴出裝置的電氣構(gòu)成的模塊電路框圖。圖5(a)是表示進(jìn)行修正前的向各噴出區(qū)域噴出的噴出重量的分布的圖，(b)是表示每個(gè)噴出區(qū)域的噴嘴列的修正量的分布的圖，(C)是表示噴嘴列在修正后的每個(gè)噴出區(qū)域的噴出重量的分布的圖，(d)是表示每個(gè)噴出區(qū)域的噴嘴列的修正量的分布的圖，(e)是表示噴嘴列在修正后的每個(gè)噴出區(qū)域的噴出重量的分布的圖。
圖6是表示不同的驅(qū)動(dòng)電壓的第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的圖。圖7是表示串行圖案數(shù)據(jù)SIA的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的圖。圖8是表示狀態(tài)(state)切換信號(hào)CHA的狀態(tài)的區(qū)分的真值表。圖9是表示串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB的數(shù)據(jù)構(gòu)成的圖。圖10是表示前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF和后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML中的第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的選擇方法的真值表。圖11是表示狀態(tài)切換信號(hào)CHB的狀態(tài)的區(qū)分的真值表。圖12是表示頭驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成的框圖。圖13是表示輸出控制信號(hào)電路的構(gòu)成的框圖。
圖14是表示圖案數(shù)據(jù)合成電路的構(gòu)成的框圖。圖15是表示公用選擇控制信號(hào)生成電路的構(gòu)成的框圖。圖16是用于說明向各壓電元件供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的時(shí)序圖。圖17是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的概要主視圖。圖18是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的主要部分概要剖視圖。圖19是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的流程圖。圖20(a) (d)是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概要剖視圖。圖21 (a) (d)是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概要剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。應(yīng)予說明，在以下的各圖中，為了使各層、各部件為能夠識(shí)別程度的大小，使各層、各部件的尺度與實(shí)際不同。<液滴的噴出裝置>首先，參照?qǐng)DI 圖15，對(duì)可將包含功能性材料的液狀體作為液滴向被噴出物噴出的液滴噴出裝置進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的液滴噴出裝置是適于后述的有機(jī)EL元件的制造方法的裝置。圖I是表示本實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置的構(gòu)成的概要立體圖。在圖I中，液滴噴出裝置10具有形成為長方體形狀的基臺(tái)11。在基臺(tái)11的上表面形成有沿其長度方向(Y方向)延伸的ー對(duì)引導(dǎo)槽12，在ー對(duì)引導(dǎo)槽12上安裝有基板エ作臺(tái)(stage) 13?；骞ぷ髋_(tái)13與設(shè)置在基臺(tái)11上的工作臺(tái)馬達(dá)的輸出軸連結(jié)?；濂ㄗ髋_(tái)13以使噴出面6a為上側(cè)的狀態(tài)載置作為エ件的基板6(W)，對(duì)該基板6(W)進(jìn)行定位固定?；骞ぷ髋_(tái)13在工作臺(tái)馬達(dá)正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)時(shí)，沿引導(dǎo)槽12以規(guī)定的速度被掃描，使基板6 (W)沿Y方向掃描。在基臺(tái)11的上側(cè)，沿與Y方向垂直的X方向架設(shè)有形成為門型的引導(dǎo)部件14。在引導(dǎo)部件14的上側(cè)配設(shè)有墨盒15。墨盒15存儲(chǔ)包含功能性材料的液狀體(有機(jī)EL用墨水Ik)，以規(guī)定的壓カ導(dǎo)出有機(jī)EL用墨水Ik。在引導(dǎo)部件14上形成有沿X方向延伸的上下一對(duì)導(dǎo)軌16，在上下一對(duì)導(dǎo)軌16上安裝有滑架17。滑架17與設(shè)置在引導(dǎo)部件14的滑架馬達(dá)的輸出軸連結(jié)。在滑架17的下側(cè)搭載有沿X方向排列的多個(gè)液滴噴頭18 (以下簡(jiǎn)稱為噴頭18)?；?7在滑架馬達(dá)正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)時(shí)沿導(dǎo)軌16被掃描，使各噴頭18沿X方向掃描。
圖2(a)是表示噴頭的構(gòu)成的概要立體圖，圖2(b)是表示噴嘴的配置狀態(tài)的俯視圖，圖3是表示噴頭的構(gòu)造的概要剖視圖。如圖2 (a)所示，噴頭18是所謂的2連式噴頭，具備具有2個(gè)連接針42的墨水(液狀體)的導(dǎo)入部21a、在導(dǎo)入部21a上層疊的頭基板20、配置在頭基板20上且在內(nèi)部形成有墨水(液狀體)的頭內(nèi)流路(空腔)的頭主體21b。連接針42通過配管與上述的墨盒15連接，向頭內(nèi)流路供給墨水(液狀體)。在頭基板20上設(shè)置有通過可撓性扁平線纜(省略圖示)與頭驅(qū)動(dòng)電路41 (參照?qǐng)D4)連接的2連的連接器20a。頭主體21b具備由壓電元件構(gòu)成的具有空腔的加壓部21c、和在噴嘴面19a上相 互平行地形成有2個(gè)噴嘴列22a、22b的噴嘴板19。如圖2(b)所示，2個(gè)噴嘴列22a、22b的多個(gè)(180個(gè))噴嘴22分別以間距Pl近似等間隔排列，且以相互錯(cuò)開了間距Pl的一半的間距P2的狀態(tài)配設(shè)于噴嘴面19a。該情況下，間距Pl大約是141 μ m。因此，如果從與噴嘴列22c垂直的方向觀察，則成為360個(gè)噴嘴22大約以70. 5μπι的噴嘴間距排列的狀態(tài)。另外，噴嘴22的直徑大約為27 μ m。以下，也有將多個(gè)噴嘴22統(tǒng)稱為噴嘴N的情況。如圖3所示，在加壓部21c中形成有與各個(gè)噴嘴N連通的空腔23。各空腔23存儲(chǔ)上述墨盒15導(dǎo)出的墨水(液狀體)并向?qū)?yīng)的噴嘴N供給。在各空腔23的上側(cè)粘貼有能夠沿上下方向振動(dòng)的振動(dòng)板24，可使對(duì)應(yīng)的空腔23的容積放大以及縮小。在振動(dòng)板24的上側(cè)分別配設(shè)有作為致動(dòng)器的壓電元件PZ。各壓電元件PZ在被施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM)吋，沿上下方向收縮以及伸長而使對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板24振動(dòng)。各空腔23在各自對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板24振動(dòng)時(shí)，分別使對(duì)應(yīng)的噴嘴N的彎液面沿上下方向振動(dòng)，將與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM(驅(qū)動(dòng)電壓)對(duì)應(yīng)的規(guī)定重量的墨水(液狀體)作為液滴D從對(duì)應(yīng)的噴嘴N噴出。噴出的液滴D沿基板6 (W)的近似法線飛行，噴落在與噴嘴N相對(duì)置的噴出面6a上的位置。在噴出面6a上設(shè)置有后述的對(duì)發(fā)光像素76進(jìn)行劃分的隔壁部94，使液滴D噴落在被隔壁部94包圍的噴出區(qū)域(涂敷區(qū)域或膜形成區(qū)域)。圖I中，在基臺(tái)11的左側(cè)配設(shè)有液滴重量測(cè)量裝置26。液滴重量測(cè)量裝置26對(duì)每ー個(gè)噴嘴N測(cè)量液滴D的重量(實(shí)重Iw)，能夠使用公知的重量測(cè)量裝置。液滴重量測(cè)量裝置26例如能夠使用以托盤盛裝噴出的液滴D而測(cè)量液滴D的電子天平。另外，液滴重量測(cè)量裝置26能夠使用利用具有電極的壓電振子，向該電極噴出液滴D，基于因液滴D的噴落而變化的壓電振子的諧振頻率來檢測(cè)出液滴D的實(shí)重Iw的裝置。這里，將從列內(nèi)的所有噴嘴N噴出的各液滴D的實(shí)重Iw的平均值稱為平均實(shí)重Iwcen0其中，在將噴出的液滴D中最大的實(shí)重Iw設(shè)為Iwmax,將最小的實(shí)重Iw設(shè)為Iwmin時(shí)，平均實(shí)重Iwcen通過Iwcen = (Iwmax+Iwmin)/2來規(guī)定。針對(duì)安裝于滑架17的多個(gè)噴頭18的姆一個(gè),規(guī)定平均實(shí)重Iwcen。接下來，根據(jù)圖4 圖18對(duì)上述液滴噴出裝置10的電氣構(gòu)成進(jìn)行說明。圖4是表示液滴噴出裝置的電氣構(gòu)成的電路框圖。在圖4中，控制裝置30使液滴噴出裝置10執(zhí)行各種處理動(dòng)作?？刂蒲b置30具有外部I/F31 ;由CPU等構(gòu)成的控制部32 ;由DRAM以及SRAM構(gòu)成，作為存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元的RAM33 ;和存儲(chǔ)各種控制程序的R0M34。而且，控制裝置30具有生成時(shí)鐘信號(hào)的振蕩電路35 ;作為生成驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)生成単元的驅(qū)動(dòng)波形生成電路36 ；用于驅(qū)動(dòng)液滴重量測(cè)量裝置26的重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37 ;用于對(duì)基板工作臺(tái)13、滑架17進(jìn)行掃描的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路38 ;和發(fā)送各種信號(hào)的內(nèi)部I/F39?？刂蒲b置30通過外部I/F31與輸入輸出裝置40連接。另外，控制裝置30通過內(nèi)部I/F39與基板工作臺(tái)13、滑架17、液滴重量測(cè)量裝置26以及和噴頭18的每ー個(gè)對(duì)應(yīng)的多個(gè)頭驅(qū)動(dòng)電路41連接。輸入輸出裝置40是具有例如CPU、RAM、R0M、硬盤、液晶顯示器等的外部計(jì)算機(jī)。輸入輸出裝置40根據(jù)ROM或者硬盤中存儲(chǔ)的控制程序，向外部I/F31輸出用于驅(qū)動(dòng)液滴噴出裝置10的各種控制信號(hào)。外部I/F31從輸入輸出裝置40接收描繪數(shù)據(jù)Ip、基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv以及頭數(shù)據(jù)Ih等。這里，描繪數(shù)據(jù)Ip是指與有機(jī)EL元件的位置、膜厚相關(guān)的信息、與液滴D的噴出位置相關(guān)的信息、與基板工作臺(tái)13的掃描速度相關(guān)的信息等用于向噴出面6a的各像素9 (參照?qǐng)D3)噴出液滴D的各種數(shù)據(jù)。
基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv是指與用于將平均實(shí)重Iwcen較正為預(yù)先規(guī)定的指定重量(基準(zhǔn)重量)的驅(qū)動(dòng)電壓(基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓Vhtl)相關(guān)的數(shù)據(jù)。由于各噴頭18的平均實(shí)重Iwcen不同，所以按每ー個(gè)噴頭18規(guī)定基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv。即，基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv是指用于將各噴頭18的平均實(shí)重Iwcen較正為共用的基準(zhǔn)重量的數(shù)據(jù)。頭數(shù)據(jù)Ih是指將噴嘴N (壓電元件PZ)的每ー個(gè)分類成4個(gè)等級(jí)的數(shù)據(jù)，基于各噴嘴N噴出的液滴D的重量來劃分等級(jí)。該數(shù)據(jù)是按向相同的噴出區(qū)域(子像素；與后述的膜形成區(qū)域相當(dāng))噴出液滴的噴嘴列22a的噴嘴Na與噴嘴列22b的噴嘴Nb的每一対，組合各液滴D的重量而依次作成的。在圖4中，RAM33被作為接收緩沖器33a、中間緩沖器33b、輸出緩沖器33c而利用。R0M34存儲(chǔ)控制部32所執(zhí)行的各種控制程序和用于執(zhí)行該控制程序的各種數(shù)據(jù)。R0M34例如存儲(chǔ)用于使灰度與各點(diǎn)(dot)對(duì)應(yīng)的灰度數(shù)據(jù)、用于使和等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM與此時(shí)的各噴嘴N建立對(duì)應(yīng)關(guān)系的等級(jí)數(shù)據(jù)?；叶葦?shù)據(jù)是用于由多個(gè)液滴D形成ー個(gè)點(diǎn)，并通過是否噴出液滴D(即噴出、非噴出)這ー 2灰度模擬表現(xiàn)多灰度的數(shù)據(jù)。等級(jí)數(shù)據(jù)是用于使各等級(jí)(“I” “4”)分別與由4種不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM(第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MD)構(gòu)成的4種中的任意一個(gè)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。即，等級(jí)數(shù)據(jù)是用于使與等級(jí)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM和所有噴嘴N的每ー個(gè)建立對(duì)應(yīng)關(guān)系的數(shù)據(jù)。在圖4中，振蕩電路35生成用于使各種數(shù)據(jù)、各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)同步的時(shí)鐘信號(hào)。振蕩電路35生成例如在各種數(shù)據(jù)的串行傳送時(shí)利用的傳送時(shí)鐘SCLK。振蕩電路35生成在被串行傳送后的各種數(shù)據(jù)的并行變換時(shí)利用的鎖存信號(hào)(圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA、公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB)。另外，振蕩電路35分別生成對(duì)液滴D的噴出定時(shí)進(jìn)行規(guī)定的狀態(tài)切換信號(hào)CHA、對(duì)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的切換定時(shí)進(jìn)行規(guī)定的公用切換信號(hào)CHB。驅(qū)動(dòng)波形生成電路36具有波形存儲(chǔ)器36a、鎖存電路36b、D/A變換器36c、放大器36d。波形存儲(chǔ)器36a將用于生成各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的波形數(shù)據(jù)與規(guī)定的地址對(duì)應(yīng)地儲(chǔ)存。鎖存電路36b以規(guī)定的時(shí)鐘信號(hào)鎖存控制部32從波形存儲(chǔ)器讀出的波形數(shù)據(jù)。D/A變換器36c將鎖存電路36b鎖存的波形數(shù)據(jù)變換成模擬信號(hào)，放大器36d對(duì)D/A變換器36c變換后的模擬信號(hào)進(jìn)行放大，同時(shí)生成驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM?？刂撇?2在輸入輸出裝置40輸入基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv吋，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)波形生成電路36參照基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)IV，讀出波形存儲(chǔ)器36a的波形數(shù)據(jù)。而且，控制部32經(jīng)由驅(qū)動(dòng)波形生成電路36，生成與噴出頻率同步的4種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM(第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MD)?？刂撇?2通過驅(qū)動(dòng)波形生成電路36生成第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、C0MC、C0MD,分別作為由與等級(jí)“ I” “4”對(duì)應(yīng)的不同的驅(qū)動(dòng)電壓構(gòu)成的信號(hào)。圖6是表示不同的驅(qū)動(dòng)電壓的第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的圖。例如，如圖6所示，控制部32生成第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA作為由與等級(jí)“I”的噴嘴N對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓(第I驅(qū)動(dòng)電壓Vha)構(gòu)成的信號(hào)。第I驅(qū)動(dòng)電壓Vha是比基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓VhO高的電壓。由此，等級(jí)“I”的噴嘴N在對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ被輸入圖6那樣的第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA時(shí)，使對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)量(伸縮量)増大與第I驅(qū)動(dòng)電壓Vha對(duì)應(yīng)的量來較正液滴D的實(shí)重Iw，使該液滴D的實(shí)重Iw成為平均實(shí)重Iwcen (基準(zhǔn)重量)。同樣，如圖6所示，控制部32通過驅(qū)動(dòng)波形生成電路36分別以與等級(jí)“2”、等級(jí)“ 3 ”、等級(jí)“ 4 ”對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓(第2驅(qū)動(dòng)電壓Vhb、第3驅(qū)動(dòng)電壓Vhc、第4驅(qū)動(dòng)電壓Vhd)生成第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MD。等級(jí)“2”、等級(jí)“3”、等級(jí)“4”的噴嘴N在各自對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ被輸入第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD時(shí)，根據(jù)與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓來較正液滴D的實(shí)重Iw，使該液滴D的實(shí)重Iw成為基準(zhǔn)重量。由此，所有噴嘴N(壓電元件PZ)在分別被輸入與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM吋，能夠使各液滴D的實(shí)重Iw的平均值歸ー化為共用的基準(zhǔn)重量。在圖4中，控制部32輸出與重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。重量裝置驅(qū)動(dòng)電路37響應(yīng)于來自控制部32的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，通過內(nèi)部I/F39對(duì)液滴重量測(cè)量裝置26進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。 控制部32輸出與馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路38對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路38響應(yīng)于來自控制部32的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，通過內(nèi)部I/F39掃描基板工作臺(tái)13、滑架17。控制部32將外部I/F31接收到的描繪數(shù)據(jù)Ip暫時(shí)存儲(chǔ)到接收緩沖器33a中?？刂撇?2將描繪數(shù)據(jù)Ip變換為中間編碼，作為中間編碼數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到中間緩沖器33b中?？刂撇?2從中間緩沖器33b讀出中間編碼數(shù)據(jù)，并參照R0M34內(nèi)的灰度數(shù)據(jù)展開成點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，將該點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到輸出緩沖器33c中。點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)是用于使點(diǎn)圖案柵格(Iattic)的各柵格點(diǎn)分別與點(diǎn)的灰度(驅(qū)動(dòng)脈沖的圖案)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)是使2維描繪平面(噴出面6a)的各位置(點(diǎn)圖案柵格的各柵格點(diǎn))分別與2比特的值(“00”、“01”、“10”或“ 11”)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。其中，點(diǎn)圖案柵格是規(guī)定了點(diǎn)的灰度的最小間隔的柵格。若展開與基板工作臺(tái)13的I次掃描量相當(dāng)?shù)狞c(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，則控制部32利用該點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)生成與傳送時(shí)鐘SCLK同步的串行數(shù)據(jù)，經(jīng)由內(nèi)部I/F39，使該串行數(shù)據(jù)串行傳送至頭驅(qū)動(dòng)電路41。若串行傳送了 I次掃描量的點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，則控制部32消除中間緩沖器33b的內(nèi)容，針對(duì)下ー個(gè)中間編碼數(shù)據(jù)執(zhí)行展開處理。這里，將利用點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)而生成的串行數(shù)據(jù)稱為串行圖案數(shù)據(jù)SIA。串行圖案數(shù)據(jù)SIA以沿掃描方向的點(diǎn)圖案柵格的柵格單位生成。圖7是表示串行圖案數(shù)據(jù)SIA的數(shù)據(jù)構(gòu)成的圖。如圖7所示，串行圖案數(shù)據(jù)SIA具有噴嘴N的數(shù)量(180個(gè))的用于選擇點(diǎn)的灰度的2比特的值。串行圖案數(shù)據(jù)SIA具有由用于選擇點(diǎn)的灰度的2比特的值中的上位比特構(gòu)成的180比特的上位選擇數(shù)據(jù)SM、和由下位比特構(gòu)成的180比特的下位選擇數(shù)據(jù)SIL。另外，串行圖案數(shù)據(jù)SIA除了具有上位選擇數(shù)據(jù)SIH以及下位選擇數(shù)據(jù)SIL外，還具有圖案數(shù)據(jù)SP。圖案數(shù)據(jù)SP是由使通過上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL規(guī)定的4個(gè)值的每ー個(gè)、與8比特的數(shù)據(jù)(各開關(guān)數(shù)據(jù)Pnm(nm = 00 03、10 13、. . .、70 73)對(duì)應(yīng)的
32比特構(gòu)成的數(shù)據(jù)。各開關(guān)數(shù)據(jù)Pnm(nm = 00 03、10 13.....70 73)分別是用于
對(duì)壓電元件PZ的接通、斷開進(jìn)行規(guī)定的數(shù)據(jù)。圖8是表示狀態(tài)切換信號(hào)CHA的狀態(tài)的區(qū)分的真值表。如圖8所示，狀態(tài)切換信號(hào)CHA是以液滴D的噴出頻率生成的脈沖信號(hào)。這里，將按狀態(tài)切換信號(hào)CHA的每ー個(gè)脈沖規(guī)定的狀況稱為“狀態(tài)(state) ”。狀態(tài)切換信號(hào)CHA將生成先行的圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA到生成后續(xù)的圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA的期間的狀況區(qū)分成多個(gè)狀態(tài)(例如“ O” “7”的各狀態(tài))。其中，生成先行的圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA到生成后續(xù)的圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA之間的期間與各噴嘴N分別和點(diǎn)圖案柵格的單位柵格相對(duì)置的期間相當(dāng)?？刂撇?2通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，根據(jù)圖8所示的真值表，使圖案數(shù)據(jù)SP的各數(shù)據(jù)(各開關(guān)數(shù)據(jù)Pnm)分別與各狀態(tài)對(duì)應(yīng)。例如，控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，使上位選擇數(shù)
據(jù)SIH為“O”、下位選擇數(shù)據(jù)SIL為“O”的噴嘴N(壓電元件PZ)與開關(guān)數(shù)據(jù)P00、P10.....
P70對(duì)應(yīng)。控制部32使開關(guān)數(shù)據(jù)POO、P10、...P70分別與“O” “7”的各狀態(tài)對(duì)應(yīng)。而且，控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，以被設(shè)定為“I”的開關(guān)數(shù)據(jù)POO P70的狀態(tài)向該壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。例如，在POO P60為“0”、P70為“I”時(shí)，控制部32在狀態(tài)為“O” “6”期間斷開壓電元件PZ，在狀態(tài)為“7”的定時(shí)接通該壓電元件PZ。同樣，控制部32根據(jù)圖8所示的真值表，使上位選擇數(shù)據(jù)SIH以及下位選擇數(shù)據(jù)SIL為“01”、“10”、“II”的噴嘴N(壓電元件PZ)分別與開關(guān)數(shù)據(jù)POl P71、P02 P72、P03 P73對(duì)應(yīng)?？刂撇?2使開關(guān)數(shù)據(jù)POl P71、P02 P72、P03 P73分別與“O” “7”的各狀態(tài)對(duì)應(yīng)。而且，控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，以開關(guān)數(shù)據(jù)POl P71、P02 P72、P03 P73成為“I”的狀態(tài)，向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。由此，全部的噴嘴N在每當(dāng)生成串行圖案數(shù)據(jù)SIA時(shí)，分別針對(duì)對(duì)應(yīng)的柵格實(shí)現(xiàn)以對(duì)應(yīng)的上位選擇數(shù)據(jù)SIH以及下位選擇數(shù)據(jù)SIL選擇的點(diǎn)灰度(即驅(qū)動(dòng)脈沖的圖案)。在圖4中，控制部32使外部I/F31接收到的頭數(shù)據(jù)Ih暫時(shí)存在接收緩沖器33a中?？刂撇?2將頭數(shù)據(jù)Ih變換為中間編碼，作為中間編碼數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在中間緩沖器33b中?？刂撇?2從中間緩沖器33b讀出中間編碼數(shù)據(jù)，參照R0M34內(nèi)的等級(jí)數(shù)據(jù)將其展開為公用選擇數(shù)據(jù)，并將該公用選擇數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在輸出緩沖器33c中。公用選擇數(shù)據(jù)是使上述點(diǎn)圖案柵格的各柵格點(diǎn)分別與2比特的值(“00”、“01”、“10”、“11”)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)，是用于使4個(gè)值的各個(gè)與第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC, COMD的任意一個(gè)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。、
若得到與基板工作臺(tái)13的I次掃描量相當(dāng)?shù)墓眠x擇數(shù)據(jù)，則控制部32利用公用選擇數(shù)據(jù)生成與傳送時(shí)鐘SCLK同步的串行數(shù)據(jù)，通過內(nèi)部I/F39將該串行數(shù)據(jù)串行傳送至頭驅(qū)動(dòng)電路41。若串行傳送了 I次掃描量的公用選擇數(shù)據(jù)，則控制部32消除中間緩沖器的內(nèi)容，針對(duì)下一中間編碼數(shù)據(jù)執(zhí)行展開處理。這里，將利用 公用選擇數(shù)據(jù)而生成的串行數(shù)據(jù)稱為串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB。串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB與串行圖案數(shù)據(jù)SIA相同，以沿掃描方向的點(diǎn)圖案柵格的柵格單位生成。圖9是表示串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的圖。圖10是表示前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF和后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML中的第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的選擇方法的真值表。如圖9所示，串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB由用于規(guī)定前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF的種類的前串行公用選擇數(shù)據(jù)SFB、和用于規(guī)定后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML的種類的后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB構(gòu)成。前串行公用選擇數(shù)據(jù)SFB具有由規(guī)定前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF的種類的2比特的值中的上位比特構(gòu)成的180比特的前上位選擇數(shù)據(jù)Sm、和由下位比特構(gòu)成的180比特的前下位選擇數(shù)據(jù)SFL。另外，除了前上位選擇數(shù)據(jù)SFH以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL外，還具有32比特的控制數(shù)據(jù)CR。前上位選擇數(shù)據(jù)SHl以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL是用于根據(jù)圖10所示的真值表，使各噴嘴N(壓電元件PZ)分別與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)?？刂撇?2通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，使用前上位選擇數(shù)據(jù)SHl以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL，根據(jù)圖10所示的真值表，使180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)分別與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類對(duì)應(yīng)。例如，控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，使前上位選擇數(shù)據(jù)SHl為“O”、前下位選擇數(shù)據(jù)SFL為“O”的噴嘴N(壓電元件PZ)分別與第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA對(duì)應(yīng)?？刂撇?2使前上位選擇數(shù)據(jù)SHl和前下位選擇數(shù)據(jù)SFL為“01”、“10”、“11”的噴嘴N(壓電元件PZ)分別與第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD對(duì)應(yīng)?？刂茢?shù)據(jù)CR具有用于對(duì)設(shè)置于頭驅(qū)動(dòng)電路41的溫度檢測(cè)電路進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的數(shù)據(jù)。另外，控制數(shù)據(jù)CR具有I比特的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD。鎖存選擇數(shù)據(jù)AD是用于使各鎖存器根據(jù)各比特的值(“I”或“O”)，對(duì)是否鎖存前上位選擇數(shù)據(jù)SFH以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL進(jìn)行選擇的數(shù)據(jù)。控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，在鎖存選擇數(shù)據(jù)AD為“O”時(shí)，使前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF用的鎖存器對(duì)前上位選擇數(shù)據(jù)SFH以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL進(jìn)行鎖存。后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB具有由規(guī)定后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML的種類的2比特的值中的上位比特構(gòu)成的180比特的后上位選擇數(shù)據(jù)SLH、和由下位比特構(gòu)成的180比特的后下位選擇數(shù)據(jù)SLL。后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB除了后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLLタト,還具有32比特的虛擬(dummy)數(shù)據(jù)DM。后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLL是用于根據(jù)圖10所示的真值表，使各噴嘴N(壓電元件PZ)與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，根據(jù)后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLL和圖10所示的真值表，使180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)分別與驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的種類對(duì)應(yīng)。例如，控制部32通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，使后上位選擇數(shù)據(jù)SLH為“O”、后下位選擇數(shù)據(jù)SLL為“O”的噴嘴N(壓電元件PZ)分別與第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA對(duì)應(yīng)。控制部32使后上位選擇數(shù)據(jù)SLH和后下位選擇數(shù)據(jù)SLL為“01”、“10”、“11”的噴嘴N(壓電元件PZ)分別與第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD對(duì)應(yīng)。其中，將基于前上位選擇數(shù)據(jù)SFH以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL選擇向各壓電元件PZ供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的狀況稱為前選擇。另外，將基于后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLL選擇向各壓電元件PZ供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的狀況稱為后選擇。虛擬數(shù)據(jù)DM是用于通過與串行圖案數(shù)據(jù)SIA相同的傳送時(shí)鐘SCLK傳送對(duì)應(yīng)的后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB的數(shù)據(jù)。虛擬數(shù)據(jù)DM除了具有成為無效的數(shù)據(jù)外，還具有上述鎖存選擇數(shù)據(jù)AD?？刂撇?2通過頭驅(qū)動(dòng)電路41，在鎖存選擇數(shù)據(jù)AD的比特值為“ I ”時(shí)，使后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML用的鎖存器對(duì)后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLL進(jìn)行鎖存。圖11是表示狀態(tài)切換信號(hào)CHB的狀態(tài)的區(qū)分的真值表。如圖11所示，公用切換信號(hào)CHB是對(duì)向各壓電元件PZ供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM 的選擇狀態(tài)(公用選擇狀態(tài)“F”或“ L”)進(jìn)行切換的信號(hào)。即，公用切換信號(hào)CHB是用于切換前選擇(公用選擇狀態(tài)為“F”的狀態(tài))和后選擇(公用選擇狀態(tài)為“L”的狀態(tài))的信號(hào)。公用選擇狀態(tài)與公用切換信號(hào)CHB的上升同步地切換成“F”(前選擇)或“L”(后選擇)。公用選擇狀態(tài)在圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA為“H”電平(高電位的電平)，且公用切換信號(hào)CHB為“L”電平時(shí)，被初始化為“F”狀態(tài)(前選擇)。公用選擇狀態(tài)在圖案數(shù)據(jù)用 鎖存信號(hào)LATA為“H”電平，且公用切換信號(hào)CHB為“H”電平時(shí)，被設(shè)置為“L”狀態(tài)(后選擇)。接下來，參照?qǐng)D12對(duì)頭驅(qū)動(dòng)電路41進(jìn)行說明。圖12是表示頭驅(qū)動(dòng)回路的構(gòu)成的框圖。如圖12所示，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有作為輸出控制信號(hào)生成單元的輸出控制信號(hào)生成電路50、和作為公用選擇控制信號(hào)生成単元的公用選擇控制信號(hào)生成電路60。而且，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有輸出合成電路70 (第I 第4公用輸出合成電路70A、70B、70C、70D)和對(duì)邏輯系統(tǒng)的信號(hào)進(jìn)行升壓并升壓為模擬開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓電平的電平移位器(levelshifter) 71 (第I 第4公用用電平移位器71A、71B、71C、71D)。而且，頭驅(qū)動(dòng)電路41具有具備用于向壓電元件PZ供給各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的模擬開關(guān)的4個(gè)系統(tǒng)的開關(guān)電路72 (第I 第4公用用開關(guān)電路72A、72B、72C、72D)。由上述輸出合成電路70、電平移位器71以及開關(guān)電路72構(gòu)成輸出單元。首先，對(duì)用于生成輸出控制信號(hào)PI的輸出控制信號(hào)生成電路50進(jìn)行以下說明。圖13是表示輸出控制信號(hào)電路的構(gòu)成的框圖。如圖13所示，輸出控制信號(hào)生成電路50具有移位寄存器51、鎖存器52、狀態(tài)計(jì)數(shù)器53、選擇器54和圖案數(shù)據(jù)合成電路55。移位寄存器51具有圖案數(shù)據(jù)寄存器51A、下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B和上位選擇數(shù)據(jù)寄存器51C，被從控制裝置30輸入串行圖案數(shù)據(jù)SIA和傳送時(shí)鐘SCLK。圖案數(shù)據(jù)寄存器51A被串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA中的圖案數(shù)據(jù)SP，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)32比特的圖案數(shù)據(jù)SP。下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B被串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA中的下位選擇數(shù)據(jù)SIL，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)180比特的下位選擇數(shù)據(jù)SIL。上位選擇數(shù)據(jù)寄存器51C被串行傳送串行圖案數(shù)據(jù)SIA中的上位選擇數(shù)據(jù)SIH，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)180比特的上位選擇數(shù)據(jù)SIH。鎖存器52具有圖案數(shù)據(jù)鎖存器52A、下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52B和上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52C，被從控制裝置30輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA。在被輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA吋，圖案數(shù)據(jù)鎖存器52A鎖存圖案數(shù)據(jù)寄存器51A的數(shù)據(jù)、即圖案數(shù)據(jù)SP。在被輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA時(shí)，下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52B鎖存下位選擇數(shù)據(jù)寄存器51B的數(shù)據(jù)、即下位選擇數(shù)據(jù)SIL。在被輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA時(shí)，上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52C鎖存上位選擇數(shù)據(jù)寄存器5IC的數(shù)據(jù)、即上位選擇數(shù)據(jù)SIH。狀態(tài)計(jì)數(shù)器53是3比特的計(jì)數(shù)器電路，根據(jù)狀態(tài)切換信號(hào)CHA的上升沿進(jìn)行計(jì)數(shù)，使?fàn)顟B(tài)變化。狀態(tài)計(jì)數(shù)器53對(duì)狀態(tài)進(jìn)行從“O”至“7”的計(jì)數(shù)后，通過被輸入狀態(tài)切換信號(hào)CHA而使?fàn)顟B(tài)返回為“O”。另外，狀態(tài)計(jì)數(shù)器53在LATA信號(hào)變?yōu)椤癏”電平(高電位的電平)時(shí)被復(fù)位，使?fàn)顟B(tài)返回為“O”。狀態(tài)計(jì)數(shù)器53在被從控制裝置30輸入狀態(tài)切換信號(hào)CHA和圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA時(shí)，對(duì)狀態(tài)的值進(jìn)行計(jì)數(shù)并輸入至選擇器54。 選擇器54基于狀態(tài)計(jì)數(shù)器53輸出的狀態(tài)的值、和圖案數(shù)據(jù)鎖存器52A鎖存的圖案數(shù)據(jù)SP，選擇與狀態(tài)的值對(duì)應(yīng)的開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3，并將選擇出的開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3輸出給圖案數(shù)據(jù)合成電路55。S卩，選擇器54在圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA被輸入給圖案數(shù)據(jù)鎖存器52A時(shí)，讀入被圖案數(shù)據(jù)鎖存器52A鎖存的圖案數(shù)據(jù)SP，根據(jù)圖8所示的真值表，選擇與狀態(tài)的值“η”對(duì)應(yīng)的開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Ρη3。例如，選擇器54在狀態(tài)計(jì)數(shù)器53的狀態(tài)為“O”時(shí)，將與狀態(tài)“O”對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)SP、即圖8所示的開關(guān)數(shù)據(jù)POO Ρ03輸出給圖案數(shù)據(jù)合成電路55。圖案數(shù)據(jù)合成電路55被從選擇器54輸入各開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Ρη3，讀入下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52Β鎖存的下位選擇數(shù)據(jù)SIL、和上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器52C鎖存的上位選擇數(shù)據(jù)SIH0圖案數(shù)據(jù)合成電路55使用各開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Ρη3、下位選擇數(shù)據(jù)SIL和上位選擇數(shù)據(jù)SIH,根據(jù)圖8所示的真值表，按每個(gè)狀態(tài)生成針對(duì)180個(gè)噴嘴N規(guī)定了液滴的噴出、非噴出(各比特的值“0”或“I”)的180比特的數(shù)據(jù)(輸出控制信號(hào)ΡΙ)。圖14是表示圖案數(shù)據(jù)合成電路的構(gòu)成的框圖。如圖14所示，圖案數(shù)據(jù)合成電路55例如由與一個(gè)噴嘴N對(duì)應(yīng)的4個(gè)AND門55a、55b、55c、55d和被輸入這些AND門55a、55b、55c、55d的輸出的OR門55e構(gòu)成。AND門55a、55b、55c、55d分別被輸入上位選擇數(shù)據(jù)SIH、下位選擇數(shù)據(jù)SIL和對(duì)應(yīng)的開關(guān)數(shù)據(jù)PnO Pn3。在上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL為“00”時(shí)，僅AND門55a有效，開關(guān)數(shù)據(jù)PnO ( “O”或“ I”)作為對(duì)應(yīng)的噴嘴N的輸出控制信號(hào)PI被輸出。另外，在上位選擇數(shù)據(jù)SIH和下位選擇數(shù)據(jù)SIL為“01”、“10” “00”時(shí)，分別僅AND門55b、55c、55d有效，開關(guān)數(shù)據(jù)Pnl、Pn2、Pn3( “O”或“I”)作為對(duì)應(yīng)的噴嘴N的輸出控制信號(hào)PI被輸出。由此，與圖8所不的真值表對(duì)應(yīng)的開關(guān)數(shù)據(jù)Pnm作為輸出控制信號(hào)PI被輸出。接下來，對(duì)用于生成各公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD的公用選擇控制信號(hào)生成電路60進(jìn)行以下說明。圖15是表示公用選擇控制信號(hào)生成電路的構(gòu)成的框圖。如圖15所示，公用選擇控制信號(hào)生成電路60具有移位寄存器61、鎖存器62、公用選擇狀態(tài)生成電路63和公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64。
移位寄存器61具有控制數(shù)據(jù)寄存器61A、下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B和上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C，被從控制裝置30輸入串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB和傳送時(shí)鐘SCLK?？刂茢?shù)據(jù)寄存器61A被串行傳送串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB中的控制數(shù)據(jù)CR，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)32比特的控制數(shù)據(jù)CR。或者，控制數(shù)據(jù)寄存器6IA被串行傳送串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB中的虛擬數(shù)據(jù)DM，通過傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)32比特的虛擬數(shù)據(jù)DM。下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B被串行傳送串行公用選擇數(shù)據(jù)SI B中的下位選擇數(shù)據(jù)SXL (前下位選擇數(shù)據(jù)SFL或后下位選擇數(shù)據(jù)SLL)，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)180比特的下位選擇數(shù)據(jù)SXL。上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C被串行傳送串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB中的上位選擇數(shù)據(jù)SXH (前上位選擇數(shù)據(jù)SFH或后上位選擇數(shù)據(jù)SLH)，根據(jù)傳送時(shí)鐘SCLK依次位移而存儲(chǔ)180比特的上位選擇數(shù)據(jù)SXH。鎖存器62具有控制數(shù)據(jù)鎖存器62A、前下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62B、前上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62C、后下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62D和后上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62E，被從控制裝置30輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB和鎖存選擇數(shù)據(jù)AD?？刂茢?shù)據(jù)鎖存器62A在被輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB吋，鎖存控制數(shù)據(jù)寄存器61A的數(shù)據(jù)、即控制數(shù)據(jù)CR或虛擬數(shù)據(jù)DM，向規(guī)定的控制電路(例如溫度檢測(cè)電路等)輸出鎖存的數(shù)據(jù)。前下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62B在被輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB吋，讀入控制數(shù)據(jù)寄存器61A所儲(chǔ)存的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD，在該鎖存選擇數(shù)據(jù)AD為“O”吋，鎖存下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B的數(shù)據(jù)、即前下位選擇數(shù)據(jù)SFL。另外，前上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62C在被輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB吋，讀入控制數(shù)據(jù)寄存器61A所存儲(chǔ)的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD，在該鎖存選擇數(shù)據(jù)AD為“ I”吋，鎖存上位選擇數(shù)據(jù)寄存器6IC的數(shù)據(jù)、S卩前下位選擇數(shù)據(jù)SFL。后下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62D在被輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB吋，讀入控制數(shù)據(jù)寄存器61A所存儲(chǔ)的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD，在該鎖存選擇數(shù)據(jù)AD為“ I ”吋，鎖存下位選擇數(shù)據(jù)寄存器61B的數(shù)據(jù)、即后下位選擇數(shù)據(jù)SLL。另外，后上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62E在被輸入公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB吋，讀入控制數(shù)據(jù)寄存器61A所存儲(chǔ)的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD，在該鎖存選擇數(shù)據(jù)AD為“O”吋，鎖存上位選擇數(shù)據(jù)寄存器61C的數(shù)據(jù)、即后下位選擇數(shù)據(jù)SLL。公用選擇狀態(tài)生成電路63是I比特的計(jì)數(shù)器電路，根據(jù)公用切換信號(hào)CHB的上升沿進(jìn)行計(jì)數(shù)。公用選擇狀態(tài)生成電路63如圖11所示，根據(jù)公用切換信號(hào)CHB的狀態(tài)和圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA的狀態(tài)，將公用選擇狀態(tài)切換成“F” (前選擇)或“L” (后選擇)，將與該公用選擇狀態(tài)相關(guān)的信號(hào)輸出給公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64。公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64在公用選擇狀態(tài)為“F”時(shí)，讀入前下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62B鎖存的前下位選擇數(shù)據(jù)SFL、和前上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62C鎖存的前上位選擇數(shù)據(jù)SHL公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64使用前下位選擇數(shù)據(jù)SFL以及前上位選擇數(shù)據(jù)SFH，根據(jù)圖10所示的真值表，對(duì)4個(gè)不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的各個(gè)是否使用(選擇/非選擇)進(jìn)行規(guī)定。公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64生成針對(duì)180個(gè)噴嘴N的每ー個(gè)規(guī)定了各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的選擇/非選擇的數(shù)據(jù)。
另外，公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64在公用選擇狀態(tài)為“L”吋，讀入后下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62D鎖存的后下位選擇數(shù)據(jù)SLL、和后上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62E鎖存的后上位選擇數(shù)據(jù)SLH。公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64使用后下位選擇數(shù)據(jù)SLL以及后上位選擇數(shù)據(jù)SLH，根據(jù)圖10所示的真值表，對(duì)4個(gè)不同的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的各個(gè)是否使用(選擇/非選擇)進(jìn)行規(guī)定。公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64生成針對(duì)180個(gè)噴嘴N的每ー個(gè)規(guī)定了各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的選擇/非選擇的數(shù)據(jù)。S卩，公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64在公用選擇狀態(tài)為“F”的期間，生成針對(duì)180個(gè)噴嘴N的每ー個(gè)規(guī)定了前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF的任意ー個(gè)的數(shù)據(jù)。公用選擇數(shù)據(jù)解碼電路64在公用選擇狀態(tài)為“L”的期間，生成針對(duì)180個(gè)噴嘴N的每ー個(gè)規(guī)定了后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML 的任意ー個(gè)的數(shù)據(jù)。這里，將對(duì)第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的選擇/非選擇進(jìn)行了規(guī)定的數(shù)據(jù)稱為第I公用選擇控制信號(hào)PXA。另外，將對(duì)第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD的選擇/非選擇進(jìn)行了規(guī)定的數(shù)據(jù)分別稱為第2公用選擇控制信號(hào)PXB、第3公用選擇控制信號(hào)PXC、第4公用選擇控制信號(hào)PXD。在圖12中，輸出合成電路70具有第I公用輸出合成電路70A、第2公用輸出合成電路70B、第3公用輸出合成電路70C和第4公用輸出合成電路70D。各輸出合成電路70A、70B、70C、70D分別被從輸出制御信號(hào)生成電路50共通輸入180比特的輸出控制信號(hào)PI。另夕卜，各輸出合成電路70A、70B、70C、70D分別被從公用選擇控制信號(hào)生成回路60輸入第I公用選擇控制信號(hào)PXA、第2公用選擇控制信號(hào)PXB、第3公用選擇控制信號(hào)PXC和第4公用選擇控制信號(hào)PXD。第I 第4公用輸出合成電路70A、70B、70C、70D分別由與一個(gè)噴嘴N對(duì)應(yīng)的AND門構(gòu)成。第I公用輸出合成電路70A的各AND門分別被輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第I公用選擇控制信號(hào)PXA。第I公用輸出合成電路70A的各AND門分別輸出對(duì)是否向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA(供給/非供給)進(jìn)行了規(guī)定的信號(hào)(第
I選擇公用輸出控制信號(hào)CPA)。第2公用輸出合成電路70B的各AND門分別被輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第2公用選擇控制信號(hào)PXB。第2公用輸出合成電路70B的各AND門分別輸出針對(duì)對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ規(guī)定了第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB的供給/非供給的信號(hào)(第2選擇公用輸出控制信號(hào)CPB)。第3公用輸出合成電路70C的各AND門分別被輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第3公用選擇控制信號(hào)PXC。第3公用輸出合成電路70C的各AND門分別輸出針對(duì)對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ規(guī)定了第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC的供給/非供給的信號(hào)(第3選擇公用輸出控制信號(hào)CPC)。另外，第4公用輸出合成電路70D的各AND門分別被輸入對(duì)應(yīng)的輸出控制信號(hào)PI和對(duì)應(yīng)的第4公用選擇控制信號(hào)PXD。第4公用輸出合成電路70D的各AND門輸出針對(duì)對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ規(guī)定了第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMD的供給/非供給的信號(hào)(第4選擇公用輸出控制信號(hào)CPD)。第I公用輸出合成電路70A例如在輸出控制信號(hào)PI為“1”，且第I公用選擇控制信號(hào)PXA為“I”時(shí)，輸出用于向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的第I選擇公用輸出控制信號(hào)CPA(比特值為“I”的信號(hào))。相反，第I公用輸出合成電路70A在輸出控制信號(hào)PI為“O”或第I公用選擇控制信號(hào)PXA為“O”時(shí)，輸出用于不向該壓電元件PZ供給第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA的第I選擇公用輸出控制信號(hào)CPA(比特值為“O”的信號(hào))。
由此，180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)分別通過輸出控制信號(hào)PI被決定液滴D的噴出/非噴出，由第I 第4公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD決定各驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM
的供給/非供給。電平移位器71具有第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC、COMD用的4系統(tǒng)的電平移位器(第I公用用電平移位器71A、第2公用用電平移位器71B、第3公用用電平移位器71C、第4公用用電平移位器71D)。第I 第4公用用電平移位器71A、71B、71C、71D分別被從對(duì)應(yīng)的輸出合成電路70輸入第I 第4選擇公用輸出控制信號(hào)CPA、CPB、CPC、CPD0第I 第4公用用電平移位器71A、71B、71C、71D分別將第I 第4選擇公用輸出控制信號(hào)CPA、CPB、CPC、CPD升壓為模擬開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓電平，輸出與180個(gè)壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的開閉信號(hào)。開關(guān)電路72具有第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC、COMD用的4系統(tǒng)的、開關(guān)電路(第I公用用開關(guān)電路72A、第2公用用開關(guān)電路72B、第3公用用開關(guān)電路72C、第4公用用開關(guān)電路72D)。第I 第4公用用開關(guān)電路72A、72B、72C、72D分別具有與壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的180個(gè)模擬開關(guān)。第I 第4公用用開關(guān)電路72A、72B、72C、72D分別被從對(duì)應(yīng)的電平移位器71輸入開閉信號(hào)。4系統(tǒng)的各模擬開關(guān)的輸入端分別被輸入對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0M，4系統(tǒng)的各模擬開關(guān)的輸出端分別與對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ共同連接。各模擬開關(guān)分別被從對(duì)應(yīng)的電平移位器71輸入開閉信號(hào),在該開閉信號(hào)為“H”電平時(shí),輸出與對(duì)應(yīng)的壓電元件PZ對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。由此，180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)在分別根據(jù)輸出控制信號(hào)PI而選擇了液滴D的噴出動(dòng)作時(shí)，根據(jù)第I 第4選擇公用輸出控制信號(hào)CPA、CPB、CPC、CPD來供給第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC、COMD的任意ー個(gè)。即，180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)在選擇液滴D的噴出動(dòng)作時(shí)，被供給與等級(jí)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM。接下來，對(duì)安裝于液滴噴出裝置10的液滴噴頭18的驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行以下說明。圖16是用于說明向各壓電元件PZ供給的驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的時(shí)序圖。首先，如圖I所示，基板6 (W)以其噴出面6a為上側(cè)的狀態(tài)被配置于基板工作臺(tái)13。此時(shí)，基板工作臺(tái)13將基板6(W)配置在滑架17的反Y箭頭方向。根據(jù)該狀態(tài)，輸入輸出裝置40向控制裝置30輸入描繪數(shù)據(jù)Ip、基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv和頭數(shù)據(jù)Ih?；鶞?zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv以及頭數(shù)據(jù)Ih是分別基于由液滴重量測(cè)量裝置26測(cè)量出的各液滴D的實(shí)重Iw而生成的。該頭數(shù)據(jù)Ih將位于最靠X箭頭方向的噴嘴N(第I壓電元件PZl)分類為“I”等級(jí)，將從X箭頭方向數(shù)第10個(gè)噴嘴N(第10壓電元件PZ10)分類為“2”等級(jí)，將從X箭頭方向數(shù)第20個(gè)噴嘴N(第20壓電元件PZ20)分類為“3”等級(jí)?？刂蒲b置30通過馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路38來掃描滑架17，按照當(dāng)在Y箭頭方向掃描基板6 (W)時(shí)各噴頭18在基板6(W)上通過的方式配置滑架17。如果配置了滑架17，則控制裝置30通過馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路38開始基板工作臺(tái)13的掃描。控制裝置30將被從輸入輸出裝置40輸入的頭數(shù)據(jù)Ih展開成公用選擇數(shù)據(jù)。如果展開與基板工作臺(tái)13的I次掃描量相當(dāng)?shù)墓眠x擇數(shù)據(jù)，則控制裝置30如圖16所示，使用公用選擇數(shù)據(jù)生成串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB，并將該串行公用選擇數(shù)據(jù)SIB與傳送時(shí)鐘SCLK同步地向頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送。
此時(shí)，控制裝置30先行傳送前串行公用選擇數(shù)據(jù)SFB (前上位選擇數(shù)據(jù)Sm、前下位選擇數(shù)據(jù)SFL以及控制數(shù)據(jù)CR)，接著，傳送后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB(后上位選擇數(shù)據(jù)SLH、后下位選擇數(shù)據(jù)SLL以及虛擬數(shù)據(jù)DM)。其中，控制數(shù)據(jù)CR所包含的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD被設(shè)定為“0”，虛擬數(shù)據(jù)DM所包含的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD被設(shè)定為“ I ”。控制裝置30向頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出公用選擇數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATB，使頭驅(qū)動(dòng)電路41依次鎖存前串行公用選擇數(shù)據(jù)SFB和后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB。即，頭驅(qū)動(dòng)電路41讀出前串行公用選擇數(shù)據(jù)SFB的控制數(shù)據(jù)CR所包含的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD( “O”)，分別使前上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62C以及前下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62B鎖存前上位選擇數(shù)據(jù)SFH以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL。另外，頭驅(qū)動(dòng)電路41讀出后串行公用選擇數(shù)據(jù)SLB的虛擬數(shù)據(jù)DM所包含的鎖存選擇數(shù)據(jù)AD( “1”)，分別使后上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62E以及后下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62D鎖存后上位選擇數(shù)據(jù)SLH以及后下位選擇數(shù)據(jù)SLL。接下來，控制裝置30將被從輸入輸出裝置40輸入的描繪數(shù)據(jù)Ip展開成點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)。如果展開與基板工作臺(tái)13的I次掃描量相當(dāng)?shù)狞c(diǎn)圖案數(shù)據(jù)，則控制裝置30如圖16所 示，使用點(diǎn)圖案數(shù)據(jù)生成串行圖案數(shù)據(jù)SIA，并將該串行圖案數(shù)據(jù)SIA與傳送時(shí)鐘SCLK同步地向頭驅(qū)動(dòng)電路41串行傳送。在基板工作臺(tái)13到達(dá)規(guī)定的描繪開始位置時(shí)，控制裝置30如圖16所示，向頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA，使頭驅(qū)動(dòng)電路41鎖存串行圖案數(shù)據(jù)SIA (上位選擇數(shù)據(jù)SM、下位選擇數(shù)據(jù)SIL以及圖案數(shù)據(jù)SP)。如果輸出圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA而鎖存了串行圖案數(shù)據(jù)SIA，則控制裝置30向頭驅(qū)動(dòng)電路41依次輸出狀態(tài)切換信號(hào)CHA，使?fàn)顟B(tài)從“O”按照“ 1”、“2”、“3”、“4”、...的順序切換。另外，控制裝置30參照基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓數(shù)據(jù)Iv使驅(qū)動(dòng)波形生成電路36生成4種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM(第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MD)?？刂蒲b置30使第I 第4驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA、COMB、COMC、COMD分別與圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA和狀態(tài)切換信號(hào)CHA同步地按每個(gè)狀態(tài)向頭驅(qū)動(dòng)電路41輸出。另外，如果鎖存了串行圖案數(shù)據(jù)SIA，則頭驅(qū)動(dòng)電路41根據(jù)上位選擇數(shù)據(jù)SIH以及下位選擇數(shù)據(jù)SIL、和圖8所示的真值表，使圖案數(shù)據(jù)SP的各數(shù)據(jù)分別與各狀態(tài)對(duì)應(yīng)，針對(duì)180個(gè)各噴嘴N(壓電元件PZ)規(guī)定各狀態(tài)下的噴出/非噴出。例如，如圖16所示，使第I壓電元件PZ1、第10壓電元件PZlO以及第20壓電元件PZ20以“1”、“3”、“5”、“7”的各狀態(tài)選擇液滴D的噴出動(dòng)作。此時(shí)，控制裝置30對(duì)狀態(tài)切換信號(hào)CHA的脈沖數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在狀態(tài)從“O”向“3”轉(zhuǎn)移的期間，將公用切換信號(hào)CHB設(shè)為“L”狀態(tài)。由于公用切換信號(hào)CHB處于“L”狀態(tài)，所以頭驅(qū)動(dòng)電路41在被輸入圖案數(shù)據(jù)用鎖存信號(hào)LATA的定時(shí)使公用選擇狀態(tài)初始化為“F”(前選擇)。然后，頭驅(qū)動(dòng)電路41基于前選擇，使用前上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62C鎖存的前上位選擇數(shù)據(jù)SFH、和前下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62B鎖存的前下位選擇數(shù)據(jù)SFL，根據(jù)圖10所示的真值表，生成第I 第4公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD。本實(shí)施方式中，在第I壓電元件PZi的情況下僅使用前上位選擇數(shù)據(jù)sra，sra被設(shè)定成“00”。頭驅(qū)動(dòng)電路41使用該前上位選擇數(shù)據(jù)sra( “00”)，根據(jù)圖10所示的真值表，選擇第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MA，不選擇其他驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0M，被供給C0MF。
同樣，在第10壓電元件PZlO的情況下，前上位選擇數(shù)據(jù)sra被設(shè)定成“01”。頭驅(qū)動(dòng)電路41使用該前上位選擇數(shù)據(jù)sra(“01”)，生成選擇第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB、不選擇其他驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的第I 第4公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD。由此，第10壓電元件PZlO在其噴出動(dòng)作被選擇的的狀態(tài)被供給第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB。S卩，等級(jí)“2”的第10壓電元件PZlO被供給與等級(jí)“2”對(duì)應(yīng)的前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MF。另外，在第20壓電元件PZ20的情況下，前上位選擇數(shù)據(jù)SHl被設(shè)定成“ 10”。頭驅(qū)動(dòng)電路41使用該前上位選擇數(shù)據(jù)Sm以及前下位選擇數(shù)據(jù)SFL( “10”)，生成選擇第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC、不選擇其他驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COM的第I 第4公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD。由此，第20壓電元件PZ20在其噴出動(dòng)作被選擇的“ 1”、“3”的狀態(tài)被供給第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMC。S卩，等級(jí)“3”的第20壓電元件PZ20被供給與等級(jí)“3”對(duì)應(yīng)的前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF。接下來，控制裝置30在狀態(tài)轉(zhuǎn)移為“4”的定時(shí)輸出公用切換信號(hào)CHB。頭驅(qū)動(dòng)電路41接收到公用切換信號(hào)CHB的上升，將公用選擇狀態(tài)從“F” (前選擇)切換成“ L” (后 選擇)。然后，頭驅(qū)動(dòng)電路41基于后選擇，使用后上位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62E鎖存的后上位選擇數(shù)據(jù)SLH、和后下位選擇數(shù)據(jù)鎖存器62D鎖存的后下位選擇數(shù)據(jù)SLL，根據(jù)圖10所示的真值表，生成第I 第4公用選擇控制信號(hào)PXA、PXB、PXC、PXD。由此，第I壓電元件PZl在其噴出動(dòng)作被選擇的“5”、“7”的狀態(tài)被供給第I驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMA。即，等級(jí)“I”的第I壓電元件PZl被供給與等級(jí)“I”對(duì)應(yīng)的后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0ML。同樣，第10壓電元件PZlO在其噴出動(dòng)作被選擇的“5”、“7”的狀態(tài)被供給第2驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMB。S卩，等級(jí)“2”的第10壓電元件PZlO被供給與等級(jí)“2”對(duì)應(yīng)的后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0ML。另外，第20壓電元件PZ20在其噴出動(dòng)作被選擇的“5”、“7”的狀態(tài)被供給第3驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)C0MC。即，等級(jí)“3”的第20壓電元件PZ20被供給與等級(jí)“3”對(duì)應(yīng)的后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML。以后，控制裝置30同樣地對(duì)狀態(tài)切換信號(hào)CHA的脈沖數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在狀態(tài)再次轉(zhuǎn)移到“4”的定時(shí)，輸出公用切換信號(hào)CHB。頭驅(qū)動(dòng)電路41接收到公用切換信號(hào)CHB的上升，切換公用選擇狀態(tài)。由此，每當(dāng)狀態(tài)轉(zhuǎn)移為“4”吋，“5”、“7”、“1”、“3”的各狀態(tài)下的前選擇的噴出動(dòng)作和該“5”、“7”、“1”、“3”的各狀態(tài)下的后選擇的噴出動(dòng)作被重復(fù)。在本實(shí)施方式中，在一個(gè)壓電元件中供給I種驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)。〈噴嘴噴出量的修正方法〉接下來，參照?qǐng)D5(a) (e)，對(duì)本實(shí)施方式的噴嘴噴出量的修正方法進(jìn)行說明。圖5(a)是表示進(jìn)行修正前的向各噴出區(qū)域噴出的噴出重量的分布的圖，圖5(b)是表示每個(gè)噴出區(qū)域的噴嘴列的修正量的分布的圖，圖5(c)是表示噴嘴列在修正后的每個(gè)噴出區(qū)域的噴出重量的分布的圖，圖5(d)是表示每個(gè)噴出區(qū)域的噴嘴列的修正量的分布的圖，圖5(e)是表示噴嘴列在修正后的每個(gè)噴出區(qū)域的噴出重量的分布的圖。首先，作為第I步驟，計(jì)算用于僅以從噴嘴Na噴出的墨水重量的修正對(duì)還包含從噴嘴Nb噴出的墨水重量的子像素(噴出區(qū)域)內(nèi)全部的墨水重量進(jìn)行修正的修正量Vcl。修正量Vcl例如在將從噴嘴Na向子像素(噴出區(qū)域)噴出的液滴D的墨水重量設(shè)為Val，將噴出次數(shù)設(shè)為Cal，將從噴嘴Nb噴出的液滴D的墨水重量設(shè)為Vbl，將噴出次數(shù)設(shè)為Cbl，將作為各子像素(噴出區(qū)域)內(nèi)的目標(biāo)的墨水重量(規(guī)定量)設(shè)為Vd時(shí)，能夠通過以下的式⑴求得。Vcl = (ValXCal+Vd-(ValXCal+VblXCbl))/(ValXCal). . . (I)通過對(duì)噴嘴列22a的進(jìn)行噴出的所有噴嘴Na進(jìn)行該計(jì)算，針對(duì)圖5 (a)所示的每個(gè)子像素的噴出重量，求出圖5(b)所示那樣的修正量。在將求出的噴嘴列22a 的各噴嘴Na的修正量Vcl中的最大值設(shè)為Vclmax，將最小值設(shè)為 Vclmin 時(shí)，針對(duì)修正量 Vcl 處于 Vclmin+ (Vclmax-Vclmin) /4X3 < Vcl ^ Vclmax的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“ 1”，針對(duì)修正量Vcl處于Vclmin+ (Vclmax-Vclmin) /2
<Vcl ( VcImin+ (VcImax-VcImin) /4X3的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“2”，針對(duì)修正量Vcl處于 Vclmin+(Vclmax-Vclmin)/4 < Vcl ^ Vclmin+ (Vclmax-Vclmin)/2 的范圍的噴嘴 Na設(shè)定等級(jí)“3”,針對(duì)修正量Vcl處于Vclmin ^ Vcl ^ Vclmin+ (Vclmax-Vclmin) /4的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“4”。接下來，按每個(gè)等級(jí)求出用于對(duì)分類后的4個(gè)等級(jí)的噴出重量進(jìn)行修正的驅(qū)動(dòng)電壓修正量Vhpara。驅(qū)動(dòng)電壓修正量Vhpara通過對(duì)每個(gè)等級(jí)的噴嘴組的各個(gè)噴嘴Na的噴出重量的平均值或由(最大值+最小值)/2求出的值Vclcen，反映了使液滴重量測(cè)量裝置26測(cè)量出的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓Vhtl變化時(shí)的噴出重量的變化量的系數(shù)來求出。接下來，計(jì)算用于僅以從噴嘴Nb噴出的墨水重量的修正，還包含從噴嘴Na噴出的被修正后的墨水重量Val’在內(nèi)，進(jìn)ー步對(duì)子像素內(nèi)全部的墨水重量進(jìn)行修正的修正量Vc2。從噴嘴Na噴出的被修正后的墨水重量Val’根據(jù)將噴嘴Na的墨水重量分類成Val的等級(jí)和修正量Vhpara計(jì)算，在噴嘴Na的修正結(jié)束時(shí)刻，墨水量被修正到圖5 (c)所示的偏差。修正量Vc2例如能夠通過以下的式(2)求得。Vc2 = (Val X Ca I+Vd-(Val，X Cal+Vbl X Cbl)) / (Val X Cal). . . (2)通過針對(duì)噴嘴列22b的進(jìn)行噴出的全部噴嘴Nb進(jìn)行該計(jì)算，求出圖5(d)所示那樣的修正量。在將求出的噴嘴列22b的各噴嘴Nb的修正量Vc2中的最大值設(shè)為Vc2max，將最小值設(shè)為 Vc2min 時(shí)，針對(duì)修正量 Vc2 處于 Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4X3 < Vc2 く Vc2max的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“ I ”，針對(duì)修正量Vc2處于Vc2min+ (Vc2max-Vc2min) /2
<Vc2 ( Vc2min+ (Vc2max-Vc2min) /4X3的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“2”，針對(duì)修正量Vc2處于 Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4 < Vc2 ^ Vc2min+ (Vc2max-Vc2min) /2 的范圍的噴嘴 Na設(shè)定等級(jí)“3”,針對(duì)修正量Vc2處于Vc2min ^ Vc2 ^ Vc2min+(Vc2max_Vc2min) /4的范圍的噴嘴Na設(shè)定等級(jí)“4”。接下來，按每個(gè)等級(jí)求出用于對(duì)分類后的4個(gè)等級(jí)的噴出重量進(jìn)行修正的驅(qū)動(dòng)電壓修正量Vhparb。驅(qū)動(dòng)電壓修正量Vhparb通過對(duì)每個(gè)等級(jí)的噴嘴組的各個(gè)噴嘴Na的噴出重量的平均值或由(最大值+最小值)/2而求得的值Vc2cen，反映使液滴重量測(cè)量裝置26測(cè)量出的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電壓Vhtl變化時(shí)的噴出重量的變化量的系數(shù)來求出。如上所述，能夠修正到圖5(e)所示那樣的墨水重量偏差。以上，對(duì)使用了 2個(gè)噴嘴列的修正方法進(jìn)行了記述，但方法不限于此，也能夠按照每次噴出進(jìn)行。在從相同的噴嘴N向相同的噴出區(qū)域噴出的液滴存在多個(gè)的情況下，能夠通過每噴出I次切換上述的前驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COMF和后驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)COML而進(jìn)行噴出，來進(jìn)行修正。該情況下，使COMF分擔(dān)修正量Vc I，使COML分擔(dān)修正量Vc2。另外，本實(shí)施方式也能夠按照每次掃描進(jìn)行。在通過多次的副掃描向相同的噴出區(qū)域進(jìn)行液滴的噴出時(shí)，使第一次副掃描分擔(dān)修正量Vcl,使第二次副掃描分擔(dān)修正量Vc2。在向相同的噴出區(qū)域噴出液滴的副掃描次數(shù)為3次以上時(shí)，通過如Vc3、Vc4...這樣與副掃描的次數(shù)相應(yīng)地進(jìn)行修正量的計(jì)算，能夠進(jìn)行更高精度的修正。此外，在各掃描中，向相同的噴出區(qū)域噴出液滴的噴嘴N不必一定是相同的噴嘴N，也可以通過變更副掃描的位置而在每次掃描以不同的噴嘴N噴出液滴。由于通過在毎次掃描以不同的噴嘴N噴出液滴，能夠使每個(gè)噴嘴N的液滴重量測(cè)定的誤差、修正量的誤差分散，所以能夠進(jìn)行高精度的修正。此外，上述實(shí)施方式也可以按照以下方式變更。在上述實(shí)施方式中，求出用于以噴嘴列22a、噴嘴列22b的順序進(jìn)行噴出重量的修正的修正量Vcl以及Vc2，并原樣作為噴出數(shù)據(jù)展開，但計(jì)算順序沒有限制，也能夠以噴嘴列22b、噴嘴列22a的順序求出修正量Vcl以及Vc2。由此，由于在組合的噴嘴列內(nèi)的計(jì)算順序以及噴出順序上沒有限制，所以通過以噴嘴列單位求出姆個(gè)噴嘴N的噴出重量偏差,并使噴出重量偏差小的噴嘴列分擔(dān)較大的噴出量修正幅度(Vcl)，能夠進(jìn)行更高精度的噴出重量的修正。不限于此，從組合的例如噴嘴列的噴嘴列22a以及噴嘴列22b的各個(gè)噴嘴列向某個(gè)子像素噴出的次數(shù)不是必須相同。由此，由于可自由設(shè)定液滴的噴出次數(shù)，所以能夠以較高的自由度調(diào)整收納在子像素中的墨水量。并且，由于通過使進(jìn)行修正幅度最大的修正量Vcl的計(jì)算的噴嘴列的噴出次數(shù)比另一方的噴嘴列的噴出次數(shù)大，使得從對(duì)子像素進(jìn)行Vcl的計(jì)算的噴嘴列噴出的液滴重量的權(quán)重與從另一方的噴嘴列噴出的液滴重量相比變大，所以能夠使通過Vcl求出的修正幅度減小，可進(jìn)行更高精度的噴出重量的修正。另外，在對(duì)相同的子像素以不同的副掃描的組合進(jìn)行噴出重量的修正吋，優(yōu)選每次副掃描使用不同的噴嘴向子像素進(jìn)行噴出。由此，由于每次副掃描使用不同的噴嘴N對(duì)子像素進(jìn)行液滴的噴出，所以使用更多的噴嘴N向子像素噴出液滴，由此能夠使由液滴重量測(cè)量裝置26測(cè)量出的液滴重量的測(cè)定誤差分散，可進(jìn)行更高精度的噴出重量的修正。<有機(jī)EL元件的制造方法>接下來，參照?qǐng)D17以及圖18對(duì)具有應(yīng)用本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法而制造的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置進(jìn)行說明。圖17是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的概要主視圖，圖18是本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的主要部分概要剖視圖。如圖17所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置4具備具有R(紅)、G (綠)、B (藍(lán))3色發(fā)光像素76的元件基板78、和與元件基板78以規(guī)定的間隔對(duì)置配置的密封基板80。密封基板80以對(duì)設(shè)置有多個(gè)發(fā)光像素76的發(fā)光區(qū)域82進(jìn)行密封的方式，使用具有高氣密性的密封劑與元件基板78接合。發(fā)光像素76具備作為后述的發(fā)光元件的有機(jī)EL元件84(參照?qǐng)D18)，成為獲得同、色發(fā)光的發(fā)光像素76在附圖上的縱向排列的所謂條紋方式。此外，實(shí)際上發(fā)光像素76很微小，在圖示時(shí)為了方便起見對(duì)其進(jìn)行放大顯示。元件基板78比密封基板80大ー圈，在以邊框狀伸出的部分設(shè)置有驅(qū)動(dòng)發(fā)光像素76的2個(gè)掃描線驅(qū)動(dòng)電路部86和一個(gè)數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路部88。掃描線驅(qū)動(dòng)電路部86、數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路部88例如可以作為集成了電路的IC被安裝于元件基板78，也可以使該驅(qū)動(dòng)電路部86、88直接形成在元件基板78的表面。在元件基板78的端子部78a安裝有用于將這些驅(qū)動(dòng)電路部86、88和外部驅(qū)動(dòng)電路連接的中繼基板90。中繼基板90例如能夠使用可接性電路基板等。如圖18所示，在有機(jī)EL裝置4中，有機(jī)EL元件84具有作為像素電極的陽極92、劃分陽極92的隔壁部94、包含形成在陽極92上的由有機(jī)膜構(gòu)成的發(fā)光層的功能層96。另夕卜，具有以隔著功能層96與陽極92對(duì)置的方式形成的作為共用電極的陰極98。
隔壁部94由苯酚或者聚酰亞胺等具有絕緣性的感光性樹脂構(gòu)成，以一部分對(duì)構(gòu)成發(fā)光像素76的陽極92的周圍進(jìn)行覆蓋，井分別劃分多個(gè)陽極92的方式設(shè)置。陽極92與形成在元件基板78上的TFT(Thin Film Transistor)元件100的3個(gè)端子中的ー個(gè)連接，例如是使作為透明電極材料的ITO (Indium Tin Oxide)成膜為厚度IOOnm左右的電極。此外，雖然省略了圖示，但在陽極92的下層(平坦化層102側(cè))隔著絕緣層設(shè)置有由Al構(gòu)成的反射層。該反射層使功能層96中的發(fā)光向密封基板80側(cè)反射。另外，該反射層不限于Al，只要具有反射發(fā)光的功能(反射面)即可。例如，能夠列舉使用絕緣性的有機(jī)材料或無機(jī)材料形成具有凹凸的反射面的方法；以具有反射功能的導(dǎo)電材料構(gòu)成陽極92本身，在表面層形成ITO膜的方法等。陰極98同樣由ITO等透明電極材料形成。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置4成為所謂的頂部發(fā)射型的構(gòu)造，在陽極92和陰極98之間流過驅(qū)動(dòng)電流，使由功能層96發(fā)出的光被上述反射層反射而從密封基板80側(cè)取出。因此，密封基板80使用由透明的玻璃等構(gòu)成的基板。另外，元件基板78能夠使用透明基板以及不透明基板的任意ー個(gè)。作為不透明基板，例如除了對(duì)氧化鋁等陶瓷、不銹鋼等金屬板實(shí)施了表面氧化等絕緣處理的基板外，還能夠列舉熱固化性樹脂、熱可塑性樹脂等。在元件基板78上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL元件84的電路部104。即，在元件基板78的表面形成有以SiO2為主體的基底保護(hù)層106作為基底，在其上形成有硅層108。在該硅層108的表面形成有以SiO2以及/或者SiN為主體的柵極絕緣層110。另外，將硅層108中隔著柵極絕緣層110與柵電極112重合的區(qū)域設(shè)為溝道區(qū)域108a。其中，該柵電極112是未圖示的掃描線的一部分。另ー方面，在覆蓋硅層108，且形成了柵電極112的柵極絕緣層110的表面形成有以SiO2為主體的第I層間絕緣層114。另外，在硅層108中的溝道區(qū)域108a的源極側(cè)設(shè)置有低濃度源極區(qū)域以及高濃度源極區(qū)域108c，且在溝道區(qū)域108a的漏極側(cè)設(shè)置有低濃度漏極區(qū)域以及高濃度漏極區(qū)域108b,成為所謂的LDD (Light Doped Drain)構(gòu)造。其中的高濃度源極區(qū)域108c通過遍及柵極絕緣層110和第I層間絕緣層114開孔的接觸孔116a，與源電極116連接。該源電極116構(gòu)成為電源線(未圖示)的一部分。另ー方面，高濃度漏極區(qū)域108b通過遍及柵極絕緣層110和第I層間絕緣層114開孔的接觸孔118a，與漏電極118連接，該漏電極118與源電極116由同一層構(gòu)成。
在形成有源電極116以及漏電極118的第I層間絕緣層114的上層，例如形成有以丙烯酸系的樹脂成分為主體的平坦化層102。該平坦化層102由丙烯酸系、聚酰亞胺系等的耐熱性絕緣性樹脂等形成，是為了消除由TFT元件100、源極電極116、漏電極118等引起的表面的凹凸而形成的公知的層。而且，陽極92形成在該平坦化層102的表面上，并且通過設(shè)置在該平坦化層102的接觸孔102a與漏電極118連接。S卩，陽極92通過漏電極118與硅層108的高濃度漏極區(qū)域108b連接。陰極98與GND連接。因此，通過作為開關(guān)元件的TFT元件100對(duì)從上述電源線向陽極92供給且在與陰極98之間流動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電流進(jìn)行控制。由此，電路部104能夠使所希望的有機(jī)EL元件84發(fā)光而進(jìn)行彩色顯示。此外，驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL元件84的電路部104的構(gòu)成不限于此。功能層96由包含用有機(jī)膜形成的空穴注入層、中間層、發(fā)光層的多個(gè)薄膜層構(gòu)成，從陽極92側(cè)按該順序?qū)盈B。在本實(shí)施方式中，這些薄膜層使用液滴噴出法(噴墨法) 成膜。作為空穴注入層的材料，例如可以使用對(duì)聚(3，4_こ撐ニ氧噻吩)(PEDOT)等聚噻吩衍生物添加了作為摻雜劑的聚苯こ烯硫磺酸(PSS)后的混合物(PED0T/PSS)、聚苯こ烯、聚吡咯、聚苯胺、聚こ炔或其衍生物。中間層設(shè)置在空穴注入層和發(fā)光層之間，為了提高空穴針對(duì)發(fā)光層的輸送性(注入性)，并且抑制電子從發(fā)光層向空穴注入層浸入而設(shè)置。即，用于改善基于發(fā)光層中的空穴和電子的結(jié)合實(shí)現(xiàn)的發(fā)光的效率。作為中間層的材料，例如能夠列舉含有空穴輸送性良好的三苯胺系聚合物的材料。作為發(fā)光層的材料，例如能夠使用可獲得紅色、緑色、藍(lán)色的發(fā)光的聚芴衍生物(PF)、聚對(duì)苯こ炔衍生物(PPV)、聚苯撐衍生物(PP)、聚對(duì)亞苯基衍生物(PPP)、聚こ烯基咔唑(PVK)、PEDOT等聚亞苯基硫醚衍生物、聚甲基亞苯基硅烷硅烷(PMPS)等。另外，也可以向這些高分子材料中摻雜茈系色素、香豆素色素、若丹明系色素等高分子材料、或紅熒烯、茈、9，10-ニ苯基蒽、四苯基丁ニ烯、尼羅紅、香豆素6，喹吖啶酮等低分子材料。具有這樣的有機(jī)EL元件84的元件基板78通過將透明的熱固化型環(huán)氧樹脂等作為密封部件使用的密封層120，與透明的密封基板80無縫隙地全面密封。由于本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置4使用后述的有機(jī)EL元件84的制造方法制造，發(fā)光層具有大致恒定的膜厚，所以在能獲得不同的發(fā)光色的功能層96R、96G、96B中，分別得到所希望的發(fā)光特性。此外，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置4不限于頂部發(fā)射型，也可以是使用具有反射功能的不透明的Al等導(dǎo)電材料，對(duì)作為共用電極的陰極98進(jìn)行成膜，利用陰極98反射有機(jī)EL元件84的發(fā)光，從元件基板78側(cè)取出的底部發(fā)射型的構(gòu)造。<有機(jī)EL元件的制造方法>接下來，參照?qǐng)D19 圖21對(duì)本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法進(jìn)行說明。圖19是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的流程圖，圖20以及圖21是表示本實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL元件的制造方法的概要剖視圖。如圖19所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法至少具備隔壁部形成エ序(步驟S10)、對(duì)形成了隔壁部的基板實(shí)施表面處理的表面處理工序(步驟S17)、空穴注入層形成エ序(步驟S30)、中間層形成エ序(步驟S40)、發(fā)光層形成エ序(步驟S50)、陰極形成エ序(步驟S60)、使形成有有機(jī)EL元件的元件基板78和密封基板80接合的密封基板接合エ序(步驟S70)。其中，在元件基板78上形成電路部104(參照?qǐng)D18)的エ序、形成與電路部104電連接的陽極92的エ序只要使用公知的制造方法即可，在本實(shí)施方式中省略詳細(xì)的說明。因此，在圖20(a) (d)以及圖21(a) (d)中省略了電路部104的圖示。圖19的步驟SlO是隔壁部形成エ序。在步驟SlO中，如圖20(a)所示，以覆蓋陽極92的周圍的一部分并劃分每個(gè)陽極92的方式形成隔壁部94。作為形成方法，例如在形成了陽極92的元件基板78的表面以大約I 3μπι左右的厚度涂敷感光性的酚醛樹脂或者聚酰亞胺樹脂。作為涂敷方法，能夠列舉轉(zhuǎn)印法、狹縫涂布法等。然后，可通過使用與發(fā)光像素76的形狀對(duì)應(yīng)的掩模進(jìn)行曝光、顯影，形成多個(gè)隔壁部94。以下，將被隔壁部94劃分的發(fā)光像素76的區(qū)域稱為膜形成區(qū)域Α。然后，進(jìn)入到步驟S20。圖19的步驟S20是表面處理工序。在步驟S20中，對(duì)形成有隔壁部94的元件基板78的表面實(shí)施親液處理和疏液處理。首先，進(jìn)行將氧氣作為處理氣體的等離子體處理，主要 對(duì)由無機(jī)材料構(gòu)成的陽極92的表面實(shí)施親液處理。接下來，進(jìn)行將CF4等氟類氣體作為處理氣體的等離子體處理，對(duì)由有機(jī)材料構(gòu)成的隔壁部94的表面導(dǎo)入氟氣實(shí)施疏液處理。然后，進(jìn)入到步驟S30。圖19的步驟S30是空穴注入層形成エ序。在步驟S30中，首先如圖20(B)所示，對(duì)膜形成區(qū)域A涂敷含有空穴注入輸送層形成材料的液狀體122。液狀體122例如使用了含有ニ甘醇和水(純水)作為溶劑，含有重量比為O. 5%左右的PED0T/PSS作為空穴注入層形成材料的液體。以粘度大約成20mPa · s以下的方式調(diào)整溶劑的比例。作為涂敷液狀體122的方法，使用能夠從噴頭18的噴嘴N噴出液狀體(墨水)的噴出裝置10。使噴頭18和作為エ件W的元件基板78對(duì)置，從噴頭18噴出液狀體122。噴出的液狀體122作為液滴噴落在進(jìn)行了親液處理后的陽極92并浸潤擴(kuò)散。另外，以干燥后的空穴注入層的膜厚大約成為50nm 70nm的方式，將與膜形成區(qū)域A的面積對(duì)應(yīng)的需要量作為液滴噴出。然后，進(jìn)入到干燥エ序。在干燥エ序中，通過例如以燈退火等方法對(duì)元件基板78進(jìn)行加熱，使液狀體122的溶劑成分干燥而將其除去，如圖20(c)所示，在膜形成區(qū)域A的陽極92上形成空穴注入層96a。此外，在本實(shí)施方式中雖然在各膜形成區(qū)域A形成了由同一材料構(gòu)成的空穴注入層96a，但也可與后面形成的發(fā)光層對(duì)應(yīng)地按照發(fā)光色改變空穴注入層96a的材料。然后，進(jìn)入到步驟S40。圖19的步驟S40是中間層形成エ序。在步驟S40中，如圖20(d)所示，向膜形成區(qū)域A賦予含有中間層形成材料的液狀體124。液狀體124例如使用了含有環(huán)己基苯作為溶劑,含有重量比為O. I %左右的上述三苯胺系聚合物作為中間層形成材料的液體。粘度大約是6mPa · S。作為涂敷液狀體124的方法，與涂敷液狀體122的情況同樣地使用上述噴出裝置10。以干燥后的中間層的膜厚大約成為IOnm 20nm的方式，將與膜形成區(qū)域A的面積對(duì)應(yīng)的需要量作為液滴噴出。然后進(jìn)入到干燥エ序。在干燥エ序中，通過例如以燈退火等方法對(duì)元件基板78進(jìn)行加熱，使液狀體124的溶劑成分干燥而將其除去，如圖21 (a)所示，在膜形成區(qū)域A的空穴注入層96a上形成中間層96c。然后，進(jìn)入到步驟S50。圖19的步驟S50是發(fā)光層形成エ序。在步驟S50中，如圖21(b)所示，將含有發(fā)光層形成材料的液狀體126R、126G、126B分別涂敷到對(duì)應(yīng)的膜形成區(qū)域A上。液狀體126R、126G、126B使用了例如含有環(huán)己基苯作為溶劑，含有重量比為O. 7%的PF作為發(fā)光層形成材料的液體。粘度大約為14mPa · S。涂敷液狀體126R、126G、126B的方法依然使用上述噴出裝置10，分別向不同的噴頭18填充而噴出。在發(fā)光層成膜吋，使用了能夠?qū)⒁籂铙w126R、126G、126B均勻地向膜形成區(qū)域A噴出且穩(wěn)定地噴出需要量的上述液滴的噴出方法。即，根據(jù)噴頭18的2個(gè)噴嘴列22a、22b各自的噴出重量偏差，以在COMA、COMB、COMC、COMD中對(duì)相互的噴嘴列的重量偏差進(jìn)行修正的方式分成4個(gè)等級(jí)，根據(jù)屬于每個(gè)等級(jí)的噴嘴N的噴出重量的中央值或者平均值決定各等 級(jí)中的電壓，噴出噴出重量被修正后的液滴。以干燥后的發(fā)光層的膜厚大約成為50nm IOOnm的方式噴出了與膜形成區(qū)域A的面積對(duì)應(yīng)的需要量的液滴。然后，進(jìn)入到作為固化工序的干燥エ序。本實(shí)施方式中噴出的液狀體126R、126G、126B的干燥エ序與一般的加熱干燥相比，使用了能夠比較均勻地使溶劑成分干燥的減壓干燥法。通過采用上述液滴的噴出方法，對(duì)膜形成區(qū)域A均勻地涂敷了需要量的液狀體126R、126G、126B。因此，如圖21(c)所示，干燥后形成的發(fā)光層96r、96g、96b在每個(gè)膜形成區(qū)域A具有大致恒定的膜厚。然后，進(jìn)入到步驟S60。圖19的步驟S60是陰極形成エ序。在步驟S60中，如圖21(d)所示，以覆蓋隔壁部94和各功能層96R、96G、96B的方式形成陰極98。由此，構(gòu)成有機(jī)EL元件84。作為陰極98的材料，優(yōu)選組合使用ITO和Ca、Ba、Al等金屬、LiF等氟化物。特別優(yōu)選在靠近功能層96R、96G、96B的ー側(cè)形成功函數(shù)較小的Ca、Ba、LiF膜，在較遠(yuǎn)的ー側(cè)形成功函數(shù)較大的ΙΤ0。另外，可以在陰極98上層疊Si02、SiN等保護(hù)層。這樣，能夠防止陰極98的氧化。作為陰極98的形成方法，能夠列舉蒸鍍法、濺射法、CVD法等。特別是在能夠防止功能層96R、96G、96B因熱受到的損傷這一點(diǎn)上，優(yōu)選采用蒸鍍法。然后，進(jìn)入到步驟S70。圖19的步驟S70是密封基板接合エ序。在步驟S70中，對(duì)形成有有機(jī)EL元件84的元件基板78涂敷透明的密封層120，與透明的密封基板80無縫隙地全面密封(參照?qǐng)D18)。進(jìn)而，優(yōu)選在密封基板80的外周區(qū)域設(shè)置防止水分、氧氣等進(jìn)入的粘合層來進(jìn)行接
ム
ロ ο根據(jù)以上那樣的有機(jī)EL元件84的制造方法，能夠減少通過液滴噴出法成膜的功能層96R、96G、96B的成膜不均勻，分別具有大致恒定膜厚的發(fā)光層96r、96g、96b。因此，能夠制造因成膜不均勻而引起的亮度不均減少的有機(jī)EL元件84。根據(jù)本實(shí)施方式，由于穩(wěn)定地向作為涂敷區(qū)域的膜形成區(qū)域A賦予需要量的液狀體，所以若使在固化工序中賦予的液狀體固化，則在每個(gè)膜形成區(qū)域形成具有幾乎恒定膜厚的發(fā)光層。因此，可減少因發(fā)光層的膜厚不均勻所引起的亮度不均、發(fā)光不均，能夠制造出成品率較高的有機(jī)EL元件。而且，能夠制造出成品率較高的可獲得全彩色發(fā)光的有機(jī)EL元件。并且，即便賦予給膜形成區(qū)域的每個(gè)液狀體的必要量不同，也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行噴出量的修正，可以形成具有所希望的膜厚的發(fā)光層。除了上述實(shí)施方式以外，還可以考慮各種變形例。以下，舉出變形例進(jìn)行說明。(變形例I)上述實(shí)施方式中的噴出裝置10的構(gòu)成不限于此。例如，安裝于滑架17的噴頭18的配置也可以按照噴出的液狀體的種類來改變其配置。(變形例2)在上述實(shí)施方式的液滴的噴出方法中，膜形成區(qū)域A的形狀以及配置不限于此。例如，不僅能夠適用于條紋方式的配置，還能夠適用于馬賽克方式、三角方式的配置。(變形例3)在上述實(shí)施方式的有機(jī)EL元件84的制造方法中，應(yīng)用上述液滴的噴出方法的エ序不限于含有著色層形成材料的液狀體126R、126G、126B的噴出エ序。例如，在含有空穴注入層形成材料的液狀體122、含有中間層形成材料的液狀體124的噴出エ序中也能夠應(yīng)用。
(變形例4)在上述實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置4中，發(fā)光像素76的構(gòu)成不限于此。例如，使發(fā)光像素76所具備的有機(jī)EL元件84成為可進(jìn)行白色發(fā)光的構(gòu)成。而且，成為在密封基板80側(cè)具有3色濾色器的構(gòu)成。由此，同樣能夠?qū)崿F(xiàn)亮度不均減少的美觀的彩色顯
/Jn ο附圖標(biāo)記說明C0M...驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)；D...液滴；N...噴嘴；Ip...描繪數(shù)據(jù)；PI. · ·輸出控制信號(hào)；PXA、PXB、PXC、PXD. · ·公用選擇控制信號(hào)；PZ. · ·作為致動(dòng)器的壓電元件；10...液滴噴出裝置；18...液滴噴頭；22...噴嘴；22a、22b...噴嘴列；26...液滴重量測(cè)量裝置；33...作為存儲(chǔ)單元的RAM ；36...作為驅(qū)動(dòng)波形生成單元的驅(qū)動(dòng)波形生成電路；50...作為輸出控制信號(hào)生成単元的輸出控制信號(hào)生成電路；60...作為公用選擇控制信號(hào)生成単元的公用選擇控制信號(hào)生成回路；70...構(gòu)成輸出単元的輸出合成電路；
76...發(fā)光像素；78...作為基板的元件基板；78a...端子部；80...密封基板；82...發(fā)光區(qū)域；84...有機(jī)EL元件；86...掃描線驅(qū)動(dòng)電路部；88...數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路部；90...中繼基板；92· · ·陽極；94·..隔壁部；96·..功能層；96a...空穴注入層；96c...中間層；96r、96g、96b. · ·發(fā)光層;96R、96G、96B. · ·功能層；98. · ·陰極；100. · · TFT 元件；102. · ·平坦化層；102a. · ·接觸孔；104. · ·電路部；106. · ·基底保護(hù)層；108. · ·硅層；108a. · ·溝道區(qū)域；108b...高濃度漏極區(qū)域；108c...高濃度源極區(qū)域；110...柵極絕緣層；112...柵電極；
114...第I層間絕緣層；116...源電極；116a...接觸孔；118...漏電極；118a...接觸孔；
120...密封層；122、124...液狀體；126R、126G、126B...含有發(fā)光層形成材料的液狀體。
權(quán)利要求
1.一種噴嘴噴出量的修正方法，其特征在于， 是對(duì)噴嘴列的每個(gè)噴嘴的致動(dòng)器選擇不同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中的I個(gè)來進(jìn)行供給，對(duì)從上述噴嘴向噴出區(qū)域噴出的液滴的重量進(jìn)行修正的噴嘴噴出量的修正方法，包括 第I步驟，根據(jù)未對(duì)上述每個(gè)噴嘴進(jìn)行上述液滴的重量的修正時(shí)向上述噴出區(qū)域噴出的全部液滴的重量的合計(jì)值A(chǔ)與預(yù)先 設(shè)定的規(guī)定量B的差值，以修正后的第I噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量、與向相同的上述噴出區(qū)域噴出的上述第I以外的噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量的合計(jì)值C成為上述規(guī)定量B的方式，對(duì)每個(gè)噴嘴進(jìn)行上述第I噴嘴列単位或噴出單位或掃描單位的修正計(jì)算；和 第2步驟，根據(jù)在上述第I步驟中修正后的向上述噴出區(qū)域噴出的計(jì)算上的全部液滴的重量的合計(jì)值D與上述規(guī)定量B的差值，以修正后的上述第I噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的上述液滴的重量、向相同的上述噴出區(qū)域噴出的修正后的第2噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量、與向相同的上述噴出區(qū)域噴出的上述第I和上述第2以外的噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的液滴的重量的合計(jì)值E成為上述規(guī)定量B的方式，對(duì)每個(gè)噴嘴進(jìn)行第2噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的修正計(jì)算； 階段性地進(jìn)行上述噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的數(shù)量的量的修正量計(jì)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴嘴噴出量的修正方法，其特征在干， 上述液滴的重量的修正量計(jì)算的順序、與從上述噴嘴向上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的上述噴嘴列単位或者噴出單位或者掃描單位的順序不相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴嘴噴出量的修正方法，其特征在干， 向相同的上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的各個(gè)上述噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描単位中的選擇噴嘴不相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的噴嘴噴出量的修正方法，其特征在干， 向相同的上述噴出區(qū)域噴出上述液滴的各個(gè)上述噴嘴列單位或者噴出單位或者掃描單位中的上述液滴的噴出次數(shù)不均等。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任意一項(xiàng)所述的噴嘴噴出量的修正方法，其特征在干， 通過從以時(shí)間序列排列的上述不同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)中選擇ー個(gè)，來進(jìn)行上述每個(gè)噴嘴的上述液滴的重量的修正。
6.ー種液滴的噴出方法，其特征在干， 使用權(quán)利要求I至5中任意一項(xiàng)所述的噴嘴噴出量的修正方法，根據(jù)上述第I步驟以及上述第2步驟的修正計(jì)算的結(jié)果，生成向上述每個(gè)噴嘴的致動(dòng)器供給的多個(gè)上述驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)，從選擇出的上述噴嘴向上述噴出區(qū)域噴出上述液滴。
7.一種有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在干， 是在基板上劃分形成的多個(gè)膜形成區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層的有機(jī)EL元件的制造方法，具備 使用權(quán)利要求6所述的液滴的噴出方法，向上述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出含有功能性材料的液狀體的噴出エ序；和 使噴出的上述液狀體固化，形成上述功能層的固化工序。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在干， 在上述噴出エ序中，向所希望的上述膜形成區(qū)域噴出可得到不同的發(fā)光色的多種上述液狀體， 在上述固化工序中，使噴出的多種上述液狀體固化，至少形成紅、綠、藍(lán)3色的上述發(fā)光層。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在干， 在上述噴出エ序中，將多種上述液狀體分別填充到不同的噴頭中，按每個(gè)上述液狀體進(jìn)行修正量計(jì)算和驅(qū)動(dòng)波形信號(hào)的生成。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠?qū)膰娮靽姵龅囊旱蔚闹亓科钸M(jìn)行高精度校正的噴嘴噴出量的修正方法、使用了該方法的液滴的噴出方法、有機(jī)EL元件的制造方法。在本應(yīng)用例的噴嘴噴出量的修正方法中，根據(jù)未進(jìn)行從噴嘴噴出的液滴的重量修正時(shí)向噴出區(qū)域噴出的全部液滴的重量的合計(jì)值A(chǔ)與預(yù)先設(shè)定的規(guī)定量B的差值，階段性地進(jìn)行噴嘴列單位的數(shù)量的量的修正量計(jì)算，以使得修正后的噴嘴列單位的液滴的重量、與向上述噴出區(qū)域進(jìn)行噴出的其他噴嘴列單位的液滴的重量的合計(jì)值C成為規(guī)定量B。這樣的修正可以以噴出單位或者掃描單位為基準(zhǔn)進(jìn)行。
文檔編號(hào)B41J2/045GK102729628SQ201210089598
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月30日
發(fā)明者北林厚史 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社