專利名稱：鋼絲鋸加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使撐架的鋼絲沿其撐架方向行走的同時，按壓在被加工物上切割該被加工物的鋼絲鋸加工方法。
背景技術(shù)：
一直以來，公知的鋼絲鋸裝置如專利文獻(xiàn)1-特開2003-89050所述的那樣，具備以下各部各自的旋轉(zhuǎn)軸相互平行地配置的圓筒狀的兩個滾輪；卷繞在兩個滾輪上并以張力施加機(jī)構(gòu)調(diào)整的規(guī)定張力撐架在兩個滾輪之間的切割用鋼絲；使切割用鋼絲沿其撐架方向(通常為水平方向)行走的行走機(jī)構(gòu)(例如電動機(jī)等)；放置被加工物的工作臺；通過使放置有被加工物的工作臺和切割用鋼絲的至少一方向規(guī)定按壓方向(通常為鉛垂方向)相對移動，而將被加工物按壓在切割用鋼絲上的移動機(jī)構(gòu)(例如液壓擠壓機(jī)等)。
如果使用該鋼絲鋸裝置，將被加工物放置在工作臺上，通過在上述行走的切割用鋼絲上一邊滴下使規(guī)定的砂粒分散的加工液(漿液)一邊將被加工物按壓在切割用鋼絲上，就能夠?qū)⒈患庸の锴懈睢?br> 然而，相對被加工物的切割用鋼絲的上述按壓方向的相對移動速度(以下也稱為“實(shí)際進(jìn)給速度”)越小，介于被加工物和切割用鋼絲之間的加工液的研磨效果越能進(jìn)一步發(fā)揮出來，并在被加工物中通過切割用鋼絲切割·去除的部分的寬度(在水平方向，上述撐架方向和直角方向的距離，以下也稱為“去除寬度”)有增大的傾向。
換言之，在切割中，如果實(shí)際進(jìn)給速度發(fā)生變化，被加工物的加工表面(切割面)的精度(例如，平整度、表面粗糙度等)就降低，實(shí)際進(jìn)給速度的變化程度越大，表面精度的下降程度也越大。由于以上原因，為了使整個切割中的實(shí)際進(jìn)給速度恒定，兩個滾輪相對于工作臺的上述按壓方向中的相對移動速度，通常在整個切割中保持恒定地設(shè)定。
另一方面，在使用該鋼絲鋸裝置切割被加工物的情況下，切割用鋼絲因被按壓到被加工物上而產(chǎn)生加工負(fù)荷，其結(jié)果，由于與該加工負(fù)荷對應(yīng)動作的上述張力施加機(jī)構(gòu)的作用，切割用鋼絲上在上述按壓方向不可避免地產(chǎn)生與對應(yīng)加工負(fù)荷的“撓曲”。以下，將該“撓曲”的大小成為“撓曲量”，跨越整個切割用鋼絲的撐架方向的撓曲量的分布之中，撓曲量的最大值稱為“最大撓曲量”。
這里，切割中的最大撓曲量發(fā)生變化是指，即使兩個滾輪相對于工作臺的上述按壓方向中的相對移動速度為恒定，實(shí)際進(jìn)給速度也發(fā)生變化。即，在切割中，一旦最大撓曲量發(fā)生變化，被加工物的切割面的表面精度就下降，最大撓曲量的變化程度越大，表面精度的下降程度也越大。因此，減小切割中的最大撓曲量的變化程度，對于提高被加工物的切割面的表面精度是非常重要的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種鋼絲鋸加工方法，其能夠通過減小切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度，而得到被加工物的良好的、平坦的切割面。
本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法適用于鋼絲鋸裝置，該鋼絲鋸裝置具備各自的旋轉(zhuǎn)軸相互平行地配置的圓筒狀的兩個滾輪；卷繞在上述兩個滾輪上而撐架在該兩個滾輪之間的切割用鋼絲；使上述切割用鋼絲沿其撐架方向(例如水平方向)行走的行走機(jī)構(gòu)；放置被加工物的工作臺；以及，通過使放置有上述被加工物的工作臺和上述切割用鋼絲的至少一方向規(guī)定的按壓方向(例如鉛垂方向)相對移動，而將上述被加工物按壓在該切割用鋼絲上的移動機(jī)構(gòu)，通過將上述被加工物放置在工作臺上，利用上述移動機(jī)構(gòu)將上述被加工物按壓在進(jìn)行上述行走的切割用鋼絲上而將該被加工物切割。
本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法，其特征在于，上述被加工物的利用上述切割用鋼絲切割的部分，即切割部分在上述撐架方向的兩端之間的中央位置偏離該切割用鋼絲在上述撐架方向的中央位置(在該撐架方向)地將該被加工物放置在上述工作臺上。
這里，被加工物既可以由一個單體構(gòu)成，也可以由多個單體(例如相同形狀的多個單體)構(gòu)成。被加工物由多個單體構(gòu)成的情況下，多個單體的每一個在上述撐架方向具有規(guī)定間隔地放置在工作臺上的場合，所謂“被加工物的切割部分在上述撐架方向的兩端”，具體地說，是指多個單體中位于上述撐架方向的兩端的兩個單體中該撐架方向的一方單體的上述切割部分在該撐架方向的一方之端，和該兩個單體中該撐架方向的另一方單體的上述切割部分在該撐架方向的另一方之端。
以下，“被加工物的切割部分在上述撐架方向的兩端”也簡單地稱為“被加工物的兩端”。另外，“切割用鋼絲在上述撐架方向的中央位置”也簡單地稱為“切割用鋼絲的中央位置”。
如上所述，切割用鋼絲的撓曲量利用與切割中的上述加工負(fù)荷對應(yīng)的上述張力施加機(jī)構(gòu)的作用而產(chǎn)生。這里，上述最大撓曲量依存于從切割用鋼絲整體除去與被加工物的兩端間相對應(yīng)的部分所得到的切割用鋼絲的兩個部分在上述撐架方向的長度(R2和R3)，特別是判定為這些之中較短方向(R3)(以下也稱為“短側(cè)長度”)越短越小。
此外，最大撓曲量越小，切割中的最大撓曲量的變化程度越小。由此，為了減小切割中的最大撓曲量的變化程度，縮短短側(cè)長度即可。
另一方面，一般地，在將被加工物放置在工作臺上時，被加工物的兩端之間的中央位置與切割用鋼絲的中央位置一致地將被加工物放置在工作臺上的情況(以下，也稱為“中央位置一致的情況”)較多。對此，當(dāng)被加工物兩端之間的中央位置偏離切割用鋼絲的中央位置地將被加工物放置在工作臺上時，即使被加工物兩端之間的距離相同，也能夠縮短短側(cè)長度。
本發(fā)明是基于該想法的一種方法。即，根據(jù)本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法，與中央位置一致的情況相比較，能夠縮短短側(cè)長度。因此，能夠減小切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度。其結(jié)果，能夠得到被加工物的良好的、平坦面的切割面。
該情況下，具體地說，按以下方式將上述被加工物放置在上述工作臺上為宜，即從上述切割用鋼絲整體除去與上述被加工物的兩端之間相對應(yīng)的部分所得到的該切割用鋼絲的兩個部分在上述撐架方向的長度(R2和R3)之中較短方(R3)與從撐架在上述兩個滾輪之間的上述切割用鋼絲的兩端之間的距離(M)減去上述被加工物的兩端之間的距離(L1)的值(M-L1)的比值(R3/(M-L1))為0.4或其以下。
這樣的話，與中央位置一致的情況相比較，能夠充分縮短短側(cè)長度。其結(jié)果，能夠得到被加工物的非常良好的、平坦面的切割面。另外，兩個滾輪直徑相同的情況下，“撐架在兩個滾輪之間的切割用鋼絲的兩端之間的距離”與兩個滾輪的旋轉(zhuǎn)軸間的距離相等。
本發(fā)明的其他鋼絲鋸加工方法，其特征在于，以如下方式將上述被加工物放置在上述工作臺上，即，上述被加工物的切割部分，相對于上述切割用鋼絲鋸的中央位置，在上述撐架方向兩側(cè)存在的同時，在含有該切割用鋼絲中央位置的該撐架方向的規(guī)定的不存在范圍內(nèi)不存在，而且，上述不存在范圍在撐架方向的長度(N)與上述切割部分在上述撐架方向的兩端間的距離(L2)的比值(N/L2)為0.08或其以上。
具體地說，例如，在被加工物由多個單體構(gòu)成的情況下，多個單體的每一個在上述撐架方向具有規(guī)定間隔地放置在工作臺上時，對應(yīng)上述不存在范圍的間隙在上述撐架方向的長度比其他間隙在上述撐架方向的長度更大地放置多個單體。
這樣的話，構(gòu)成被加工物的多個單體的每一個，與在上述撐架方向具有一定間隔地配置的情況相比較，能夠充分縮短短側(cè)長度。因此，能夠充分減小在切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度，其結(jié)果，能夠得到被加工物的非常良好的、平坦面的切割面。
此外，本發(fā)明的其他鋼絲鋸的加工方法，其特征在于，上述被加工物由多個單體構(gòu)成，以如下方式將上述被加工物放置在上述工作臺上，即，由上述被加工物的上述切割用鋼絲切割的部分，即切割部分中含有該切割用鋼絲在上述撐架方向的中央位置的規(guī)定的低密集度范圍所含的部分在該撐架方向的密集度，對于上述切割部分中上述低密集度范圍所含的部分，為存在于上述撐架方向兩側(cè)的部分在該撐架方向的密集度的0.5或其以下，而且，上述低密集度范圍在上述撐架方向的長度(N’)與上述切割部分在上述撐架方向的兩端之間的距離(L2’)的比值(N’/L2’)為0.08或其以上。
具體地說，例如，多個單體(例如相同形狀的多個單體)的每一個在上述撐架方向具有規(guī)定的間隔地放置在工作臺上的情況下，與上述低密集度范圍對應(yīng)的間隙在上述撐架方向的長度(的平均值)比其他間隙在上述撐架方向的長度(的平均值)更大地放置多個單體。
因此，與構(gòu)成被加工物的多個單體的每一個在上述撐架方向具有規(guī)定的間隔地放置的情況相比較，能夠充分縮短短側(cè)長度。因此，能夠充分減小切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度，其結(jié)果，能夠得到被加工物的良好的、平坦面的切割面。
在上述本發(fā)明的任意一種鋼絲鋸加工方法中，上述被加工物具有由該被加工物的上述切割用鋼絲切割的部分在上述撐架方向的長度總和隨該切割用鋼絲在上述按壓方向向該被加工物的進(jìn)入深度而變化的形狀的情況下，最好是上述工作臺上的上述被加工物的放置面相對上述撐架方向傾斜地將該被加工物放置在上述工作臺上。
這里，為使工作臺上的被加工物的放置面相對上述撐架方向傾斜，在將被加工物直接放置在工作臺的上面的情況下，只要是工作臺的上面(即被加工物的放置面)相對上述撐架方向傾斜即可，將夾具(工件夾盤)放置在工作臺的上面并在其夾具的上面放置被加工物的情況下，不使工作臺的上面傾斜，使夾具的上面(即被加工物的放置面)相對于上述撐架方向傾斜即可。
總切割長度根據(jù)上述進(jìn)入深度發(fā)生變化的情況下，切割中的加工負(fù)荷也根據(jù)總切割長度的變化而發(fā)生變化。這將導(dǎo)致切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化。這里，當(dāng)將被加工物相對上述撐架方向傾斜放置在工作臺上時，能夠減小總切割長度的變化程度(后面詳述)，由此能夠減小總切割長度的變化引起的切割中的最大撓曲量的變化程度。
因此，如上所述，通過使工作臺上的被加工物的放置面相對上述撐架方向傾斜，與工作臺上的被加工物的放置面相對上述撐架方向不傾斜的情況相比較，能夠減小切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度。
這樣，以上述工作臺上的上述被加工物的放置面相對上述撐架方向傾斜的方式將被加工物放置在上述工作臺上的情況下，在被加工物由多個單體構(gòu)成的場合，最好以如下方式將上述該被加工物放置在上述工作臺上，即上述被加工物分成各自含有至少一個上述單體的多個單體組，上述工作臺上的每個單體組的放置面相對于上述撐架方向獨(dú)立傾斜。
在將被加工物相對于上述撐架方向傾斜放置在工作臺上時，從被加工物的切割開始至結(jié)束所需要的、兩個滾輪相對于工作臺在上述按壓方向的相對移動距離變長。這意味著與被加工物相對于上述撐架方向不傾斜的情況相比較，鋼絲鋸的加工時間變長。
在被加工物由多個單體(例如相同形狀的多個單體)構(gòu)成的場合，如上所述，能夠?qū)⒈患庸の锓殖筛髯院兄辽僖粋€單體的多個單體組，每個單體組的放置面相對于撐架方向獨(dú)立傾斜地將該被加工物放置在上述工作臺上。
這樣，能夠減小上述的“從被加工物的切割開始至結(jié)束所需要的相對移動距離”的增大，從而能夠抑制被加工物相對于上述撐架方向傾斜引起的鋼絲鋸加工時間的增大。
另外，在上述本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法中，上述被加工物在用上述切割用鋼絲切割后成為壓電/電致伸縮器件，該壓電/電致伸縮器件具備薄板部；支撐薄板部的固定部；以及，至少形成于上述薄板部的平面上的同時，多個電極和多個壓電/電致伸縮層交互積層，并具有在由該多個電極的各側(cè)端面和該多個壓電/電致伸縮層的各側(cè)端面形成的外部露出的側(cè)端面的壓電/電致伸縮元件，最好是至少在上述壓電/電致伸縮層的外部露出的側(cè)端面構(gòu)成由上述被切割用鋼絲切割而形成的壓電/電致伸縮器件。
在這種壓電/電致伸縮器件中，從利用多個電極的各側(cè)端面和多個壓電/電致伸縮層的各側(cè)端面形成的壓電/電致伸縮元件的側(cè)端面，易于發(fā)生微小粒子的脫離(以下把粒子脫離稱為“脫粒”)。由于該脫粒導(dǎo)致產(chǎn)生塵埃，所以應(yīng)該進(jìn)行抑制。另一方面，該脫粒具有壓電/電致伸縮元件的側(cè)端面的表面精度越良好越難以產(chǎn)生的傾向。
因此，通過使用上述本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法切割上述壓電/電致伸縮元件的側(cè)端面，能夠使壓電/電致伸縮元件的側(cè)端面(切割面)更加平坦，其結(jié)果，能夠抑制來自壓電/電致伸縮元件的側(cè)端面的脫粒。


圖1是適用于本發(fā)明的各實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法的鋼絲鋸裝置的立體圖。
圖2是圖1所示的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖3是表示在使用圖1所示的鋼絲鋸裝置切割被加工物的情況下發(fā)生的切割用鋼絲撓曲的狀態(tài)的圖。
圖4是使用相對于本發(fā)明第1實(shí)施方式的比較例涉及的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖5是使用本發(fā)明的第1實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖6是使用本發(fā)明的第2實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖7是表示在本發(fā)明的第3實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法中使用的、構(gòu)成被加工物的相同形狀的多個單體之一的立體圖。
圖8是將圖7所示的單體用圖1所示的鋼絲鋸裝置切割后所得到的壓電/電致伸縮器件的立體圖。
圖9是使用相對于本發(fā)明的第3實(shí)施方式的比較例的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖10是表示在使用圖1所示鋼絲鋸裝置將圖9所示那樣配置的被加工物切割的情況下，切割用鋼絲的兩端位置和最大撓曲量的關(guān)系的曲線圖。
圖11是使用本發(fā)明的第3實(shí)施方式涉及的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖12是表示在使用圖1所示鋼絲鋸裝置將圖11所示那樣配置的被加工物切割的情況下，切割用鋼絲的兩端位置和最大撓曲量的關(guān)系的曲線圖。
圖13是使用本發(fā)明的第4實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的鋼絲鋸裝置的主視圖。
圖14是表示使用本發(fā)明的第5實(shí)施方式涉及的鋼絲鋸加工方法將被加工物放置在工作臺上的情況下的被加工物的狀態(tài)的圖。
圖15(a)是安裝在被加工物和工作臺之間的變形例涉及的工件夾盤的主視圖，(b)該工件夾盤的右側(cè)視圖。
圖16(a)是安裝在被加工物和工作臺之間的其它變形例的工件夾盤的主視圖，(b)該工件夾盤的右側(cè)視圖。
圖17是安裝在被加工物和工作臺之間的其他變形例涉及的工件夾盤的主視圖。
圖中10-鋼絲，11、12-圓筒形滾輪，13-電動機(jī)，14-工作臺，15-工作臺移動裝置，16-工件夾盤，20-被加工物，21-單體，W-切割用鋼絲。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，對本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的各實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(第1實(shí)施例)首先，對適用于本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的各實(shí)施方式的鋼絲鋸裝置進(jìn)行說明，該鋼絲鋸裝置如立體圖的圖1以及主視圖的2所示，具備鋼絲10、兩個(一對)圓筒形滾輪11、12、作為行走機(jī)構(gòu)的電動機(jī)13、工作臺14以及作為移動機(jī)構(gòu)的工作臺移動裝置15。
滾輪11支撐在未圖示出的鋼絲鋸裝置的基體上，可以繞沿著相互正交的X、Y、Z軸構(gòu)成的坐標(biāo)系中的Y軸方向的滾輪11的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。滾輪11的旋轉(zhuǎn)軸與電動機(jī)13的旋轉(zhuǎn)軸連接。滾輪11利用電動機(jī)13繞其旋轉(zhuǎn)軸順時針以及逆時針交互轉(zhuǎn)動。
滾輪12具有與滾輪11相同的形狀。滾輪12支撐在未圖示出的鋼絲鋸裝置的基體上，可以繞沿著Y軸方向滾輪12的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。即，滾輪12的旋轉(zhuǎn)軸與滾輪11的旋轉(zhuǎn)軸平行。另外，滾輪12的高度和滾輪11的高度相同。
在圓筒形滾筒11、12上交互卷繞有施加了由未圖示出的張力施加機(jī)構(gòu)調(diào)整了的規(guī)定張力的鋼絲10。因此，鋼絲10以在一個平面中(與X-Y平面平行的平面)相互平行的方式，形成在X軸方向撐架的多根(本例中為9根)切割用鋼絲W。
根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，滾輪11通過電動機(jī)13轉(zhuǎn)動時，切割用鋼絲W沿著各切割用鋼絲W的撐架方向(X軸方向)前后行走。
工作臺14設(shè)置在切割用鋼絲W(Z軸負(fù)方向)下方。工作臺14在與X-Y平面平行的上面放置·固定長方體狀的工件夾盤16，同時，在工件夾盤16上放置·固定被加工物20。這些部件之間的固定例如用粘接劑進(jìn)行。另外，被加工物20也可以直接放置·固定在工作臺14的上面。
移動裝置15使工作臺14向上下方向(Z軸正、負(fù)方向)移動。被加工物20在圖1、圖2所示的例子中，由具有實(shí)心的相同的長方體狀的多個(本例中為4個)單體21構(gòu)成。在本例中，4個單體21的每一個，其長度方向沿著Y軸方向相互平行，而且在X軸方向具有一定間隔地配置在工件夾盤16上。因此，被加工物20(即4個單體21)的切割部分的X軸方向的長度總和(即上述總切割長度)相對于上述進(jìn)入深度(Z軸方向的位置)為恒定。
其次，對于這樣構(gòu)成的鋼絲鋸裝置的動作進(jìn)行說明。將通過該鋼絲鋸裝置切割的被加工物20(該例中為4個單體21)例如為陶瓷(陶瓷的燒結(jié)體)，用粘接劑固定在工件夾盤16上。
接著，驅(qū)動電動機(jī)13，由此切割用鋼絲W沿著各切割用鋼絲W的撐架方向(X軸方向)前后行走(往返運(yùn)動)。此外，驅(qū)動未圖示出的加工液供給機(jī)構(gòu)，由此使加工液(漿液)向各切割用鋼絲W滴下。然后，通過移動裝置15使工作臺14按一定上升速度向上方(Z軸正方向)移動。其結(jié)果，被加工物20被按壓在行走中的切割用鋼絲W上(接觸)而被切割用鋼絲W切割。
然而，如圖3所示，使用上述的鋼絲鋸裝置由切割用鋼絲W切割被加工物20(在圖3中為上述的4個單體21)時，在切割用鋼絲W上產(chǎn)生與按壓方向(Z軸方向)的加工負(fù)荷對應(yīng)的“撓曲”。以下，將切割用鋼絲W的高度(Z軸方向的位置)與切割用鋼絲W兩端的高度(Z軸方向的位置)之差定義為“撓曲量”，如圖3所示，將跨越切割用鋼絲W的撐架方向的撓曲量的分布之中撓曲量的最大值稱為“最大撓曲量D”。
如上所述，如果切割中的最大撓曲量D發(fā)生變化，即使工作臺14的上升速度恒定，切割用鋼絲W相對被加工物20的Z軸方向的相對移動速度(即上述實(shí)際進(jìn)給速度)也發(fā)生變化。當(dāng)實(shí)際進(jìn)給速度發(fā)生變化時，由于在被加工物20中被切割用鋼絲切割·去除的部分的寬度(Y軸方向的長度，上述“去除寬度”)就發(fā)生變化，被加工物20的切割面的面精度下降。因此，最好是減小切割中的最大撓曲量D的變化程度(例如變化量、變化速度等)。
以下，作為用于說明本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的第1實(shí)施方式的效果的準(zhǔn)備，首先，參照圖4所示的比較例繼續(xù)說明。在該比較例中，作為被加工物20，使用了圖2、圖3所示的“在X軸方向具有一定間隔而配置的4個單體21”。在該比較例中，被加工物20(4個單體21)被放置在工作臺14(工件夾盤16)上時，被加工物20的切割部分在撐架方向(X軸方向)的兩端(兩端間的距離為L1)之間的中央位置(以下稱為“被加工物20的中央位置”)與切割用鋼絲W的中央位置在X軸方向一致地將被加工物20放置在工作臺14上。
如上所述，從切割用鋼絲W整體(切割用鋼絲W兩端之間所有的部分。長度為M)除去與“被加工物20的兩端”對應(yīng)的部分(與距離L對應(yīng)的部分)所得到的切割用鋼絲W的2個部分在撐架方向(X軸方向)的長度(圖4中R1和R2)之中較短一方(即上述“短側(cè)長度”。在圖4中為R1)越短，最大撓曲量D越小。并且，最大撓曲量D越小，切割中的最大撓曲量D的變化程度(例如變化量等)越小。
由于以上原因，為了減小切割中的最大撓曲量D的變化程度，縮短短側(cè)長度即可。這里，如上所述，在圖4所示的比較例中，短側(cè)長度為R1(＝(M-L1)/2)。
對此，在圖5所示的本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的第1實(shí)施方式中，與圖4所示的比較例一樣，由“在X軸方向按一間隔配置的4個單體21”構(gòu)成的被加工物20在被放置在工作臺14(工件夾盤16)上時，被加工物20的中央位置相對于切割用鋼絲W的中央位置向X軸正方向偏離地將被加工物20放置在工作臺14上。
因此，第1實(shí)施方式中的短側(cè)長度為R3，比圖4所示的比較例中的短側(cè)長度R1小。此外，在第1實(shí)施方式中，被加工物20未偏離的距離足夠地大，下面(1)式的關(guān)系成立。因此，第1實(shí)施方式中的短側(cè)長度R3比圖4所示的比較例中的短側(cè)長度R1小很多。
R3/(M-L1)≤0.4 (1)因此，在第1實(shí)施方式中，與圖4所示的比較例相比，由于最大撓曲量D充分減小，切割中的最大撓曲量D的變化程度(例如變化量)也充分減小。即，根據(jù)第1實(shí)施方式，與圖4所示的比較例相比，能夠使被加工物20的切割面變成更加良好的平坦面。
(第2實(shí)施方式)
其次，對本發(fā)明的第2實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法進(jìn)行說明。如圖6所示，第2實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法，只有作為被加工物20的上述4個單體21在X軸方向的配置與第1實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法不同。
具體地說，如圖6所示，在第2實(shí)施方式中，與圖4所示的比較例相比，4個單體21間的間隔之中、僅含有切割用鋼絲W的中央位置的間隔即中央側(cè)的2個單體21間的間隔(與上述不存在范圍對應(yīng)的間隔，長度為N)變大地將被被加工物20放置在工作臺14上。換言之，被加工物20的切割部分相對于切割用鋼絲W的中央位置在撐架方向(X軸方向)的兩側(cè)存在的同時，在整個上述不存在范圍不存在。
這樣，由于第2實(shí)施方式中的“被加工物20的兩端”之間的距離L2比圖4所示的比較例的值L1大，所以，第2實(shí)施方式中的短側(cè)長度R4也與第1實(shí)施方式一樣，比圖4所示的比較例的短側(cè)長度R1小。
此外，在第2實(shí)施方式中，與上述不存在范圍對應(yīng)的間隔的長度N變得足夠大，下面(2)式的關(guān)系成立。因此，第2實(shí)施方式中的短側(cè)長度R4比圖4所示的比較例中的短側(cè)長度R1小很多。
N/L2≥0.08 (2)因此，在第2實(shí)施方式中，與圖4所示的比較例相比，最大撓曲量D充分減小。從而，即使在第2實(shí)施方式中，與圖4所示的比較例相比較，也能夠使被加工物20的切割面變成更加良好的平坦面。
(第3實(shí)施方式)其次，對本發(fā)明的第3實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法進(jìn)行說明。第3實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法與第1實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法的不同點(diǎn)在于，被加工物20的總切割長度呈根據(jù)進(jìn)入深度而變化的形狀，以及，將被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)傾斜放置在工作臺14上。
圖7是表示構(gòu)成第3實(shí)施方式中所使用的被加工物20的相同形狀的多個(本例中為9個)單體21的1個的立體圖。如從圖7所理解的那樣，在該單體21(被加工物20)中，總切割長度根據(jù)進(jìn)入深度(Z軸方向的位置)發(fā)生變化。
該單體21之后利用鋼絲鋸裝置沿著圖7中所示的虛線切割線被切割，成為圖8所示的壓電/電致伸縮器件30。圖7表示從1個單體21中截取5個壓電/電致伸縮器件30的情況的例子。以下附帶說明壓電/電致伸縮器件30。
圖8所示的壓電/電致伸縮器件30具備長方體的固定部31；從固定部31豎立設(shè)置地支撐在固定部31上且相互面對的一對薄板部32、32；在薄板部32、32的前端附近的各內(nèi)側(cè)設(shè)置的保持部(可動部)33、33；至少在薄板部32、32的各外側(cè)的平面上形成的層狀電極和壓電/電致伸縮層交互積層的壓電/電致伸縮元件34、34。例如，在特開2001-320103中公布了其概略結(jié)構(gòu)。
壓電/電致伸縮器件30例如通過用粘接劑使對象物(無圖示)粘接在一對保持部件33、33之間來保持該對象物，利用壓電/電致伸縮元件34、34產(chǎn)生的力使薄板部32、32變形，由此使保持部件33、33變位控制對象物的位置并作為所得到的傳動裝置來使用。該對象物為磁頭、光學(xué)頭或作為傳感器等的感度調(diào)整用裝置等。
圖7所示的單體21之中與圖8所示的由固定部31、薄板部32、32以及保持部33、33構(gòu)成的部分(這些也總稱為“基體部”)相對應(yīng)的部分，例如，由通過燒成陶瓷印制電路基板的積層體而一體化的陶瓷積層體構(gòu)成。另外，圖7所示的單體21之中與圖8所示的壓電/電致伸縮器件34、34相對應(yīng)的部分，例如，用膜成形方法(例如絲網(wǎng)印刷法)一體形成與上述基體部相對應(yīng)的部分。
這樣，當(dāng)被加工物20的總切割長度根據(jù)進(jìn)入深度變化時，切割中的加工負(fù)荷也根據(jù)總切割長度的變化而變化，因此切割中的切割用鋼絲W的最大撓曲量D也發(fā)生變化。從而減小切割中的總切割長度的變化程度(例如速度變化等)為宜。
以下，作為用于說明本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的第3實(shí)施方式的效果的準(zhǔn)備，首先，參照圖9所示的比較例繼續(xù)說明。在該比較例中，圖7所示的9個單體21的每一個，其長度方向沿著Y軸方向相互平行，且在X軸方向具有一定間隔地配置在工件夾盤16上。該比較例中使用了長方體狀的工件夾盤16。
這樣，用于放置由9個單體構(gòu)成的被加工物20的放置面(即，工件夾盤16的上面)，相對于撐架方向(X軸方向)不傾斜(平行于X-Y平面)。即，被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)也不傾斜。另外，圖9所示的值R5、L3、R6為分別對應(yīng)于圖5所示的值R2、L1、R3的值，該比較例也與第1實(shí)施方式一樣，與上述(1)式對應(yīng)的“R6/(M-L3)≤0.4的關(guān)系成立”。
圖10是表示在使用上述的鋼絲鋸裝置將圖9所示的比較例那樣配置的被加工物20切割的情況下，(對被加工物20)切割用鋼絲的兩端位置(Z軸方向的位置)和最大撓曲量D的關(guān)系的曲線圖。
如圖10所示，在該情況下，切割用鋼絲W的兩端位置從對應(yīng)于被加工物20的切割開始前的范圍移動到圖8的對應(yīng)于“固定部31以及壓電/電致伸縮元件34、34”的范圍B之后，最大撓曲量D從“0”急劇增大。然后，隨著切割用鋼絲W的兩端位置移動到對應(yīng)于圖8的“薄板部32、32以及壓電/電致伸縮元件34、34”的范圍C、對應(yīng)于圖8的“僅薄板部32、32”的范圍D、對應(yīng)于被加工物20的切割結(jié)束的范圍E，最大撓曲量D以階梯狀減小。
換言之，切割用鋼絲W的兩端位置在從范圍A切換到范圍B、從范圍B切換到范圍C、從范圍C切換到范圍D、從范圍D切換到范圍E的每個過程中，最大撓曲量D急劇變化。這是由于在上述的每個過程中，被加工物20的總切割長度(因此加工負(fù)荷)急劇變化。
與此相對，圖11所示的本發(fā)明的鋼絲加工方法的第3實(shí)施方式，相對圖9所示的比較例，僅工件夾盤16的上面(被加工物20的放置面)相對于撐架方向(X軸方向)越向X軸正方向移動越在Z軸方向上移動地傾斜這一點(diǎn)不同。
即，第3實(shí)施方式中的工件夾盤16呈使圖9所示的比較例中的工件夾盤16的上面繞Y軸僅轉(zhuǎn)動規(guī)定角度所得到的形狀。另外，圖11所示的值R5’、L3’、R6’由于分別與圖9所示的比較例的值R6、L3、R6大致相等，所以，在該第3實(shí)施方式中，也與第1實(shí)施方式相同，與上述(1)對應(yīng)的“R6’/(M-L3’)≤0.4的關(guān)系成立。
這樣，如果將被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)傾斜地放置在工作臺14上，則能夠減小切割中的被加工物20的總切割長度的變化程度(例如速度變化等)。以下對這一點(diǎn)進(jìn)行說明。
圖12是表示在使用上述鋼絲鋸裝置將圖11所示的第3實(shí)施方式那樣配置的被加工物20切割的情況下，切割用鋼絲W的兩端位置和最大撓曲量D的關(guān)系的曲線圖。圖12中的范圍A～E分別與圖10中的范圍A～E相對應(yīng)。
如圖12所示，該情況與圖10所示的情況相比較，切割用鋼絲W的兩端位置從范圍A切換到范圍B、從范圍B切換到范圍C、從范圍C切換到范圍D、從范圍D切換到范圍E的每個過程中的最大撓曲量D的變化斜度(變化速度)減小。這是由于在上述的每個過程中的被加工物20的總切割長度(因此加工負(fù)荷)的變化速度與圖9所示的比較例相比較而變小。
這樣，在實(shí)施方式3與圖9所示的比較例相比，能夠減小總切割長度的變化引起的切割中的最大撓曲量D的變化程度。即，根據(jù)第3實(shí)施方式，與圖9所示的比較例相比較，被加工物20的切割面能夠成為更加良好的平坦面。其結(jié)果，如上所述，能夠抑制來自被加工物20被切割后所得到的圖8所示壓電/電致伸縮器件30的壓電/電致伸縮元件34、34的側(cè)斷面的脫粒。
(第4實(shí)施方式)其次，對本發(fā)明的第4實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法進(jìn)行說明。第4實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法與第3實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法的不同點(diǎn)在于，如圖13所示，將構(gòu)成第3實(shí)施方式的被加工物20的9個單體21(參照圖7)分成各自包含3個單體21的三個單體組，各自的單體組的放置面相對于撐架方向獨(dú)立傾斜地將被加工物20放置在工作臺14上。
具體地說，如圖13所示，在第4實(shí)施方式中，分別對上述單體組準(zhǔn)備工件夾盤16，使各工件夾盤16的上面(被加工物20的放置面)相對于撐架方向(X軸方向)越向X軸方向移動越在Z軸方向移動似地傾斜。另外，圖13所示的R7、L4、R8為分別與圖11所示的值R5’、L3’、R6’相對應(yīng)的值，在該第4實(shí)施方式中，也與第1實(shí)施方式相同，與上述(1)對應(yīng)的“R8/(M-L4)≤0.4的關(guān)系成立。
在上述的第3實(shí)施方式中，由于9個單體21作為一體操作，所以如圖11所示的那樣，如果使9個單體21構(gòu)成的被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)傾斜，則被加工物20的Z軸方向的最高點(diǎn)(Z軸方向的座標(biāo)值為最大的點(diǎn))與最低點(diǎn)(Z軸方向的座標(biāo)值為最小的點(diǎn))的Z軸方向的距離Z2(參照圖11)，與使被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)不傾斜的、圖9所示的比較例的情況的值Z1(參照圖9)相比較，變得相當(dāng)大。
其結(jié)果，從被加工物20的切割開始至結(jié)束所需要的工作臺14的上升距離變大。這意味著，在第3實(shí)施方式中，與圖9所示的比較例相比較，鋼絲鋸的加工時間變得相當(dāng)長。
對此，在第4實(shí)施方式中，由于將9個單體21分成三個單體組操作，所以被加工物20的Z軸方向的最高點(diǎn)與最低點(diǎn)在Z軸方向的距離Z3(參照圖13)，與圖9所示的比較例的情況的值Z1(參照圖9)相比較變大，但是與圖11所示的第3實(shí)施方式的情況的值Z2(參照圖11)相比較變小。
因此，在第4實(shí)施方式中，與第3實(shí)施方式相比較，能夠抑制使被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)傾斜引起的鋼絲鋸的加工時間的增大。
(第5實(shí)施方式)其次，對本發(fā)明的第5實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法進(jìn)行說明。第5實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法與第2實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法的不同點(diǎn)在于，如圖14所示，沿X軸方向配置作為加工物20的多個單體21。
具體地說，如圖14所示，在第5實(shí)施方式中，被加工物20由具有實(shí)心的相同的長方體形狀的31個單體21構(gòu)成。在用33個間距表示“被加工物20的兩端”之間的距離L2′的情況下，31個單體21分別相互平行地配置在33個間距之中圖14所示的特定的31個各間距上。
這樣，“被加工物20的兩端”之間的距離L2′(＝33間距)，比在X軸方向連續(xù)的31個各間距上分別配置31個單體21的情況(以下稱“密集配置的場合”)的“被加工物20的兩端”之間的距離(＝31間距)更大。因此，第5實(shí)施方式的上述短側(cè)長度比上述密集配置的場合的短側(cè)長度更小。
此外，當(dāng)X軸方向的某范圍內(nèi)的被加工物20的切割部分的“密集度”用“(存在單體21的間距數(shù))/(某范圍內(nèi)的間距總數(shù))”來定義時，則在第5實(shí)施方式中，與包含切割用鋼絲W的中央位置的3個間距相對應(yīng)的范圍(低密集度范圍)的“密集度”為“1/333％”，相對于低密集度范圍，分別與X軸方向兩側(cè)的各15個間距相對應(yīng)的范圍(高密集度范圍)的“密集度”為“15/15＝100％”。即，低密集度范圍的“密集度”為高密集度范圍的“密集度”的0.5或其以下。
再有，在第5實(shí)施方式中，上述低密集度范圍的X軸方向的長度N’(＝3個間距)變得足夠大，在與“被加工物20的兩端”之間的距離L2’(＝33個間距)之間，下面(3)式的關(guān)系成立。因此，第5實(shí)施方式的短側(cè)長度比上述密集配置的場合的短側(cè)長度小得多。
N’/L2’≥0.08(3)因此，即使在第5實(shí)施方式中，與上述密集配置的場合相比較，最大撓曲量D也很小。因此，即使通過第5實(shí)施方式，與上述密集配置的場合相比較，也能夠使被加工物20的切割面成為更加良好的平坦面。
如以上所說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明的鋼絲鋸加工方法的各實(shí)施方式，能夠減小切割中的切割用鋼絲W的最大撓曲量的變化程度(例如變化量、變化速度等)。能夠使被加工物20的切割面成為良好的平坦面。
另外，本發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施方式，能夠在本發(fā)明的范圍內(nèi)采用種種變形例。例如，上述各實(shí)施方式雖然為9根切割用鋼絲W撐架在同一平面內(nèi)的鋼絲鋸裝置，但切割用鋼絲W的根數(shù)及其間隔并不特別限定。
還有，在上述各實(shí)施方式中，雖然使工作臺14向上方移動，但也可以固定工作臺14(因此，被加工物21)而使切割用鋼絲W向下方移動來切割被加工物20。即，適用于上述各實(shí)施方式的鋼絲鋸加工方法的鋼絲鋸裝置也可以采用以下結(jié)構(gòu)，即，通過使放置有被加工物20的工作臺14和多根鋼絲W的至少一方向按壓方向(Z軸方向)相對移動，將被加工物20按壓在多根切割用鋼絲W上而切割。
還有，在上述實(shí)施方式中，使用了由多個單體21構(gòu)成的被加工物20，但在上述第1、第3實(shí)施方式中也可以使用1個單體構(gòu)成的被加工物20。
還有，在上述第3實(shí)施方式中，為了將被加工物20相對于撐架方向(X軸方向)傾斜放置在工作臺14上，介于工作臺14和被加工物20之間而安裝的工件夾盤16的上面相對于撐架方向(X軸方向)傾斜，但也可以在將被加工物20直接放置在工作臺14上面的情況下使工作臺14傾斜。作為具備繞工作臺的Y軸轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的鋼絲鋸裝置，例如可舉出タカトリ(株式會社)制的“MWS-45SN”。
還有，在上述第1、第2實(shí)施方式中，作為用于放置被加工物20的工件夾盤16，使用了長方體狀的一個單體，但也可以像圖15所示的那樣，使用在工作臺14上面放置的襯墊17和在襯墊17上面放置的金屬板19構(gòu)成的工件夾盤16。該襯墊17由具有實(shí)心的相同的長方體形狀的多個(本例中為3個)單體構(gòu)成。多個單體的每一個其長度方向沿著Y軸方向相互平行且在X軸方向具有一定間隔地配置在工作臺14上。該金屬板19由一個長方體狀單體構(gòu)成。
再有，在上述第1、第2實(shí)施方式中，作為工件夾盤16，也可以像圖16所示的那樣，使用在工作臺14上面放置的襯墊17、在襯墊17上面放置的襯墊18和在襯墊18上面放置的金屬板19構(gòu)成的工件夾盤16。該襯墊17由具有實(shí)心的相同的長方體形狀的多個(本例中為3個)單體構(gòu)成，多個單體的每一個其長度方向沿著X軸方向相互平行且在Y軸方向具有一定間隔地配置在工作臺14上。該襯墊18由具有實(shí)心的相同的長方體形狀的多個(本例中為3個)單體構(gòu)成，多個單體的每一個其長度方向沿著Y軸方向相互平行且在X軸方向具有一定間隔地配置在襯墊17上。該金屬板19由一個長方體狀的單體構(gòu)成。
此外，在上述第4實(shí)施方式中，作為一個單體組的工件夾盤16，使用了上面傾斜的一個單體，但作為一個單體組的工件夾盤16，也可以像圖17所示的那樣，使用在工作臺14上面放置的上面傾斜的襯墊17、在襯墊17上面放置的襯墊18和在襯墊18上面放置的金屬板19構(gòu)成的工件夾盤16。該襯墊17由一個單體構(gòu)成，該襯墊18由具有實(shí)心的相同的長方體形狀的多個(本例中為3個)單體構(gòu)成，多個單體的每一個其長度方向沿著Y軸方向相互平行且在X軸方向具有一定間隔地配置在襯墊17上。該金屬板19由一個長方體狀單體構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種鋼絲鋸加工方法，適用于鋼絲鋸裝置，該鋼絲鋸裝置具備各自的旋轉(zhuǎn)軸相互平行地配置的圓筒狀的兩個滾輪；卷繞在上述兩個滾輪上而撐架在該兩個滾輪之間的切割用鋼絲；使上述切割用鋼絲沿其撐架方向行走的行走機(jī)構(gòu)；放置被加工物的工作臺；以及，通過使放置有上述被加工物的工作臺和上述切割用鋼絲的至少一方向規(guī)定的按壓方向相對移動而將上述被加工物按壓在該切割用鋼絲上的移動機(jī)構(gòu)，通過將上述被加工物放置在上述工作臺上，利用上述移動機(jī)構(gòu)將上述被加工物按壓在進(jìn)行上述行走的切割用鋼絲上而將該被加工物切割，其特征在于以如下方式將該被加工物放置在上述工作臺上，即上述被加工物中利用上述切割用鋼絲切割的部分，即切割部分在上述撐架方向的兩端之間的中央位置偏離該切割用鋼絲在上述撐架方向的中央位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋼絲鋸加工方法，其特征在于以如下方式將上述被加工物放置在上述工作臺上，即從上述切割用鋼絲整體除去與上述被加工物的兩端之間相對應(yīng)的部分所得到的該切割用鋼絲的兩個部分在上述撐架方向的長度(R2和R3)之中較短一方(R3)與從撐架在上述兩個滾輪之間的上述切割用鋼絲的兩端之間的距離(M)減去上述切割部分在兩端之間的距離(L1)的值(M-L1)的比值(R3/(M-L1))為0.4或其以下。
3.一種鋼絲鋸加工方法，適用于鋼絲鋸裝置，該鋼絲鋸裝置具備各自的旋轉(zhuǎn)軸相互平行地配置的圓筒狀的兩個滾輪；卷繞在上述兩個滾輪上而撐架在該兩個滾輪之間的切割用鋼絲；使上述切割用鋼絲沿其撐架方向行走的行走機(jī)構(gòu)；放置被加工物的工作臺；以及，通過使放置有上述被加工物的工作臺和上述切割用鋼絲的至少一方向規(guī)定的按壓方向相對移動而將上述被加工物按壓在該切割用鋼絲上的移動機(jī)構(gòu)，通過將上述被加工物放置在上述工作臺上，利用上述移動機(jī)構(gòu)將上述被加工物按壓在進(jìn)行上述行走的切割用鋼絲上而將該被加工物切割，其特征在于將上述被加工物以如下方式放置在上述工作臺上，即上述被加工物的利用上述切割用鋼絲切割的部分的切割部分，相對于該切割用鋼絲鋸的上述撐架方向的中央位置，在該撐架方向兩側(cè)存在的同時，在含有該切割用鋼絲的該撐架方向的中央位置的該撐架方向的規(guī)定的不存在范圍內(nèi)不存在，而且，上述不存在范圍在撐架方向的長度(N)相對上述切割部分在上述撐架方向的兩端間的距離(L2)的比值(N/L2)為0.08或其以上。
4.一種鋼絲鋸加工方法，適用于鋼絲鋸裝置，該鋼絲鋸裝置具備各自的旋轉(zhuǎn)軸相互平行地配置的圓筒狀的兩個滾輪；卷繞在上述兩個滾輪上而撐架在該兩個滾輪之間的切割用鋼絲；使上述切割用鋼絲沿其撐架方向行走的行走機(jī)構(gòu)；放置被加工物的工作臺；以及，通過使放置有上述被加工物的工作臺和上述切割用鋼絲的至少一方向規(guī)定的按壓方向相對移動而將上述被加工物按壓在該切割用鋼絲上的移動機(jī)構(gòu)，通過將上述被加工物放置在工作臺上，利用上述移動機(jī)構(gòu)將上述被加工物按壓在進(jìn)行上述行走的切割用鋼絲上而將該被加工物切割，其特征在于上述被加工物由多個單體構(gòu)成，將上述被加工物以如下方式放置在上述工作臺上，即由上述被加工物的上述切割用鋼絲切割的部分，即切割部分中含有該切割用鋼絲在上述撐架方向的中央位置的規(guī)定的低密集度范圍所含的部分在該撐架方向的密集度，對于上述切割部分中上述低密集度范圍所含的部分，為存在于上述撐架方向兩側(cè)的部分在該撐架方向的密集度的0.5或其以下，而且，上述低密集度范圍在上述撐架方向的長度(N’)與上述切割部分在上述撐架方向的兩端之間的距離(L2’)的比例(N’/L2’)為0.08或其以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任何一項(xiàng)所述的鋼絲鋸加工方法，其特征在于上述被加工物具有由該被加工物的上述切割用鋼絲切割的部分在上述撐架方向的長度總合隨該切割用鋼絲在上述按壓方向向該被加工物的進(jìn)入深度而變化的形狀，以上述工作臺上的上述被加工物的放置面相對于上述撐架方向傾斜的狀態(tài)將該被加工物放置在上述工作臺上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鋼絲鋸加工方法，其特征在于上述被加工物由多個單體構(gòu)成，上述被加工物分成各自含有至少一個上述單體的多個單體組，以上述工作臺上的每個單體組的放置面相對于上述撐架方向獨(dú)立傾斜的方式將上述該被加工物放置在上述工作臺上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任何一項(xiàng)所述的鋼絲鋸加工方法，其特征在于上述被加工物在用上述切割用鋼絲切割后成為壓電/電致伸縮器件，該壓電/電致伸縮器件具備薄板部；支撐上述薄板部的固定部；以及，至少形成于上述薄板部的平面上的同時，多個電極和多個壓電/電致伸縮層交互積層，并具有在由該多個電極的各側(cè)端面和該多個壓電/電致伸縮層的各側(cè)端面形成的外部露出的側(cè)端面的壓電/電致伸縮元件，至少在上述壓電/電致伸縮層的外部露出的側(cè)端面構(gòu)成由上述切割用鋼絲切割而形成的壓電/電致伸縮器件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種鋼絲鋸加工方法，其能夠減小切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度并得到被加工物良好、平坦的切割面。應(yīng)用了該方法的鋼絲鋸裝置具備撐架在一對滾輪(11、12)之間并使其沿?fù)渭芊较蛐凶叩亩喔懈钣娩摻z(W)和放置被加工物(20)的工作臺(14)，通過使工作臺(14)上升將被加工物(20)按壓在行走的切割用鋼絲(W)上而將被加工物(20)切割。在該鋼絲鋸加工方法中，以被加工物(20)的中央位置在撐架方向偏離切割用鋼絲(W)的中央位置的方式將被加工物(20)放置在工作臺(14)上。這樣，切割用鋼絲(W)的最大撓曲量減小，其結(jié)果，切割中的切割用鋼絲的最大撓曲量的變化程度也減小。
文檔編號B28D1/02GK1919566SQ20061010139
公開日2007年2月28日 申請日期2006年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月24日
發(fā)明者野口信愛, 八田哲也, 吉田信也, 北村和正 申請人:日本礙子株式會社