專利名稱：一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種控制系統(tǒng)，尤其是涉及一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)。
背景技術：
石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。其主要的工藝流程為:尤尼明高純石英砂一高純石墨模具一真空裝料成型一真空電弧熔制一自然冷卻脫模一石英坩堝初步檢測一冷加工噴砂、切斷、倒角一石英坩堝二次檢測一超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干一石英坩堝三次檢驗一真空包裝一成品入庫。目前坩堝生產涂層技術已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層高純度石英砂使其形成致密層，其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英 甘禍反應提聞成晶率。。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題在于針對上述現(xiàn)有技術中的不足，提供一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其結構簡單且使用操作方便，工作時能實現(xiàn)石英砂側壁的均勻分料，保證石英砂在離心率的作用下能夠均勻附著在錐形側壁上。為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是:一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征在于:包 括主控制器、輸送裝置、分料裝置、放置石英坩堝的旋轉臺、在主控制器控制下帶動石英砂料斗沿輸送裝置向上傳輸?shù)剿鍪⑸佰釄鍌缺诘碾姍C一、在主控制器控制下帶動分料裝置沿所述石英坩堝錐形側壁做變速直線滑行以實現(xiàn)側壁分料的均勻性和一致性的電機二、在主控制器控制下帶動旋轉臺使所述石英坩堝做高速旋轉運動以保證石英砂在離心率的作用下能夠附著在所述石英坩堝椎體側壁的電機三、對所述石英坩堝進行加熱的加熱裝置、實時檢測加熱裝置溫度的溫度傳感器以及分別與溫度傳感器和主控制器相接的溫度控制器；所述電機一分別與輸送裝置和主控制器相接，所述電機二分別與分料裝置和主控制器相接，所述電機三分別與旋轉臺和主控制器相接，所述溫度傳感器與主控制器相接。上述一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征是:所述主控制器為PLC。上述一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征是:所述電機均為步進電機。上述一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征是:所述加熱裝置為紅外加熱管。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點，其結構簡單、布設方便、使用操作簡單且使用效果好，溫度實時可控，控制精度高，極大提高了石英坩堝的工藝水平和生產質量。下面通過附圖和實施例，對本發(fā)明的技術方案做進一步的詳細描述。


圖1為本發(fā)明的電路原理框圖。附圖標記說明:1-主控制器；2-輸送裝置；3-分料裝置；4-旋轉臺；5-電機一；6-電機二；7-電機三；8-加熱裝置；9-溫度傳感器；10-溫度控制器。
具體實施例方式如圖1所示，本發(fā)明包括主控制器1、輸送裝置2、分料裝置3、放置石英坩堝的旋轉臺4、在主控制器I控制下帶動石英砂料斗沿輸送裝置2向上傳輸?shù)剿鍪⑸佰釄鍌缺诘碾姍C一 5、在主控制器I控制下帶動分料裝置3沿所述石英坩堝錐形側壁做變速直線滑行以實現(xiàn)側壁分料的均勻性和一致性的電機二 6、在主控制器I控制下帶動旋轉臺4使所述石英坩堝做高速旋轉運動以保證石英砂在離心率的作用下能夠附著在所述石英坩堝椎體側壁的電機三7、對所述石英坩堝進行加熱的加熱裝置8、實時檢測加熱裝置溫度的溫度傳感器9以及分別與溫度傳感器9和主控制器I相接的溫度主控制器10 ;所述電機一 5分別與輸送裝置2和主控制器I相接，所述電機二 6分別與分料裝置3和主控制器I相接，所述電機三7分別與旋轉臺4和主控制器I相接，所述溫度傳感器9與主控制器I相接。本實施例中，所述 主控制器I為PLC，具體使用時還可根據(jù)需要選取其它類型控制器。本實施例中，所述電機一 5、電機二 6和電機三7均為步進電機。本實施例中，所述加熱裝置8為紅外加熱管。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例，并非對本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發(fā)明技術方案的保護范圍內。
權利要求
1.一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征在于:包括主控制器(I)、輸送裝置(2)、分料裝置(3)、放置石英坩堝的旋轉臺(4)、在主控制器(I)控制下帶動石英砂料斗沿輸送裝置(2)向上傳輸?shù)剿鍪⑸佰釄鍌缺诘碾姍C一(5)、在主控制器(I)控制下帶動分料裝置(3)沿所述石英坩堝錐形側壁做變速直線滑行以實現(xiàn)側壁分料的均勻性和一致性的電機二 ￠)、在主控制器(I)控制下帶動旋轉臺(4)使所述石英坩堝做高速旋轉運動以保證石英砂在離心率的作用下能夠附著在所述石英坩堝椎體側壁的電機三(7)、對所述石英坩堝進行加熱的加熱裝置(8)、實時檢測加熱裝置溫度的溫度傳感器(9)以及分別與溫度傳感器(9)和主控制器⑴相接的溫度主控制器(10);所述電機一(5)分別與輸送裝置(2)和主控制器(I)相接，所述電機二(6)分別與分料裝置(3)和主控制器(I)相接，所述電機三(7)分別與旋轉臺(4)和主控制器(I)相接，所述溫度傳感器(9)與主控制器(I)相接。
2.按照權利要求1所述的一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征在于:所述主控制器⑴為PLC。
3.按照權利要求1或2所述的一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征在于:所述電機一(5)、電機二(6)和電機三(7)均為步進電機。
4.按照權利要求1或2所述的一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，其特征在于:所述加熱裝置(8)為 紅外加熱管。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種石英砂錐形側壁分料的運動控制系統(tǒng)，包括主控制器、輸送裝置、分料裝置、放置石英坩堝的旋轉臺、帶動石英砂料斗沿輸送裝置向上傳輸?shù)剿鍪⑸佰釄鍌缺诘碾姍C一、帶動分料裝置沿所述石英坩堝錐形側壁做變速直線滑行以實現(xiàn)側壁分料的均勻性和一致性的電機二、帶動旋轉臺使所述石英坩堝做高速旋轉運動以保證石英砂在離心率的作用下能夠附著在所述石英坩堝椎體側壁的電機三、對石英坩堝進行加熱的加熱裝置、實時檢測加熱裝置溫度的溫度傳感器以及分別與溫度傳感器和主控制器相接的溫度控制器。本發(fā)明結構簡單、布設方便、使用操作簡單且使用效果好，溫度實時可控，控制精度高，極大提高了石英坩堝的工藝水平和生產質量。
文檔編號C03C17/04GK103176423SQ20111045173
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權日2011年12月20日
發(fā)明者劉學, 胡劍峰 申請人:西安大昱光電科技有限公司