一種用于噴涂石英堝涂層的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，包括用于噴涂涂層溶液的噴槍；還包括用于放置石英堝的堝托和用于調(diào)整石英堝內(nèi)壁噴涂高度的托盤；托盤為圓形，并且托盤的上表面上設(shè)有多個用于吊住托盤并掛在石英堝上邊沿的掛鉤。本實用新型能夠根據(jù)不同投料量的要求，實現(xiàn)調(diào)節(jié)石英堝內(nèi)壁上沿涂層高度的目的。本實用新型操作簡單、快捷，能有效控制涂層均勻，進(jìn)而保證上沿涂層部分拉晶過程中不變形。
【專利說明】—種用于噴涂石英堝涂層的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，應(yīng)用于直拉單晶系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前國內(nèi)直拉單晶系統(tǒng)中，采用石英堝內(nèi)壁涂鋇的方法保證一次成晶率及成品率，其作用機理在于堿土金屬能促使石英由玻璃態(tài)轉(zhuǎn)化成方石英，方石英在高溫下有光滑特性，能夠有效抑制石英堝內(nèi)壁棕色環(huán)的形成(棕色環(huán)的形成具有偶然性，拉晶過程中，棕色環(huán)對拉晶產(chǎn)生不利影響)，將鋇涂到石英堝內(nèi)壁，能保證一次成晶率及成品率。但是內(nèi)壁涂層缺點在于:石英堝內(nèi)壁涂鋇量較高，方石英的形成速度過快，產(chǎn)生大量的起泡，這些氣泡會生長到單晶里，形成氣孔片。
[0003]新的生產(chǎn)工藝是將鋇試劑以合金形式加入硅料，硅料經(jīng)加熱變?yōu)橐后w后，鋇試劑既能達(dá)到促使石英由玻璃態(tài)向方石英的轉(zhuǎn)變，達(dá)到保證一次成晶率及成品率的目的，又能控制氣孔片不合格品的產(chǎn)生量。由于石英堝內(nèi)壁上沿沒有做涂層，出現(xiàn)了石英堝上沿變形，進(jìn)而出現(xiàn)拉晶過程中單晶蹭導(dǎo)流筒造成拉晶失敗的現(xiàn)象，因此這種工藝還需要在固體硅料轉(zhuǎn)化成液體硅料液面位置以上的石英堝內(nèi)壁上噴涂涂層。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，能根據(jù)投料量不同有效調(diào)節(jié)石英堝內(nèi)壁上沿涂層高度，進(jìn)而保證石英堝在拉晶過程中不變形，又能將小洞率降到最低的目的。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0006]一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，包括用于噴涂涂層溶液的噴槍；還包括用于放置石英堝的堝托和用于調(diào)整石英堝內(nèi)壁噴涂高度的托盤；托盤為圓形，并且托盤的上表面上設(shè)有多個用于吊住托盤并掛在石英堝上邊沿的掛鉤。
[0007]其中，所述多個掛鉤沿著托盤的邊緣周向均勻分布，并且掛鉤的數(shù)目為三個。
[0008]其中，所述托盤的直徑略小于石英堝上部筒形堝體的內(nèi)徑。
[0009]其中，所述掛鉤包括鉤頭和螺桿；螺桿的底部與托盤固定聯(lián)接，鉤頭穿在螺桿的頂端且可沿螺桿上下滑動，在螺桿上且位于鉤頭的上方還設(shè)有螺母。
[0010]其中，所述螺桿垂直于托盤，并且螺桿的軸心至托盤外邊沿的距離大于螺桿的半徑。
[0011]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實用新型能夠根據(jù)不同投料量的要求，實現(xiàn)調(diào)節(jié)石英堝內(nèi)壁上沿涂層高度的目的。噴槍在使用過程中用于噴涂鋇試劑溶液，堝托用于噴涂涂層溶液時放置和穩(wěn)固石英堝；托盤用于調(diào)節(jié)石英堝內(nèi)壁噴涂高度；涂層溶液只能噴涂到石英堝上沿裸露在托盤位置之上的部分；吊鉤長度通過螺母調(diào)節(jié)，進(jìn)而用于調(diào)節(jié)托盤高度。本實用新型操作簡單、快捷，能有效控制涂層均勻，進(jìn)而保證上沿涂層部分拉晶過程中不變形?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是本實用新型掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中:1、堝托，2、石英堝，3、托盤，4、掛鉤，4-1、鉤頭，4-2螺桿，4_3、螺母，5、噴槍?！揪唧w實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0016]如圖1所示，本實用新型為一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，包括用于噴涂涂層溶液的噴槍5、用于放置石英堝2的堝托I和用于調(diào)整石英堝2內(nèi)壁噴涂高度的托盤3 ;托盤3用聚四氟乙烯材質(zhì)。托盤3為圓形，托盤3的直徑略小于石英堝2上部筒形堝體的內(nèi)徑，并且托盤3的上表面上設(shè)有多個用于吊住托盤并掛在石英堝2上邊沿的掛鉤4。多個掛鉤4沿著托盤3的邊緣周向均勻分布，并且掛鉤4的數(shù)目為三個，以保證噴涂時穩(wěn)固托盤。
[0017]如圖2所示，掛鉤4包括鉤頭4-1和螺桿4-2 ;螺桿4_2垂直于托盤3，并且螺桿4-2的軸心至托盤3外邊沿的距離大于螺桿4-2的半徑。螺桿4-2的底部與托盤3固定聯(lián)接，鉤頭4-1穿在螺桿4-2的頂端且可沿螺桿4-2上下滑動，在螺桿4-2上且位于鉤頭4_1的上方還設(shè)有螺母4-3。
[0018]本實用新型的工作原理:
[0019]托盤3的位置與石英堝2固體硅料轉(zhuǎn)化成液體硅料液面位置相符，噴涂位置以下由硅料中添加的鋇試劑促使方石英的形成，該位置以上的部分由噴涂含鋇溶液試劑直接噴涂，待試劑室溫下自然晾干后，石英堝2方可進(jìn)行使用。
【權(quán)利要求】
1.一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，包括用于噴涂涂層溶液的噴槍(5);其特征在于:還包括用于放置石英堝(2)的堝托(I)和用于調(diào)整石英堝(2)內(nèi)壁噴涂高度的托盤(3);托盤(3)為圓形，并且托盤(3)的上表面上設(shè)有多個用于吊住托盤并掛在石英堝(2)上邊沿的掛鉤(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，其特征在于:所述多個掛鉤(4)沿著托盤(3)的邊緣周向均勻分布，并且掛鉤(4)的數(shù)目為三個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，其特征在于:所述托盤(3)的直徑略小于石英堝(2)上部筒形堝體的內(nèi)徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，其特征在于:所述掛鉤(4)包括鉤頭(4-1)和螺桿(4-2);螺桿(4-2)的底部與托盤(3)固定聯(lián)接，鉤頭(4-1)穿在螺桿(4-2)的頂端且可沿螺桿(4-2)上下滑動，在螺桿(4-2)上且位于鉤頭(4-1)的上方還設(shè)有螺母(4-3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于噴涂石英堝涂層的裝置，其特征在于:所述螺桿(4-2)垂直于托盤(3)，并且螺桿(4-2)的軸心至托盤(3)外邊沿的距離大于螺桿(4-2)的半徑。
【文檔編號】C03C17/00GK203639344SQ201320712479
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月12日
【發(fā)明者】閆廣寧, 王怡然, 李永峰 申請人:河北寧晉松宮半導(dǎo)體有限公司