一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置制造方法
【專利摘要】一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，涉及一種超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置。為了解決目前無(wú)大口徑KDP晶體元件表面微缺陷修復(fù)設(shè)備的問(wèn)題。刀具移動(dòng)部分布線板、刀具移動(dòng)部分墊塊及手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)均固定在底部安裝平板的上端面，刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)固定在刀具移動(dòng)部分墊塊上，切屑收集總成與刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)連接，刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)及顯微鏡連接板由上至下依次連接，顯微鏡連接板與底部安裝平板的上端面連接。本發(fā)明用于大口徑KDP晶體元件表面微缺陷的超精密修復(fù)。
【專利說(shuō)明】一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，微銑削是一項(xiàng)重要的先進(jìn)制造技術(shù)，在電子、生物、國(guó)防等領(lǐng)域中均有著重要作用。通常微銑削研究的對(duì)象是加工特征尺寸在微米至亞毫米量級(jí)、銑刀直徑一般小于
0.5_。然而，在該尺度下，傳統(tǒng)的銑削加工參數(shù)以及加工工藝不再適合微銑削加工，例如，由于微銑刀直徑很小，為了達(dá)到一定的線切削速度，往往需要微銑刀每分鐘達(dá)到幾萬(wàn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速洞時(shí)，人幾乎不能通過(guò)肉眼來(lái)看清回轉(zhuǎn)過(guò)程中的刀刃，因此就很難通過(guò)肉眼來(lái)進(jìn)行對(duì)刀操作以及實(shí)時(shí)觀察、監(jiān)控加工表面質(zhì)量，顯微鏡輔助對(duì)刀和實(shí)時(shí)監(jiān)控技術(shù)在微銑削中就顯得非常重要。特別地，在核聚變點(diǎn)火裝置中，如果大口徑KDP晶體元件表面產(chǎn)生了微缺陷，它在后續(xù)高能激光打靶過(guò)程中快速增長(zhǎng)，這極大的降低了 KDP晶體激光損傷閾值、縮短了晶體的使用壽命。采用微銑削的方法，用高速微銑刀對(duì)晶體表面微缺陷附近的晶體材料進(jìn)行去除，形成一個(gè)特定的表面質(zhì)量很高的微小三維形貌，從而能夠提高微缺陷附近的激光損傷閾值、延長(zhǎng)晶體光學(xué)元件使用性能與使用壽命?；谖C(jī)械修復(fù)方法，需要設(shè)計(jì)用于大口徑KDP晶體表面微缺陷修復(fù)的專用設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了解決目前無(wú)大口徑KDP晶體元件表面微缺陷修復(fù)設(shè)備的問(wèn)題，進(jìn)而提供一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置。
[0004]本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑晶體表面微缺陷附近材料的去除，使其成為形狀規(guī)則的修復(fù)輪廓，在加工之前需要實(shí)現(xiàn)快速對(duì)刀，以及在加工過(guò)程中要能夠?qū)庸み^(guò)程進(jìn)行監(jiān)控。
[0005]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)上述目的采取的技術(shù)方案是:
[0006]一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置包括底部安裝平板、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)、顯微鏡連接板、刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)、切屑收集總成、刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)、刀具移動(dòng)部分布線板及刀具移動(dòng)部分墊塊；
[0007]刀具移動(dòng)部分布線板、刀具移動(dòng)部分墊塊及手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)均固定在底部安裝平板的上端面，底部安裝平板上沿其厚度方向加工有三個(gè)連接孔，三個(gè)連接孔均布設(shè)置在同一圓周上，刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)固定在刀具移動(dòng)部分墊塊上，切屑收集總成與刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)連接，刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)及顯微鏡連接板由上至下依次連接，顯微鏡連接板與底部安裝平板的上端面連接。
[0008]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是:
[0009]1、該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)微銑削刀具的高速轉(zhuǎn)動(dòng)，其最高轉(zhuǎn)速達(dá)到80000rpm，回轉(zhuǎn)精度優(yōu)于Iym;同時(shí)還能實(shí)現(xiàn)微銑刀的超精密三軸聯(lián)動(dòng)，三軸聯(lián)動(dòng)的的行程為50mmX 50mmX 20mm,其單軸的定位精度優(yōu)于±0.5 μ m,可實(shí)現(xiàn)微小特征尺寸塑性域的超精密銑削加工。
[0010]2、該裝置包含了監(jiān)控顯微鏡及其三軸運(yùn)動(dòng)單元，監(jiān)控顯微鏡運(yùn)動(dòng)的行程為20mmX 20mmX 10mm,其單軸的定位精度優(yōu)于±1 μ m。能夠?qū)崿F(xiàn)加工前的快速對(duì)刀操作,在加工過(guò)程中能夠?qū)α慵庸け砻尜|(zhì)量、刀具磨損情況等進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
[0011]3、該裝置含有兩個(gè)小型的高亮點(diǎn)光源(CCS點(diǎn)光源)，保證了加工過(guò)程中的照明需求，與常規(guī)光源相比，大大縮小了結(jié)構(gòu)尺寸，使得整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊。
[0012]4、該裝置包含了切屑收集部分，在加工過(guò)程中，所產(chǎn)生的切屑能夠及時(shí)地被負(fù)壓吸走，保證了整個(gè)裝置不會(huì)被切屑污染。
[0013]5、該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，各部分的線纜布置清晰合理，整個(gè)裝置加工運(yùn)行安全可
O
[0014]綜上，本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)微銑刀的高速旋轉(zhuǎn)、高精度三軸聯(lián)動(dòng)加工、顯微鏡輔助對(duì)刀、實(shí)時(shí)監(jiān)控、切削自動(dòng)收集等功能，它可用于尺度為430mm X 430mm的大口徑KDP晶體元件表面微缺陷修復(fù)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明的具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置的整體結(jié)構(gòu)主視圖；圖2是圖1的俯視圖；圖3是刀具二軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)的主視圖；圖4是圖3的俯視圖；圖5是圖3的左視圖；圖6是刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)的軸測(cè)圖；圖7是刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)的主視圖；圖8是圖7的俯視 圖；圖9是圖7的左視圖；圖10是刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)的軸測(cè)圖；圖11是切屑收集總成的主視圖；圖12是圖11的A-A剖視圖；圖13是圖12的俯視圖；圖14是切屑收集總成的軸測(cè)圖；圖15是利用本發(fā)明的具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置銑削工件的原理圖，圖中水平箭頭所示方向?yàn)楣ぜM(jìn)給方向，tc為理論切削厚度；圖16是兩刃銑刀刀尖運(yùn)動(dòng)軌跡示意圖，圖中標(biāo)號(hào)64表示的是第一條刀刃，標(biāo)號(hào)65表示的是第二條刀刃；圖17是銑刀刀刃軌跡示意圖。
[0016]圖中，電主軸1、電主軸夾具2、底部連接頭3、切屑收集頭4、光源支撐件5、底部平臺(tái)總線卡6、Z軸連接件7、刀具XY總線卡8、刀具Z軸總線卡10、刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元11、刀具顯微鏡總線卡12、刀具顯微鏡小線卡13、刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元14、夾具連接件16、底部安裝平板17、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)18、刀具顯微鏡卡具19、顯微鏡連接板21、刀具顯微鏡大線卡23、刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)25、切屑收集總成26、刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28、電主軸總線卡31、刀具移動(dòng)部分布線板32、刀具移動(dòng)部分墊塊33、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元50、光源連接板51、光源夾具52、CCS點(diǎn)光源53、刀具顯微鏡Z軸單元54、刀具顯微鏡導(dǎo)軌連接件55、刀具顯微鏡XY軸單元56、金屬軟管57、金屬軟管接頭58、鎖緊螺母59、切屑收集安裝件60、底部平臺(tái)防護(hù)罩61、連接孔62、監(jiān)控顯微鏡63、第一條刀刃64、第二條刀刃65。
【具體實(shí)施方式】
[0017]【具體實(shí)施方式】一:結(jié)合圖1~圖14說(shuō)明，本實(shí)施方式的一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置包括底部安裝平板17、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)18、顯微鏡連接板21、刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)25、切屑收集總成26、刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28、刀具移動(dòng)部分布線板32及刀具移動(dòng)部分墊塊33 ；[0018]刀具移動(dòng)部分布線板32、刀具移動(dòng)部分墊塊33及手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)18均固定在底部安裝平板17的上端面，底部安裝平板17上沿其厚度方向加工有三個(gè)連接孔62，三個(gè)連接孔62均布設(shè)置在同一圓周上(用于將該裝置安裝于其它設(shè)備上)，刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28固定在刀具移動(dòng)部分墊塊33上，切屑收集總成26與刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28連接，刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)25、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)18及顯微鏡連接板21由上至下依次連接，顯微鏡連接板21與底部安裝平板17的上端面連接。
[0019]手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)18為現(xiàn)有技術(shù)，其生產(chǎn)廠家為北京茂豐光電科技有限公司，型號(hào)為 MVS120-1A.[0020]【具體實(shí)施方式】二:結(jié)合圖1及圖3說(shuō)明，本實(shí)施方式所述刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28包括電主軸1、電主軸夾具2、Z軸連接件7、刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元11、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元50及刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元14 ；Z軸連接件7、刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元11、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元50及刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元14由上至下依次連接，電主軸卡具2坐落在Z軸連接件7上且二者連接，電主軸I設(shè)置在電主軸卡具2內(nèi)，電主軸I通過(guò)電主軸卡具2夾緊固定。
[0021]刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)28通過(guò)電主軸I的高速旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)了微銑削刀具的高速轉(zhuǎn)動(dòng)，以及微銑刀的高精度三軸聯(lián)動(dòng)。電主軸I最高轉(zhuǎn)速達(dá)到80000rpm，回轉(zhuǎn)精度優(yōu)于I μ m ;三軸聯(lián)動(dòng)的行程為50mmX 50mmX 20mm,其單軸的定位精度優(yōu)于±0.5μηι。
[0022]所述電主軸I的軸線與水平面之間的夾角為α，α=45°。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0023]刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元11、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元50及刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元14均為現(xiàn)有技術(shù)，生產(chǎn)廠家均為美國(guó)Newport公司。其中，刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元11的型號(hào)為GTS30V，刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元50和刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元的型號(hào)均為XMS50。
[0024]【具體實(shí)施方式】三:結(jié)合圖1、圖7及圖8說(shuō)明，本實(shí)施方式所述刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)25包括光源連接板51、刀具顯微鏡Z軸單元54、刀具顯微鏡導(dǎo)軌連接件55、刀具顯微鏡XY軸單元56、夾具連接件16、監(jiān)控顯微鏡63、刀具顯微鏡卡具19和兩個(gè)光源組件，每個(gè)光源組件包括光源支撐件5、光源夾具52及CCS點(diǎn)光源53 ;夾具連接件16、光源連接板51、刀具顯微鏡XY軸單元56、刀具顯微鏡導(dǎo)軌連接件55及刀具顯微鏡Z軸單元54由上至下依次連接，刀具顯微鏡卡具19固定在夾具連接件16上，監(jiān)控顯微鏡63裝在刀具顯微鏡卡具19內(nèi)并通過(guò)刀具顯微鏡卡具19夾持固定，兩個(gè)光源支撐件5均與光源連接板51的上端面連接，光源夾具52固定在光源支撐件5上，CCS點(diǎn)光源53固定在光源夾具52內(nèi)(CCS點(diǎn)光源53通過(guò)頂絲與光源夾具52固定)。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】一或二相同。
[0025]該刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)25能夠?qū)崿F(xiàn)監(jiān)控顯微鏡63的三軸直線移動(dòng)，以及對(duì)加工區(qū)域的照明和圖像采集。該監(jiān)控顯微鏡63運(yùn)動(dòng)的行程為20mmX20mmX IOmm,其單軸的定位精度優(yōu)于± I μ m。
[0026]所述監(jiān)控顯微鏡63的中心線與水平面之間的夾角為β，β =15° ;所述CCS點(diǎn)光源53的中心線在水平面上的投影與豎直面之間的夾角為Y，Y =45°。
[0027]刀具顯微鏡Z軸單元54、刀具顯微鏡XY軸單元56均為現(xiàn)有技術(shù)，生產(chǎn)廠家均為日本西格瑪光機(jī)公司。其中，刀具顯微鏡Z軸單元54的型號(hào)為SGSP60-10ZF，刀具顯微鏡XY軸單元56的型號(hào)為SGSP20-20 (XY)。[0028]【具體實(shí)施方式】四:結(jié)合圖8說(shuō)明，本實(shí)施方式所述光源連接板51為長(zhǎng)條形板，兩個(gè)光源支撐件5相對(duì)于光源連接板51長(zhǎng)度方向的中心線對(duì)稱設(shè)置。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】三相同。
[0029]【具體實(shí)施方式】五:結(jié)合圖1、圖11和圖12說(shuō)明，本實(shí)施方式所述切屑收集總成26包括金屬軟管57、金屬軟管接頭58、底部連接頭3、切屑收集頭4、鎖緊螺母59及切屑收集安裝件60 ;所述切屑收集頭4外側(cè)壁的下部設(shè)有外螺紋，底部連接頭3設(shè)有內(nèi)螺紋孔，切屑收集頭4與底部連接頭3螺紋連接，鎖緊螺母59與切屑收集頭4螺紋連接且與底部連接頭3上端面相抵靠(鎖緊螺母59起到鎖緊的作用，為六角薄螺母)，切屑收集安裝件10安裝在底部連接頭3上，金屬軟管I通過(guò)金屬軟管接頭2與底部連接頭3連接。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0030]【具體實(shí)施方式】六:結(jié)合圖11和圖12說(shuō)明，本實(shí)施方式所述切屑收集安裝件60為倒置的圓臺(tái)形筒，切屑收集安裝件60的上端為敞口端，切屑收集安裝件60的下端通過(guò)底板封堵，切屑收集安裝件60的底板中部設(shè)有安裝孔，底部連接頭3的上端設(shè)有凸臺(tái)，底部連接頭3的下端穿出切屑收集安裝件60底板上的安裝孔，底部連接頭3的凸臺(tái)貼靠在底板的上端面。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】五相同。
[0031]【具體實(shí)施方式】七:結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明，本實(shí)施方式所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置還包括底部平臺(tái)防護(hù)罩61 ;底部安裝平板17固定在底部平臺(tái)防護(hù)罩61內(nèi)部(通過(guò)螺釘固定)。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0032]【具體實(shí)施方式】八:結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明，本實(shí)施方式所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置還包括底部平臺(tái)總線卡6、刀具XY總線卡8、刀具Z軸總線卡10、刀具顯微鏡總線卡12、刀具顯微鏡小線卡13、刀具顯微鏡大線卡23及電主軸總線卡31 ;所述底部平臺(tái)總線卡6、刀具XY總線卡8、刀具Z軸總線卡10及刀具顯微鏡總線卡12 (為了保證該裝置的線路布置規(guī)整)均固定安裝在底部安裝平板17的上端面，刀具顯微鏡小線卡13及刀具顯微鏡大線卡23均固定安裝在顯微鏡連接板21上，電主軸總線卡31與刀具移動(dòng)部分布線板32連接。本實(shí)施方式中未公開(kāi)的技術(shù)特征與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0033]理論分析
[0034]一般微銑削所用刀具為兩刃，所以下面以兩刃立銑刀為例分析刀刃的運(yùn)動(dòng)軌跡，以期獲得刀刃運(yùn)動(dòng)的動(dòng)態(tài)軌跡。假設(shè)一 X-Y坐標(biāo)平面，坐標(biāo)原點(diǎn)選在銑刀底面中心處。
[0035]第一條刀刃64在起始點(diǎn)處的坐標(biāo)值為:
【權(quán)利要求】
1.一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置包括底部安裝平板(17)、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)(18)、顯微鏡連接板(21)、刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)(25)、切屑收集總成(26)、刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)(28)、刀具移動(dòng)部分布線板(32)及刀具移動(dòng)部分墊塊(33)； 刀具移動(dòng)部分布線板(32)、刀具移動(dòng)部分墊塊(33)及手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)(18)均固定在底部安裝平板(17)的上端面，底部安裝平板(17)上沿其厚度方向加工有三個(gè)連接孔(62),三個(gè)連接孔(62)均布設(shè)置在同一圓周上，刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)(28)固定在刀具移動(dòng)部分墊塊(33)上，切屑收集總成(26)與刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)(28)連接，刀具顯微鏡移動(dòng)平臺(tái)(25)、手動(dòng)升降調(diào)整平臺(tái)(18)及顯微鏡連接板(21)由上至下依次連接，顯微鏡連接板(21)與底部安裝平板(17)的上端面連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述刀具三軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)(28)包括電主軸(I)、電主軸夾具(2)、Z軸連接件(7)、刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元(11)、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元(50)及刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元(14) ；Z軸連接件(7)、刀具運(yùn)動(dòng)Z軸單元(11)、刀具運(yùn)動(dòng)Y軸單元(50)及刀具運(yùn)動(dòng)X軸單元(14)由上至下依次連接，電主軸卡具(2)坐落在Z軸連接件(7)上且二者連接，電主軸(I)設(shè)置在電主軸卡具(2)內(nèi)，電主軸(I)通過(guò)電主軸卡具(2)夾緊固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述刀具顯微 鏡移動(dòng)平臺(tái)(25)包括光源連接板(51)、刀具顯微鏡Z軸單元(54)、刀具顯微鏡導(dǎo)軌連接件(55)、刀具顯微鏡XY軸單元(56)、夾具連接件(16)、監(jiān)控顯微鏡(63)、刀具顯微鏡卡具(19)和兩個(gè)光源組件，每個(gè)光源組件包括光源支撐件(5)、光源夾具(52)及CCS點(diǎn)光源(53);夾具連接件(16)、光源連接板(51)、刀具顯微鏡XY軸單元(56)、刀具顯微鏡導(dǎo)軌連接件(55)及刀具顯微鏡Z軸單元(54)由上至下依次連接，刀具顯微鏡卡具(19)固定在夾具連接件(16)上，監(jiān)控顯微鏡(63)裝在刀具顯微鏡卡具(19)內(nèi)并通過(guò)刀具顯微鏡卡具(19 )夾持固定，兩個(gè)光源支撐件(50均與光源連接板(51)的上端面連接，光源夾具(52)固定在光源支撐件(5)上，CCS點(diǎn)光源(53)固定在光源夾具(52)內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述光源連接板(51)為長(zhǎng)條形板，兩個(gè)光源支撐件(5)相對(duì)于光源連接板(51)長(zhǎng)度方向的中心線對(duì)稱設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述切屑收集總成(26)包括金屬軟管(57)、金屬軟管接頭(58)、底部連接頭(3)、切屑收集頭(4)、鎖緊螺母(59)及切屑收集安裝件(60);所述切屑收集頭(4)外側(cè)壁的下部設(shè)有外螺紋，底部連接頭(3)設(shè)有內(nèi)螺紋孔，切屑收集頭(4)與底部連接頭(3)螺紋連接，鎖緊螺母(59)與切屑收集頭(4)螺紋連接且與底部連接頭(3)上端面相抵靠，切屑收集安裝件(10)安裝在底部連接頭(3)上，金屬軟管(I)通過(guò)金屬軟管接頭(2)與底部連接頭(3)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述切屑收集安裝件(60)為倒置的圓臺(tái)形筒，切屑收集安裝件(60)的上端為敞口端，切屑收集安裝件(60)的下端通過(guò)底板封堵，切屑收集安裝件(60)的底板中部設(shè)有安裝孔，底部連接頭(3)的上端設(shè)有凸臺(tái)，底部連接頭(3)的下端穿出切屑收集安裝件(60)底板上的安裝孔，底部連接頭(3 )的凸臺(tái)貼靠在底板的上端面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置還包括底部平臺(tái)防護(hù)罩(61);底部安裝平板(17)固定在底部平臺(tái)防護(hù)罩(61)內(nèi)部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置，其特征在于:所述具有微刀具監(jiān)控能力的超精密三軸聯(lián)動(dòng)微銑削裝置還包括底部平臺(tái)總線卡(6)、刀具XY總線卡(8)、刀具Z軸總線卡(10)、刀具顯微鏡總線卡(12)、刀具顯微鏡小線卡(13)、刀具顯微鏡大線卡(23)及電主軸總線卡(31);所述底部平臺(tái)總線卡(6)、刀具XY總線卡(8)、刀具Z軸總線卡(10)及刀具顯微鏡總線卡(12)均固定安裝在底部安裝平板(17)的上端面，刀具顯微鏡小線卡(13)及刀具顯微鏡大線卡(23)均固定安裝在顯微鏡連接板(21)上，電主軸總線卡( 31)與刀具移動(dòng)部分布線板(32)連接。
【文檔編號(hào)】B28D5/00GK103586986SQ201310631580
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年12月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月2日
【發(fā)明者】陳明君, 肖勇, 郭占玥, 張文明, 李旦, 梁迎春 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)