專利名稱：傳送手臂的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
傳送手臂所屬駄領(lǐng)域本實用新型涉及半導體設(shè)備上用于傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安 全傳軀載帶魏曲變型的晶片的機械傳送手臂。 背景駄目前，半導體設(shè)備的傳送機器人上安裝的傳送手臂有用真空吸附式的，但 制品在制作過程中有時會發(fā)生翹曲，翹曲有時為上，有時向下，不固定。這時， 普通的傳送手臂在傳送過程中，由于制品的翹曲，手臂不能完全吸住制品，制 品會造成位置偏移造成不良品，甚至會發(fā)生掉片，造成不必要的損失。 實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片的不足，本 實用新型提供一種新型的傳送手臂，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可 以緊緊的吸附住帶鄉(xiāng)曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發(fā)生偏移和掉片。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種傳送手臂，在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與 吸盤相通的真空通道。所述傳送手臂本體為雙叉形結(jié)構(gòu)。戶脫吸盤在傳送手臂本體上均布，與其傳送的晶片相對應(yīng)。 本實用新型的有益效果是-1、 本實用新型在手臂與晶片真空吸附處安,軟的微型吸盤，吸盤的最上 表面要保持在一個平面上，且與手臂的基面保持平行。2、 無論機器人傳送的晶片是不是有翹曲變型，本實用新型都可以安^載 傳送，不掉片，結(jié)構(gòu)簡單。


圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1、傳送手臂本體；2、真空通道；3、吸盤。具敝施力式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。如圖1所示，本實用新型傳送手臂，在傳送手臂本體1上設(shè)有吸盤3，在傳 送手臂本體1內(nèi)部設(shè)有與吸盤3相通的真空通道2，傳送手臂本體1為雙叉形結(jié) 構(gòu)，吸盤3在傳送手臂本體1上均布，與所傳送的晶片相對應(yīng)。本實用新型吸 盤的材料可以為硅橡膠。當為沒有變形的標準晶片裝載傳送時，晶片底面和吸盤3完全吸附上，和 普通傳送手臂相同；當帶有翹曲變型的晶片裝載時，由于重力的作用，吸盤3 會隨著晶片翹曲變型的方向發(fā)生變型，使吸盤的上圈完全和變型的晶片重合。 當真空通過傳送手臂內(nèi)部的真空通道2開啟后，由于變型的吸盤3和變型晶片 完^^寸閉形成負壓就會和傳送手臂本體1牢牢吸附在一起，即使在急速運行中 也不會掉下，當運行到指定位置后，真空閥關(guān)閉，卸載晶片。
權(quán)利要求1、一種傳送手臂，其特征在于在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與吸盤相通的真空通道。
2、 按照權(quán)利要求1所述的傳送手臂，其特征在于傳送手臂本體為雙叉形 結(jié)構(gòu)。
3、 按照權(quán)利要求1戶脫的傳送手臂，其特征在于吸盤在傳送手臂本體上 均布，與其傳送的晶片相對應(yīng)。
專利摘要本實用新型涉及半導體設(shè)備上用于傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安全傳送運載帶有翹曲變型的晶片的機械傳送手臂，在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與吸盤相通的真空通道。本實用新型可以解決現(xiàn)有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片等問題，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可以緊緊的吸附住帶有翹曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發(fā)生偏移和掉片。
文檔編號B25J15/06GK201102246SQ20072001594
公開日2008年8月20日 申請日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者王紹勇 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司