專利名稱：硅片新切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種切割裝置，尤其是一種硅片新切割裝置。
背景技術(shù)：
目前市場上最快切割工藝的主進(jìn)給為0. 42mm/min，但是僅僅限于多晶單向走線切害I]，并且于砂漿第二刀放慢速率(0.32mm/min)以滿足砂漿切割能力減弱，平均速率也只能達(dá)到0. 37mm/min0 NTC雙向切割工藝，行業(yè)平均速率為0. 34mm/min，我公司先前采用的工藝主進(jìn)給為0. 32mm/min。0. Ilmm線+2000#砂0. 36mm/min以上進(jìn)給的成熟切割工藝在行業(yè)還處于空白
實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于上述原因，本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，切割速度快且成品率高的硅片新切割工藝方法及其切割裝置。為了實(shí)現(xiàn)這一目的，本實(shí)用新型是由以下措施來完成的一種硅片新切割裝置，所述裝置包括有主輥、收放線輪、砂漿管、進(jìn)刀裝置和鋼絲線網(wǎng)，所述砂漿管位于鋼絲線網(wǎng)上方，所述主輥各后各有一個(gè)，鋼絲線網(wǎng)經(jīng)收放線輪繞到兩主輥上方，鋼絲線網(wǎng)上放有硅塊工作件。本實(shí)用新型進(jìn)一步的措施是，所述鋼絲線網(wǎng)下方設(shè)有與之垂直的砂簾。本實(shí)用新型再進(jìn)一步的措施是，所述砂簾設(shè)于兩主輥之間。本實(shí)用新型更進(jìn)一步的措施是，所述砂簾有兩片。本實(shí)用新型更進(jìn)一步的措施是，所述該裝置還包括熱交換器、操控裝置和操作屏
眷ο本實(shí)用新型更進(jìn)一步的措施是，所述兩主輥為兩個(gè)滾筒。本實(shí)用新型的有益效果如下切割數(shù)據(jù)良好，跟同期工廠整體切割數(shù)據(jù)無明顯差異，試驗(yàn)成功NTC442機(jī)型 0. 38mm/min進(jìn)給工藝的研發(fā)，是根據(jù)行業(yè)內(nèi)多種切片機(jī)型(MB264、MB265、MB271、HCTB5、 B6、PV800)切割工藝綜合研究推導(dǎo)后，得出初期切割工藝。以0. 34mm/min的初期進(jìn)給開始試驗(yàn)，并在試驗(yàn)中反復(fù)論證NTC機(jī)型的切割進(jìn)給跟鋼線線速、返線率、砂漿流量、砂漿溫度、 鋼線張力等切割因素之間的關(guān)系。0. Ilmm鋼線+2000#砂，切割能力受砂漿的接觸面積的影響，切割能力在0. 12mm線+1500砂的基礎(chǔ)上有所下降。這也給0. Ilmm線+2000#砂的工藝提速帶來困難，根據(jù)其的特性采取的對策為快速進(jìn)刀，高進(jìn)給運(yùn)行至硅棒92%處處便開始降速。并通過合理的調(diào)試降速工藝保證硅片表面的質(zhì)量。在0. 35mm/min速率穩(wěn)定后直接提0.38mm/min，在試驗(yàn)初期存在的問題為切割線痕、TTV不良、以及大量硅落邊緣。此工藝存在幾個(gè)矛盾點(diǎn)，鋼線細(xì)了本身的磨損量，瞬間破斷拉力都相應(yīng)的降低、SIC的粒徑只有 6. 1 士0.3um高速切割時(shí)間相應(yīng)減少，而切割速度在各項(xiàng)指標(biāo)降低的情況下大幅度提升。在明確了解各輔材的特性的情況下，將每種輔材參與切割的最大承載力都發(fā)掘出來。并在工藝中完全考慮各輔材特性，速度的降和升都按其切割能力來設(shè)置。終于解決試驗(yàn)初期的問題。(1)成品率升高；(2)產(chǎn)量提高；降低了生產(chǎn)成本。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中(1)砂漿管；⑵鋼絲線網(wǎng)；(3)主輥；(4)硅塊；(5)砂簾。
具體實(shí)施方式
關(guān)于本實(shí)用新型的實(shí)施方式，以下將參照附圖加以具體說明。如圖1所示，一種硅片新切割裝置，所述裝置包括有主輥3、收放線輪、砂漿管1、進(jìn)刀裝置、鋼絲線網(wǎng)2、熱交換器、操控裝置和操作屏幕，所述砂漿管1位于鋼絲線網(wǎng)2上方，所述主輥3各后各有一個(gè)且為滾筒型，鋼絲線網(wǎng)2經(jīng)收放線輪繞到兩主輥3上方，鋼絲線網(wǎng)2 上放有硅塊4工作件，鋼絲線網(wǎng)2下方設(shè)有與之垂直的兩片砂簾5，且砂簾5設(shè)于兩主輥3 之間。其裝置的工作過程如下①、布線網(wǎng)——將繞有切割線的放線線軸安裝于第一驅(qū)動(dòng)軸承上，將收線線軸安裝于第二驅(qū)動(dòng)軸承上，將放線軸的外露線頭依次繞過第一排線輪、第一擺動(dòng)輪及第一測力輪，然后從第一導(dǎo)輪的外側(cè)進(jìn)線，通過第一線槽及第二線槽將切割線重復(fù)環(huán)繞于第一導(dǎo)輪和第二導(dǎo)輪上進(jìn)行布線，布線后切割線的外露線頭從第二導(dǎo)輪的外側(cè)出線，第一導(dǎo)輪和第二導(dǎo)輪之間的切割線構(gòu)成一個(gè)線間距為207 μ m的平行線網(wǎng)，切割線的外露線頭再依次繞過第二測力輪、第二擺動(dòng)輪及第二排線輪與收線線軸連接；②、安裝硅棒——將待切割的硅棒的一個(gè)軸向側(cè)面粘貼于一塊玻璃上，然后利用活動(dòng)連接于工件夾具上的夾板夾住玻璃，再調(diào)整夾板的深度，使硅棒位于平行線網(wǎng)的正上方，最后控制系統(tǒng)控制工作平臺驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作平臺下降至使硅棒靠近平行線網(wǎng)的位置；③、設(shè)置工藝參數(shù)——設(shè)定工作平臺帶動(dòng)硅棒下降的下降速度及切割行程，還有切割線前進(jìn)的行進(jìn)速度和砂漿的流量等參數(shù)；④、切割開始——控制系統(tǒng)控制放線線軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)、收線線軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第一導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)及第二導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)同步轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)控制系統(tǒng)控制砂漿噴嘴向平行線網(wǎng)均與噴射砂漿，及控制工作平臺驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作平臺帶動(dòng)硅棒以設(shè)定的下降速度下降，砂漿包裹切割線對硅棒進(jìn)行切割；⑤、切割完成——當(dāng)硅片切割完成后，控制系統(tǒng)控制放線線軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)，收線線軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)，第一導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)及第二導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)同步停止工作，同時(shí)控制系統(tǒng)控制砂漿噴嘴停止向平行線網(wǎng)噴射砂漿，控制工作平臺驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作平臺上升，待工作平臺上升至可方便取出切割完的硅片的位置時(shí)，取出切割完成的硅片；[0027] 以上公開的 僅為本實(shí)用新型的幾個(gè)具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型并非局限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員能思之的變化，都應(yīng)落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片新切割裝置，所述裝置包括有主輥、收放線輪、砂漿管、進(jìn)刀裝置和鋼絲線網(wǎng)，所述砂漿管位于鋼絲線網(wǎng)上方，其特征在于，所述主輥各后各有一個(gè)，鋼絲線網(wǎng)經(jīng)收放線輪繞到兩主輥上方，鋼絲線網(wǎng)上放有硅塊工作件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片新切割裝置，其特征在于所述鋼絲線網(wǎng)下方設(shè)有與之垂直的砂簾。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片新切割裝置，其特征在于所述砂簾設(shè)于兩主輥之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片新切割裝置，其特征在于所述砂簾有兩片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片新切割裝置，其特征在于所述該裝置還包括熱交換器、 操控裝置和操作屏幕。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片新切割裝置，其特征在于所述兩主輥為兩個(gè)滾筒。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅片新切割裝置，所述裝置包括有主輥、收放線輪、砂漿管、進(jìn)刀裝置和鋼絲線網(wǎng)，所述砂漿管位于鋼絲線網(wǎng)上方，所述主輥各后各有一個(gè)，鋼絲線網(wǎng)經(jīng)收放線輪繞到兩主輥上方，鋼絲線網(wǎng)上放有硅塊工作件；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成品率升高；產(chǎn)量提高；降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號B28D5/04GK202021703SQ201120077549
公開日2011年11月2日 申請日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者唐旭輝 申請人:江蘇聚能硅業(yè)有限公司