一種多線切割機(jī)硅片分切模具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多線切割分切片領(lǐng)域，具體是一種用多線切割機(jī)將已切割硅片再次將多個(gè)硅片沿徑向切割方法的模具設(shè)計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)今市場(chǎng)，超大規(guī)模集成電路大多數(shù)用直拉硅片作為襯底材料，硅片的大直徑化與高表面平整度是其發(fā)展的主要方向，多線切割技術(shù)在提高硅片平整度以及表面幾何參數(shù)方面與其它設(shè)備(內(nèi)圓切片機(jī)等)相比具有較大優(yōu)勢(shì)。以往在多線切割中通過多線切割機(jī)一次性切割成一定厚度的硅片，從而實(shí)現(xiàn)硅片的批量切割。而在實(shí)際應(yīng)用中，需要將大量硅片再次切割一分為二，以適應(yīng)硅片的特殊用途，這在目前的多線切割技術(shù)中很難實(shí)現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本發(fā)明旨在提出一種多線切割機(jī)硅片分切模具，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題。
[0004]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種多線切割機(jī)硅片分切模具，所述硅片分切模具包括兩塊平行側(cè)板和設(shè)置于兩側(cè)板之間的兩塊平行連接板，所述側(cè)板與所述平行連接板圍成一上下開放的長方體結(jié)構(gòu)，所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻分布有若干凹槽，且兩塊平行側(cè)板上的凹槽一一對(duì)應(yīng)，所述凹槽的寬度與待切割硅片寬度一致，用于固定所述待切割硅片。
[0006]進(jìn)一步的，所述連接板的橫截面為“H”形結(jié)構(gòu)。
[0007]進(jìn)一步的，所述模具的高度h =娃片直徑+(2-3)mm。
[0008]進(jìn)一步的，所述模具內(nèi)凹槽間隙寬度L =娃片厚度+(l_2)mm。
[0009]更進(jìn)一步的，所述側(cè)板與所述連接板均為絕緣板。
[0010]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述的多線切割機(jī)硅片分切模具具有以下優(yōu)勢(shì):
[0011]為更好的定位分切硅片切割前精度，保證硅片粘接90°的同時(shí)，模具采用硅片間分離固定方式，此方式可避免硅片合并產(chǎn)生的累計(jì)誤差，同時(shí)本發(fā)明的分切模具上端具有導(dǎo)向延伸設(shè)計(jì)可提升多線切割機(jī)入刀精度；下端的樹脂條空隙結(jié)構(gòu)可更好地保證粘接精度。將粘接好的采用此結(jié)構(gòu)的整體工件固定于多線切割機(jī)上，采用將該模具的凹槽間隙對(duì)準(zhǔn)切割鋼線的線網(wǎng)間隙、硅片定位槽對(duì)準(zhǔn)切割線的雙找正方式，將厚度小于1_2_的薄硅片進(jìn)行一分為二切割，切割后硅片TTV與厚度散差與一次切割硅片相差無幾。
【附圖說明】
[0012]構(gòu)成本發(fā)明的一部分的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0013]圖1為本發(fā)明實(shí)施例所述的多線切割機(jī)硅片分切模具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明實(shí)施例所述的多線切割機(jī)硅片分切模具的左視圖；
[0015]圖3為本發(fā)明實(shí)施例所述的多線切割機(jī)硅片分切模具的使用狀態(tài)圖；
[0016]圖4為本發(fā)明實(shí)施例所述的多線切割機(jī)硅片分切模具的工作狀態(tài)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]需要說明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0018]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0019]—種多線切割機(jī)硅片分切模具，如圖1和2所示，所述硅片分切模具2包括兩塊平行側(cè)板21和設(shè)置于兩側(cè)板之間的兩塊平行連接板22，所述側(cè)板21與所述平行連接板22圍成一上下開放的長方體結(jié)構(gòu)，所述側(cè)板21的內(nèi)側(cè)均勻分布有若干凹槽1，且兩塊平行側(cè)板上的凹槽1 一一對(duì)應(yīng)，所述凹槽1的寬度與待切割硅片3寬度一致，用于固定所述待切割硅片3。
[0020]所述分切模具的頂端具備硅片導(dǎo)向延伸作用，具體地，所述連接板22的橫截面為“H”形結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可以保證模具2的上端對(duì)于切割鋼線可以起到導(dǎo)向延伸的作用，可提升多線切割機(jī)入刀精度。
[0021]同時(shí)，為了更好的固定待切割娃片3，所述模具2的高度h =娃片直徑+(2-3)mm ；所述模具2內(nèi)凹槽間隙寬度L =硅片厚度+(l-2)mm。
[0022]為了防止切割過程中對(duì)于硅片性能的破壞，所述側(cè)板與所述連接板均為絕緣板。
[0023]如圖3、4所示，本發(fā)明的多線切割機(jī)硅片分切模具的工作狀態(tài)及過程如下:
[0024]將待二次切割的硅片3的定位槽向上將硅片放置此發(fā)明模具2中，并用水膠固定形成一個(gè)整體工件，再將整體工件粘合在樹脂條4上完成待分切硅片整體粘接。為更好的定位分切硅片切割前精度，保證硅片粘接90°的同時(shí)，模具采用硅片間分離固定方式，此方式可避免硅片合并產(chǎn)生的累計(jì)誤差，同時(shí)本發(fā)明的分切模具上端具有導(dǎo)向延伸設(shè)計(jì)可提升多線切割機(jī)入刀精度；下端的樹脂條4空隙結(jié)構(gòu)可更好地保證粘接精度。將粘接好的采用此結(jié)構(gòu)的整體工件固定于多線切割機(jī)的料座5上，采用將該模具的凹槽間隙對(duì)準(zhǔn)切割鋼線6的線網(wǎng)間隙、硅片定位槽對(duì)準(zhǔn)切割線的雙找正方式，將厚度小于1_2_的薄硅片進(jìn)行一分為二切割，切割后硅片TTV與厚度散差與一次切割硅片相差無幾。
[0025]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多線切割機(jī)硅片分切模具，其特征在于:所述硅片分切模具包括兩塊平行側(cè)板和設(shè)置于兩側(cè)板之間的兩塊平行連接板，所述側(cè)板與所述平行連接板圍成一上下開放的長方體結(jié)構(gòu)，所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻分布有若干凹槽，且兩塊平行側(cè)板上的凹槽一一對(duì)應(yīng)，所述凹槽的寬度與待切割硅片寬度一致，用于固定所述待切割硅片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)硅片分切模具，其特征在于:所述連接板的橫截面為“H”形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)硅片分切模具，其特征在于:所述模具的高度h=娃片直徑+(2-3) mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的多線切割機(jī)硅片分切模具，其特征在于:所述模具內(nèi)凹槽間隙寬度L =硅片厚度+(l-2)mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)硅片分切模具，其特征在于:所述側(cè)板與所述連接板均為絕緣板。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種多線切割機(jī)硅片分切模具，包括兩塊平行側(cè)板和設(shè)置于兩側(cè)板之間的兩塊平行連接板，側(cè)板與平行連接板圍成一上下開放的長方體結(jié)構(gòu)，所述側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻分布有若干凹槽，且兩塊平行側(cè)板上的凹槽一一對(duì)應(yīng)，所述凹槽的寬度與待切割硅片寬度一致，用于固定所述待切割硅片。本發(fā)明的分切模具上端具有導(dǎo)向延伸設(shè)計(jì)可提升多線切割機(jī)入刀精度；下端的樹脂條空隙結(jié)構(gòu)可更好地保證粘接精度。
【IPC分類】B28D5/04, B28D5/00
【公開號(hào)】CN105235079
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510680069
【發(fā)明人】郭紅慧, 王彥君, 陳桐, 王帥, 王少剛, 李海龍, 趙勇, 魏延鵬, 雷海云, 孫紅永
【申請(qǐng)人】天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年10月19日