專利名稱：一種薄板狀多晶材料的切割方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄板狀多晶材料的切割方法，采用單線切割機切割尾料不可回收、材料貴重的多晶材料，屬于無機塊體材料加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相沉積法(CVD法)生長的多晶ZnSe材料、多晶ZnS材料作為先進的紅外光學(xué)材料和大功率激光器用材料，是成本高、產(chǎn)量低、供不應(yīng)求的材料，通常為薄板狀。目前國內(nèi)CVD法生長的多晶ZnSe材料、多晶ZnS材料的厚度一般在10 20mm，而大量元器件用尺寸厚度一般只需要3 8mm，因此需要對CVD法生長的多晶ZnSe材料、多晶ZnS材料加以切割。目前常規(guī)的切割方法是先對切割材料對刀起刀切割后設(shè)為零點，然后設(shè)定切割厚度，一片一片的切割。對刀產(chǎn)生的廢料以及切割后剩下的尾料相對于厚度比較厚的材料來說，所占比例并不很大。而對于薄板狀的多晶ZnSe材料、多晶ZnS材料來說比例是相當(dāng)大，因此無謂的增加了成本。而CVD法生長的多晶ZnSe材料、多晶ZnS材料的原料成本比較高，生產(chǎn)效率較低，因此如何精確切割需要的厚度，如何減少尾廢料，提高生產(chǎn)效率是加工中所要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種薄板狀多晶材料的切割方法，以減少尾廢料的產(chǎn)生，提聞多晶材料的利用率。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種薄板狀多晶材料的切割方法，方法包括:(I)首先對現(xiàn)有的單線金剛石砂線切割機的卡具進行改造，使卡具的定位面與砂線切割面平行；(2)對多晶材料的沉積表面進行精磨，使晶體表面平整度小于0.02mm ；(3)將精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后設(shè)定零點；(4)設(shè)定切割厚度和片數(shù)，進行切割。在上述切割方法中，所述卡具的定位面與砂線切割面之間的平行度控制在
0.02/300。本發(fā)明的切割方法適用于切割薄板狀多晶ZnS材料或多晶ZnS材料。本發(fā)明的優(yōu)點在于:本發(fā)明采用現(xiàn)有的精密單線金剛石砂線切割機，通過改造裝卡方式、加工工藝步驟，省去了對刀起刀一步工序，提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明的方法能很好地完成多晶材料的精密切割，厚度加工精度能夠達到±0.05mm/200mm，滿足使用要求，成本至少減少10%，大大提聞了薄板狀多晶材料的利用率。
具體實施方式
以下通過實施例對本發(fā)明做進一步說明。實施例1采用現(xiàn)有的精密單線金剛石砂線切割機，使卡具定位面與砂線切割面(即Z軸)平行，將二者之間的平行度控制在0.02/300。然后對CVD法生長的薄板狀多晶ZnSe材料或多晶ZnS材料的沉積表面進行精磨，使晶體表面平整度小于0.02mm,光潔度約為12.8um。再將精磨好的多晶ZnSe材料或多晶ZnS材料固定在已準(zhǔn)備好的卡具上，定位后設(shè)定零點。最后設(shè)定切割厚度和片數(shù)進行自動切割。該多晶材料的厚度加工精度為±0.05mm/200mm，成本相對現(xiàn)有方法減少了 10%。
權(quán)利要求
1.一種薄板狀多晶材料的切割方法，其特征在于，該切割方法包括以下步驟: (1)首先對現(xiàn)有的單線金剛石砂線切割機的卡具進行改造，使卡具的定位面與砂線切割面平行； (2)對多晶材料的沉積表面進行精磨，使晶體表面平整度小于0.02mm ； (3)將精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后設(shè)定零點； (4)設(shè)定切割厚度和片數(shù)，進行切割。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述卡具的定位面與砂線切割面之間的平行度為0.02/300。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切割方法，其特征在于，所述多晶材料為薄板狀多晶ZnSe材料或多晶ZnS材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種薄板狀多晶材料的切割方法，該切割方法包括以下步驟(1)首先對現(xiàn)有的單線金剛石砂線切割機的卡具進行改造，使卡具的定位面與砂線切割面平行；(2)對多晶材料的沉積表面進行精磨，使晶體表面平整度小于0.02mm；(3)將精磨好的多晶材料固定在卡具上，定位后設(shè)定零點；(4)設(shè)定切割厚度和片數(shù)，進行切割。本發(fā)明采用現(xiàn)有的精密單線金剛石砂線切割機，通過改造裝卡方式、加工工藝步驟，省去了對刀起刀的工序，提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明的方法能很好地完成多晶材料的精密切割，厚度加工精度能夠達到±0.05mm/200mm，滿足使用要求，成本至少減少了10％，大大提高了薄板狀多晶材料的利用率。
文檔編號B28D5/04GK103182749SQ20111044993
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者楊海, 石紅春, 趙永田, 李文江, 張樹玉, 郝超, 黃萬才 申請人:北京有色金屬研究總院, 有研光電新材料有限責(zé)任公司