專利名稱：一種硅片傳輸機器人r軸結構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在精密機械制造領域內，一種與傳統(tǒng)的硅片傳輸機器人R軸結構相比較，具有更高的回轉精度、聯(lián)接剛度、結構簡單、節(jié)省空間、特別適用于空間結構狹窄的硅片傳輸機器人R軸結構。
背景技術：
傳統(tǒng)的硅片傳輸機器人的R軸結構，一般在大、小臂聯(lián)接的空間內包括傳動軸、 傳動小帶輪機構、一對角接觸球軸承、軸承隔套、軸承壓蓋、鎖緊螺母、R軸傳動大帶輪機構等。這種結構的主要缺點為一是結構零件較多，結構尺寸較大；二是進行力矩傳遞時，由于經過傳動軸、軸承內環(huán)、軸承外環(huán)、傳動帶輪機構的幾次配合，積累誤差相對較大，使傳動精度降低。三是安裝調試過程比較復雜。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的，在于提供一種結構合理，與傳統(tǒng)的硅片傳輸機器人R軸結構相比較，具有更高的回轉精度、聯(lián)接剛度、結構簡單、節(jié)省空間、特別適用于空間結構狹窄的硅片傳輸機器人R軸結構。本發(fā)明的發(fā)明目的是這樣實現(xiàn)的一種硅片傳輸機器人R軸結構，包括R軸大臂外殼機構1、R軸大臂同步帶及預緊機構2、同軸密封機構3、同步小帶輪旋轉機構4、同步大帶輪旋轉機構5、十字交叉軸承6、傳動軸機構7、R軸小臂同步帶及預緊機構8、R軸小臂外殼機構9等所述硅片傳輸機器人R軸結構使用1個十字交叉軸承6，所述同步小帶輪4以 “熱裝法”套在十字交叉軸承6的外環(huán)上，并注意使十字交叉軸承6外環(huán)的沉孔對準同步小帶輪4上的螺孔，壓緊到位后，在十字交叉軸承6的沉孔內擰入緊固螺釘緊固；所述裝配后的同步小帶輪4和十字交叉軸承6以“熱裝法”套入傳動軸7的相應部位，并注意使傳動軸 7上的沉孔對準十字交叉軸承6內環(huán)的螺孔，壓緊到位后，在傳動軸7的沉孔擰入緊固螺釘緊固；所述同步大帶輪5以“熱裝法”套入傳動軸7的相應部位，并注意使十字交叉軸承6 內環(huán)的螺孔對準同步大帶輪5上的沉孔，壓緊到位后，在同步大帶輪5的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。本發(fā)明機構的特點，是使用1個十字交叉軸承來取代傳統(tǒng)結構中的1對角接觸球軸承、軸承隔套、軸承壓蓋、軸承鎖緊螺母等一系列零件組成的機構，使傳動軸的長度有效減短，從而降低了 R軸大小臂的高度空間。應用熱裝法，將同步小帶輪放入100°C的沸水中加熱5min，取出后趁熱迅速套在十字交叉軸承的外環(huán)上，并注意使十字交叉軸承外環(huán)的沉孔對準同步小帶輪上的螺孔，壓緊到位后，在十字交叉軸承的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。應用熱裝法，將裝配后的同步小帶輪和十字交叉軸承放入200°C的機油中加熱 5min，取出后趁熱迅速套入傳動軸的相應部位，并注意使傳動軸上的沉孔對準十字交叉軸承內環(huán)的螺孔，壓緊到位后，在傳動軸的沉孔擰入緊固螺釘緊固。
應用熱裝法，將同步大帶輪放入100°C的沸水中加熱5min，取出后趁熱迅速套入傳動軸的相應部位，并注意使十字交叉軸承內環(huán)的螺孔對準同步大帶輪上的沉孔，壓緊到位后，在同步大帶輪的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。將完成上述裝配的裝配體裝在大臂外殼上，并以緊固螺釘緊固。將裝有同軸密封裝置的小臂外殼機構安裝在完成裝配的裝配體上。本發(fā)明一種高精度、高剛度、結構簡單、節(jié)省空間的硅片傳輸機器人R軸結構，與傳動結構相比較，具有如下優(yōu)點1、由于使用1個十字交叉軸承來取代傳統(tǒng)結構中的1對角接觸球軸承、軸承隔套、 軸承壓蓋、軸承鎖緊螺母等一系列零件組成的機構，使傳動軸的長度有效減短，從而降低了 R軸大小臂的高度空間，特別適用于工作空間特別狹窄的場合。2、進行力矩傳遞時，由于同步大帶輪和同步小帶輪都是直接安裝在十字交叉軸承上的，因此傳動的配合路線較傳統(tǒng)方式有了較大的精簡，傳動誤差只有軸承本身的誤差，從而有效的提高了傳動精度。3、由于節(jié)省了由角接觸球軸承、軸承隔套、軸承壓蓋、軸承鎖緊螺母等一系列零件組成的機構，有效的降低了 R軸大臂和R軸小臂的空間高度，也使由R軸大臂和R軸小臂組成的懸臂梁結構的重量得到有效的減輕，從而相對的提高了整個結構的剛度。4、由于十字交叉軸承取代了傳統(tǒng)結構中的一系列零件，因此使裝配過程變的較為簡單，并且無需進行過多的調整，簡化的裝配工藝。


圖1為本發(fā)明一種高精度、高剛度、結構簡單、節(jié)省空間的硅片傳輸機器人R軸結構的示意圖。在圖1中，具體數(shù)字表示1_R軸大臂外殼機構、2-R軸大臂同步帶及預緊機構、 3-同軸密封機構、4-同步小帶輪旋轉機構、5-同步大帶輪旋轉機構、6-十字交叉軸承、7-傳動軸機構、8-R軸小臂同步帶及預緊機構、9-R軸小臂外殼機構。
具體實施例方式參照圖1所示，一種結構合理，與傳統(tǒng)的硅片傳輸機器人R軸結構相比較，具有更高的回轉精度、聯(lián)接剛度、結構簡單、節(jié)省空間、特別適用于空間結構狹窄的硅片傳輸機器人R軸結構包括R軸大臂外殼機構1、R軸大臂同步帶及預緊機構2、同軸密封機構3、同步小帶輪旋轉機構4、同步大帶輪旋轉機構5、十字交叉軸承6、傳動軸機構7、R軸小臂同步帶及預緊機構8、R軸小臂外殼機構9等。本發(fā)明機構的特點，是使用1個十字交叉軸承6來取代傳統(tǒng)結構中的1對角接觸球軸承、軸承隔套、軸承壓蓋、軸承鎖緊螺母等一系列零件組成的機構，使傳動軸的長度有效減短，從而降低了 R軸大小臂的高度空間。1、將同步小帶輪4套在十字交叉軸承6的外環(huán)上，并注意使十字交叉軸承6外環(huán)的沉孔對準同步小帶輪4上的螺孔，壓緊到位后，在十字交叉軸承6的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。2、將裝配后的同步小帶輪4和十字交叉軸承6套入傳動軸7的相應部位，并注意使傳動軸7上的沉孔對準十字交叉軸承6內環(huán)的螺孔，壓緊到位后，在傳動軸7的沉孔擰入
4緊固螺釘緊固。3、將同步大帶輪5套入傳動軸7的相應部位，并注意使十字交叉軸承6內環(huán)的螺孔對準同步大帶輪5上的沉孔，壓緊到位后，在同步大帶輪5的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。4、將完成上述裝配的裝配體裝在大臂外殼1上，并以緊固螺釘緊固。5、將裝有同軸密封裝置3的小臂外殼機構9安裝在完成裝配的裝配體上。
權利要求
1. 一種硅片傳輸機器人R軸結構，包括R軸大臂外殼機構(1)、R軸大臂同步帶及預緊機構(2)、同軸密封機構(3)、同步小帶輪旋轉機構(4)、同步大帶輪旋轉機構(5)、十字交叉軸承(6)、傳動軸機構(7)、R軸小臂同步帶及預緊機構(8)、R軸小臂外殼機構(9)等；其特征在于所述硅片傳輸機器人R軸結構使用1個十字交叉軸承(6)，所述同步小帶輪(4) 以“熱裝法”套在十字交叉軸承(6)的外環(huán)上，并注意使十字交叉軸承(6)外環(huán)的沉孔對準同步小帶輪(4)上的螺孔，壓緊到位后，在十字交叉軸承(6)的沉孔內擰入緊固螺釘緊固； 所述裝配后的同步小帶輪(4)和十字交叉軸承(6)以“熱裝法”套入傳動軸(7)的相應部位，并注意使傳動軸(7)上的沉孔對準十字交叉軸承(6)內環(huán)的螺孔，壓緊到位后，在傳動軸(7)的沉孔擰入緊固螺釘緊固；所述同步大帶輪(5)以“熱裝法”套入傳動軸(7)的相應部位，并注意使十字交叉軸承(6)內環(huán)的螺孔對準同步大帶輪( 上的沉孔，壓緊到位后， 在同步大帶輪(5)的沉孔內擰入緊固螺釘緊固。
全文摘要
一種硅片傳輸機器人R軸結構，具有更高的回轉精度、聯(lián)接剛度、結構簡單、節(jié)省空間、特別適用于空間結構狹窄的硅片傳輸機器人R軸結構，包括R軸大臂外殼機構(1)、R軸大臂同步帶及預緊機構(2)、同軸密封機構(3)、同步小帶輪旋轉機構(4)、同步大帶輪旋轉機構(5)、十字交叉軸承(6)、傳動軸機構(7)、R軸小臂同步帶及預緊機構(8)、R軸小臂外殼機構(9)等。本發(fā)明機構的特點，是使用1個十字交叉軸承(6)來取代傳統(tǒng)結構中的一對角接觸球軸承、軸承隔套、軸承壓蓋、軸承鎖緊螺母等一系列零件組成的機構，使傳動軸的長度有效減短，從而降低了R軸大小臂的高度空間，并由此引發(fā)一系列功能的改善。
文檔編號B25J17/00GK102152316SQ20111006274
公開日2011年8月17日 申請日期2011年3月16日 優(yōu)先權日2011年3月16日
發(fā)明者劉延杰, 吳明月, 孫立寧, 榮偉彬 申請人:哈爾濱工業(yè)大學