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超潔凈防靜電鑷子的制作方法

文檔序號(hào):2367589閱讀:253來源:國知局

專利名稱::超潔凈防靜電鑷子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本實(shí)用新型涉及一種超潔凈防靜電鑷子,主要用于靜電敏感電子元器件組裝、檢測工序中的4聶夾操作。
背景技術(shù)
:隨著半導(dǎo)體和晶片技術(shù)的快速發(fā)展以及半導(dǎo)體和晶片制造業(yè)的蓬勃興起,靜電敏感電子元器件的生產(chǎn)工序?qū)ぱb夾具(例如夾持電子元器件的鑷子,用于盛裝和傳輸電子元器件的托盤)的要求也越來越高,主要體現(xiàn)在對工裝夾具的防靜電性能和潔凈性能的要求越來越嚴(yán)。在電子元器件的操作中,靜電會(huì)對電子元器件造成損壞,這種損壞有時(shí)難以檢測,從而造成嚴(yán)重后果。另外,如果工裝夾具的潔凈性能不好,就會(huì)出現(xiàn)元器件被污染、玷污的情況,造成元器件質(zhì)量下降甚至損壞。目前該領(lǐng)域中所使用的工裝夾具主要利用各種工程塑料,例如聚醚酰亞胺或稱聚酰亞胺醚(PEI)、聚-友酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)等,難以滿足該領(lǐng)域中不斷提高的防靜電性能和潔凈性能要求。在組裝和檢測電子元器件時(shí),人們常用到防靜電鑷子。目前正在使用的鑷子材料通常是在塑料基材中添加導(dǎo)電纖維、導(dǎo)電碳黑和金屬粉等來解決材料的防靜電性能。以聚醚酰亞胺作為塑料基材的實(shí)例。對于現(xiàn)有技術(shù)的添加了導(dǎo)電碳纖維的聚醚酰亞胺(PEI),導(dǎo)電碳纖維周圍是不導(dǎo)電的塑料基材,其分布的不均勻性顯露無遺?,F(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)電碳纖維在塑料基材中分布不均勻,導(dǎo)電碳纖維密集的地方呈現(xiàn)出較好的防靜電性能,而導(dǎo)電碳纖維疏松的地方則表現(xiàn)出絕緣性。而且,現(xiàn)有技術(shù)中的材料的潔凈性也有待提高。使用這種材料制造的鑷子的防靜電性能和潔凈性能不理想。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中鑷子在防靜電和潔凈性能方面的不足,本實(shí)用新型提供了一種超潔凈防靜電鑷子,包括兩個(gè)彈性夾臂,所述兩個(gè)彈性夾臂的后端連接在一起,其特征在于,所述超潔凈防靜電鑷子還包括兩個(gè)防靜電夾頭,所述兩個(gè)防靜電夾頭分別位于所述兩個(gè)彈性夾臂的前端,所述防靜電夾頭由一種超潔凈防靜電樹脂組合物制成。在一個(gè)實(shí)施例中,所述鑷子的彈性夾臂同樣由所述超潔凈防靜電樹脂組合物制成,并且與所述防靜電夾頭是一體制成的。在另一個(gè)實(shí)施例中,所述的超潔凈防靜電4聶子的防靜電夾頭與所述彈性夾臂可拆卸地固定連接。優(yōu)選地,所述防靜電夾頭具有與所述彈性夾臂的內(nèi)表面接合的延長部,這樣有利于夾頭與彈性夾臂的穩(wěn)固連接。所述鑷子的防靜電夾頭可以為套子的形狀,使得所述彈性夾臂可以插入到所述防靜電夾頭中而固定連接。這種鑷子結(jié)構(gòu)使得可以容易地更換防靜電夾頭。在一個(gè)實(shí)施例中,所述的超潔凈防靜電4聶子的防靜電夾頭與所述彈性夾臂可通過螺釘可拆卸地固定連接。在一個(gè)實(shí)施例中,所述的超潔凈防靜電鑷子的所述防靜電夾頭與所述彈性夾臂通過粘合固定連接。在一個(gè)實(shí)施例中,所述的超潔凈防靜電鑷子的彈性夾臂由防磁不銹鋼或者同樣由超潔凈防靜電樹脂組合物制成。由于納米級(jí)碳管/碳黑均勻分布在塑料基材中并且不易脫落,本實(shí)用新型的鑷子產(chǎn)品表現(xiàn)出良好的防靜電性能和超潔凈性能。另外,該超潔凈防靜電樹脂組合物可通過增大導(dǎo)電納米碳管/導(dǎo)電納米碳黑的比例,減小復(fù)合材料的電阻來兼?zhèn)潆姶牌帘喂δ?。因此,利用該組合物材料制造的鑷子產(chǎn)品具有良好的導(dǎo)電性,具有一定的電石茲屏蔽功能。圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的鑷子。圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的鑷子。圖3是根據(jù)本實(shí)用新型的由一個(gè)實(shí)施例的鑷子,其中鑷子的防靜電夾頭為套子的形狀。圖4是圖3中所示鑷子的防靜電夾頭的剖^L圖。異水實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。參照圖1,4艮據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例,一種超潔凈防靜電鑷子包括兩個(gè)彈性夾臂1和位于彈性夾臂1前端的防靜電夾頭2,兩個(gè)彈性夾臂的后端連接在一起。兩個(gè)彈性夾臂與對應(yīng)的兩個(gè)防靜電夾頭可以通過注塑方法一體制成。如圖所示,兩個(gè)防靜電夾頭的內(nèi)側(cè)(即相對的兩側(cè))相對于夾臂的內(nèi)表面突出,這樣便于夾持物體。整個(gè)鑷子是由在專利申請200710080138.7中公開的一種超潔凈防靜電樹脂組合物制成。參照圖2,超潔凈防靜電鑷子的防靜電夾頭2與彈性夾臂1通過粘合固定連接。如圖所示,防靜電夾頭具有與彈性夾臂的一部分內(nèi)表面粘合的一個(gè)延長部,這樣有利于套子形狀的夾頭與夾臂穩(wěn)固連接,即使在夾頭受力時(shí)也不會(huì)松動(dòng)脫落。參照圖3,一種超潔凈防靜電鑷子包括兩個(gè)彈性夾臂1和位于彈性夾臂前端的防靜電夾頭2,兩個(gè)彈性夾臂的后端連接在一起。鑷子的防靜電夾頭為套子的形狀(見圖3和4),使得彈性夾臂可以插入到防靜電夾頭中而固定連接。套子形狀的防靜電夾頭具有合適的厚度和深度,使得彈性夾臂插入后形成穩(wěn)固連接,即使在夾頭受力時(shí)也不會(huì)^"動(dòng)脫落。在這個(gè)實(shí)施例中,夾頭由在專利申請200710080138.7中公開的一種超潔凈防靜電樹脂組合物制成。該專利申請的全部內(nèi)容以引用的方式結(jié)合到本文中。兩彈性夾臂由防磁不銹鋼制成或者由該超潔凈防靜電樹脂組合物制成。作為上述實(shí)施例的變型例,防靜電夾頭與彈性夾臂的固定連接可以通過本領(lǐng)域纟支術(shù)人員已知的其他方式實(shí)現(xiàn)。防靜電夾頭可以具有與彈性夾臂接合的延長部,在防靜電夾頭和彈性夾臂的相應(yīng)位置設(shè)置螺紋孔并且通過螺釘將兩者固定連接。當(dāng)防靜電夾頭和彈性夾臂可拆卸固定連接時(shí),可以容易地更換防靜電夾頭。正4口在專利申i青200710080138.7中,斤乂>開的,超潔凈防靜電樹脂組合物主要包括塑料基材63~98%,納米級(jí)碳管和/或納米級(jí)碳黑1~30%,偶聯(lián)劑0.1~0.5%,分散劑0.1~5%,抗氧化劑0.5~1.5%。在該超潔凈防靜電樹脂組合物中,塑料基材為各種熱塑性樹脂,優(yōu)選為熱塑性工程塑料,例如聚醚酰亞胺(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)、聚烯烴、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、ABS樹脂、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯樹脂、(甲基)丙烯酸樹脂、聚乙烯醇、聚酰胺樹脂、聚縮醛樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酯樹脂、聚四氟乙烯、氟樹脂、聚亞胺、聚酰亞胺。熱塑性樹脂的用量為超潔凈防靜電樹脂組合物總質(zhì)量的63%至98%。在該超潔凈防靜電樹脂組合物中,偶聯(lián)劑選自由有機(jī)鉻絡(luò)合物、;圭烷類偶聯(lián)劑、4太酸酯類偶聯(lián)劑和鋯類偶聯(lián)劑組成的組,用于增強(qiáng)樹脂材料與納米級(jí)碳管之間的結(jié)合性,并使組合物中的各個(gè)成分不能向材料表面滲透。分散劑選自石蠟油、聚乙烯蠟、氧化聚乙烯蠟、脂肪酸皂類、脂肪酸酯類、脂肪酰胺類以及酯類,用于改變碳納米管在塑料基材中的分散效果??寡趸瘎┻x自有機(jī)亞磷酸酯和受阻酚,用于提高組合物的抗老化性能。所選抗氧化劑在成型后具有良好的耐抽出性,從而滿足超潔凈性的要求。納米級(jí)碳管(又稱為碳納米管或納米導(dǎo)電碳管)包括圓筒狀的單層結(jié)構(gòu)或者這些圓筒結(jié)構(gòu)配置成套管狀的多層結(jié)構(gòu)。碳納米管平均直徑為0.5至200nm,優(yōu)選為20-100nm,更優(yōu)選為30nm以上至100nm以下。納米級(jí)碳黑(納米導(dǎo)電碳黑)是納米級(jí)的碳黑粉體,其粒徑通常在IOO納米以下。納米級(jí)碳管與納米級(jí)碳黑可分別加入到樹脂組合物中??蛇x地,兩者也可同時(shí)加入到樹脂組合物中。本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的鑷子由具有以下組分配比的超潔凈防靜電樹脂組合物制造得到塑料基材PEI75g,納米碳管19.5g,石圭烷偶聯(lián)劑0.5g,分散劑丙烯酸共聚物4g,抗氧化劑亞磷酸三(2,4-二叔丁基笨基酯)1g。將上述組分通過普通雙螺桿造粒才幾,經(jīng)配混將納米級(jí)-友管/納米級(jí)碳黑與塑料基材及助劑混合造粒,生產(chǎn)出超潔凈防靜電材料。利用該超潔凈防靜電材料經(jīng)注射成型制備鑷子產(chǎn)品。對于本實(shí)用新型的鑷子,納米碳管均勻地分散在樹脂材料中。由于納米級(jí)碳管/碳黑均勻分布在塑料基材中,形成導(dǎo)走靜電的通路,本實(shí)用新型的鑷子產(chǎn)品表現(xiàn)出良好的防靜電性能。納米級(jí)碳管/碳黑與塑料基材結(jié)合緊密,不易脫落,表現(xiàn)出超潔凈性能。另夕卜,該超潔凈防靜電樹脂組合物可通過增大導(dǎo)電納米碳管/導(dǎo)電納米碳黑的比例,減小復(fù)合材料的電阻來兼?zhèn)潆姶牌帘喂δ堋@迷摻M合物材料制造的鑷子產(chǎn)品具有良好的導(dǎo)電性,具有一定的電磁屏蔽功能。本實(shí)用新型鑷子產(chǎn)品的性能使用市售的加入導(dǎo)電石灰纖維的PEI材料通過注射成型方法制造普通工程塑料鑷子,用于與本實(shí)用新型的鑷子在防靜電性能和潔凈性能方面作比較。進(jìn)行抗靜電性能測試,本實(shí)用新型的鑷子與普通工程塑料鑷子的才支術(shù)指標(biāo)對比結(jié)果見表1。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>上述指標(biāo)采用ESDS11.11、ASTMD257和FTMS-101C的標(biāo)準(zhǔn)測試方法測定。從表1可以看出,本實(shí)用新型的鑷子產(chǎn)品防靜電性能優(yōu)于普通工禾呈塑沖牛鑷子,表現(xiàn)出良好的防靜電性能。進(jìn)行超潔凈性能測試,本實(shí)用新型的鑷子與普通工程塑料鑷子的超潔凈4支術(shù)指標(biāo)對比結(jié)果見表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>發(fā)塵量通過液體顆粒數(shù)測試(LPC,>0.5um)測定。離子污染量通過離子色鐠法(含氯/疏酸根/賄酸根/磷酸根/氟離子)測定。從表2可以看出,本實(shí)用新型的鑷子的潔凈性能遠(yuǎn)優(yōu)于普通工程塑料鑷子,達(dá)到了超潔凈的要求。因此,利用上述的超潔凈防靜電樹脂組合物,本實(shí)用新型的鑷子具有良好的防靜電性能和潔凈性能,而且還具有一定的電^茲屏蔽功能。權(quán)利要求1.一種超潔凈防靜電鑷子,包括兩個(gè)彈性夾臂,所述兩個(gè)彈性夾臂的后端連接在一起,其特征在于,所述超潔凈防靜電鑷子還包括兩個(gè)防靜電夾頭,所述兩個(gè)防靜電夾頭分別位于所述兩個(gè)彈性夾臂的前端,所述防靜電夾頭由一種超潔凈防靜電樹脂組合物制成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述鑷子的所述彈性夾臂同樣由所述超潔凈防靜電樹脂組合物制成,并且與所述防靜電夾頭是一體制成的。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述防靜電夾頭與所述彈性夾臂可拆卸地固定連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述防靜電夾頭具有與所述彈性夾臂的內(nèi)表面接合的延長部。5.才艮據(jù)權(quán)利要求3所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述鑷子的防靜電夾頭為套子的形狀,使得所述彈性夾臂可以插入到所述防靜電夾頭中而固定連才妄。6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述可拆卸的固定連接通過螺4丁實(shí)現(xiàn)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述防靜電夾頭與所述彈性夾臂通過粘合固定連接。8.根據(jù)權(quán)利要求3或7所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述彈性夾臂為防磁不銹鋼夾臂。9.根據(jù)權(quán)利要求3或7所述的超潔凈防靜電鑷子,其特征在于,所述彈性夾臂由所述超潔凈防靜電樹脂組合物制成。專利摘要本實(shí)用新型涉及一種超潔凈防靜電鑷子,包括兩個(gè)彈性夾臂,所述兩個(gè)彈性夾臂的后端連接在一起,其特征在于,所述超潔凈防靜電鑷子還包括兩個(gè)防靜電夾頭,所述兩個(gè)防靜電夾頭分別位于所述兩個(gè)彈性夾臂的前端,所述防靜電夾頭由一種超潔凈防靜電樹脂組合物制成。該超潔凈防靜電鑷子主要用于靜電敏感電子元器件組裝、檢測工序中的鑷夾操作。文檔編號(hào)B25B9/00GK201201195SQ20082000302公開日2009年3月4日申請日期2008年1月14日優(yōu)先權(quán)日2008年1月14日發(fā)明者峰陶申請人:東莞市問鼎靜電科技有限公司
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