專利名稱：燒成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種燒成裝置，該燒成裝置例如用于燒成液晶顯示器、等離子顯示器等中所使用的像玻璃板那樣的基板。
背景技術(shù)：
作為該種燒成裝置眾所周知的是，其被稱為輥底式連續(xù)燒成裝置，包括燒成爐及在燒成爐內(nèi)沿著縱向連續(xù)排列的多個(gè)陶瓷制傳送輥，在該傳送輥上通過裝定玻璃載著基板，從而在該狀態(tài)下對(duì)基板進(jìn)行熱處理(例如，參照日本特開2003-262473號(hào)公報(bào))。
在以往的裝置中存在下述問題。第一，由于需要使用大熱容量的裝定玻璃，所以為使裝定玻璃升溫要耗費(fèi)掉很多電力。第二，由于裝置的橫向?qū)挾瘸叽缡艿窖b定玻璃的橫向?qū)挾瘸叽绲南拗?，所以縮短裝置的橫向?qū)挾瘸叽缡怯薪缦薜?。第三，由于零件必須使用價(jià)格貴的陶瓷輥，所以難以降低裝置成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種燒成裝置，該燒成裝置可完全解決上述問題，可降低電力消耗、縮短裝置的橫向?qū)挾瘸叽?、以及?shí)現(xiàn)裝置成本的降低。
本發(fā)明的燒成裝置包括燒成爐；加熱器，該加熱器分別安裝在燒成爐內(nèi)兩側(cè)面上；傳送裝置，該傳送裝置具有2條相互隔開間隔沿著爐縱向延伸的傳送路線，且在各傳送路線上以與傳送方向平行且豎立著的狀態(tài)傳送基板；供氣管及排氣管，該供氣管及排氣管在兩傳送路線之間延伸。
在本發(fā)明的燒成裝置中，由于無需使用像裝定玻璃那樣的構(gòu)件，從而可降低電力消耗。此外，因?yàn)槭且载Q立狀態(tài)傳送基板，從而可縮小裝置的橫向?qū)挾瘸叽?。而且無需使用陶瓷輥那樣的構(gòu)件，所以可實(shí)現(xiàn)裝置成本的降低。并且，可從其外側(cè)由加熱器對(duì)傳送中的基板進(jìn)行加熱，從其內(nèi)側(cè)由供氣管及排氣管進(jìn)行排塵換氣?；謇鐬榈入x子顯示器用面板的場(chǎng)合，可使附著在它上的粘合劑汽化且可對(duì)汽化后的氣體進(jìn)行換氣。由于在供氣管及排氣管的兩側(cè)上形成有2條基板傳送路線，所以除可以高效率地進(jìn)行排氣換氣之外，還可以以2列高效率地傳送基板。
而且，供氣管由供氣主管及從供氣主管分支的多條供氣支管構(gòu)成，在供氣支管的縱向方向上形成有多個(gè)供氣口；排氣管由排氣主管及從各排氣主管分支的多條排氣支管構(gòu)成，在排氣支管的縱向上形成有多個(gè)排氣口，由此可從數(shù)處進(jìn)行供氣及排氣。
此外，若供氣主管及排氣主管在基板的傳送方向上隔開規(guī)定距離地就向上下方向延伸，且供氣支管及排氣支管在上下方向上相鄰且向傳送方向或向與其相反的方向延伸，則可使供氣支管及排氣支管緊湊地排列。
此外，若在燒成爐內(nèi)兩側(cè)面上設(shè)置有內(nèi)方突出格柵狀熱阻擋層，加熱器是由分別配置在相當(dāng)于熱阻擋層所形成的格柵孔部分上的且可分別控制溫度的多個(gè)放熱體構(gòu)成，則可提高爐內(nèi)各部分的溫度控制性能，可將爐內(nèi)各部分加熱到所期望的溫度。
此外，若傳送裝置包括承受基板的下緣部的傳送體以及引導(dǎo)基板的上緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置，則可不使使自重作用在基板上地進(jìn)行傳送。
此外，若傳送裝置裝備有懸掛基板的上緣部的吊具、安裝有吊具的傳送鏈以及引導(dǎo)基板的下緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置，則可簡(jiǎn)單地構(gòu)成傳送裝置。
此外，若傳送裝置裝備有傳送鏈、在傳送鏈的上方懸掛基板的上緣部的吊具以及介于傳送鏈和吊具之間的支承體，則無需如引導(dǎo)基板的下緣部的導(dǎo)向裝置那樣的構(gòu)件，可簡(jiǎn)單地構(gòu)成傳送裝置。
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種燒成裝置，該燒成裝置可降低電力消耗、縮小裝置的橫向?qū)挾瘸叽缫约敖档脱b置成本。


圖1是本發(fā)明燒成裝置的燒成爐的說明圖。
圖2是本發(fā)明燒成裝置的預(yù)熱區(qū)域中的垂直縱剖面圖。
圖3是相同燒成裝置的橫剖面圖。
圖4是表示相同燒成裝置的傳送裝置的改動(dòng)的說明圖。
圖5是表示相同傳送裝置的其他變形的說明圖。
圖6是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
圖7是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
圖8是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
圖9是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
圖10是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
圖11是從側(cè)面觀看圖10的說明圖。
圖12是表示相同傳送裝置的又一變形例的說明圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
在以下的說明中，所謂前后是指將傳送基板前進(jìn)的一側(cè)稱為前(圖1的右側(cè))，與其相反的一側(cè)稱為后；所謂左右是指從后方看時(shí)將其左右側(cè)稱為左右。
圖1表示燒成爐11的整體結(jié)構(gòu)。其爐內(nèi)從燒成爐11的進(jìn)口11A直到出口11B劃分為4個(gè)區(qū)域。所謂4個(gè)區(qū)域是指預(yù)熱淬火區(qū)域、燒成區(qū)域、退火區(qū)域及冷卻區(qū)域。對(duì)照?qǐng)D1對(duì)該4個(gè)區(qū)域的溫度分布進(jìn)行表示。
下面，詳細(xì)說明燒完區(qū)域中的結(jié)構(gòu)。
參照?qǐng)D2及圖3可見，燒成裝置包括燒成爐11、加熱燒成爐11內(nèi)的加熱器12以及在燒成爐11內(nèi)以與傳送方向平行且豎立的狀態(tài)傳送基板的傳送裝置13。
燒成爐11是具有長(zhǎng)邊沿上下方向的長(zhǎng)方形橫截面的、在前后方向上延伸的水平方筒狀的結(jié)構(gòu)，其由頂壁21、底壁22及左右側(cè)壁23、24構(gòu)成。這些爐壁21～24由陶瓷纖維成型隔熱材料構(gòu)成。此外，在爐壁21～24內(nèi)面的所需位置處設(shè)置有抑制起塵用的特殊涂層。
燒成爐11內(nèi)形成有沿前后方向連續(xù)排列的多個(gè)區(qū)域Zn(n是整數(shù)，圖示為Z2、Z3及Z4)。并且，在各個(gè)區(qū)域Zn內(nèi)形成有沿上下方向排列多個(gè)、在此為3個(gè)劃分區(qū)D1、D2及D3。
在燒成爐11內(nèi)左右兩側(cè)面上分別設(shè)置有內(nèi)方突出格柵狀熱阻擋層25。該熱阻擋層25的材料與形成燒成爐11的爐壁21～24的隔熱材料相同。熱阻擋層25所形成的格柵縱線以與相鄰2個(gè)區(qū)域Zn的分界對(duì)應(yīng)的方式進(jìn)行延伸，熱阻擋層25所形成的格柵橫線以與各個(gè)區(qū)域Zn內(nèi)的相鄰2個(gè)劃分區(qū)Dn(n為整數(shù)，圖中為Z2、Z3、Z4)的分界對(duì)應(yīng)的方式進(jìn)行延伸。
加熱器12由多個(gè)放熱體26構(gòu)成，這些放熱體26分別配置在相當(dāng)于熱阻擋層25所形成的格柵孔的部分上。各放熱體26由成形為蛇行狀的電阻金屬線構(gòu)成且以整體方式埋設(shè)在對(duì)應(yīng)的側(cè)壁33、34內(nèi)面中。
在各區(qū)域Zn內(nèi)設(shè)有供氣管31及排氣管32。
供氣管31由垂直狀供氣主管41及從供氣主管41的縱向的3個(gè)地方分支出來的3條水平供氣支管42構(gòu)成。供氣主管41在各區(qū)域Zn的前端部的左右方向央部中貫穿頂壁21而向上下方向延伸。各供氣支管42具有橫截面是倒三角形狀的周壁且其在對(duì)應(yīng)的劃分區(qū)D1、D2、D3的上端附近向后延伸。在周壁的V字狀底部的縱向的多處地方，向下地形成每2個(gè)成一對(duì)的多對(duì)供氣口43。成對(duì)的2個(gè)供氣口43相對(duì)于垂直線具有互相朝向相反方向的45度左右的角度。
排氣管32由垂直狀排氣主管44及從排氣主管44的縱向方向的4個(gè)地方分支出來的4條水平排氣支管45構(gòu)成。排氣主管44在各區(qū)域Zn的后端部的左右方向中央部中貫穿頂壁21而向上下方向延伸。各排氣支管45具有橫截面是正方形的周壁且其向前延伸。4條排氣支管45中的最上面的排氣支管45與頂壁21下面接觸，從上數(shù)第2條和第3條的排氣支管45與對(duì)應(yīng)的供氣支管42的上面接觸，最下面的排氣支管45與底壁22上面接觸。此外，在4條排氣支管45中，在最上面的排氣支管45周壁的平坦?fàn)畹酌嫔舷蛳碌匦纬擅?個(gè)成一對(duì)的多對(duì)排氣口46，但在其他的第2～第4條排氣支管45周壁的平坦?fàn)铐敳可舷蛏系匦纬擅?條成一對(duì)的多對(duì)排氣口46。成對(duì)的每2個(gè)排氣口46相對(duì)于垂直線具有相互保持為朝著相反方向的45度左右的角度。
傳送裝置13裝備有配置在燒成爐11內(nèi)底部附近的沿前后方向延伸的一列傳送輥列51，以及配置在燒成爐11內(nèi)頂部附近的沿前后方向延伸的左右各一對(duì)的導(dǎo)向輥列52。
傳送輥列51由在前后方向上隔開規(guī)定間隔地排列成為1排且沿左右方向延伸的多個(gè)水平傳送輥53構(gòu)成。在最下面的放熱體26的下方，各傳送輥53的兩端部以橫穿過最下面的排氣支管45的上方的方式貫穿兩側(cè)壁23、24而突出到側(cè)方。在傳送輥53外面的、位于燒成爐11內(nèi)的部分上形成有左右一對(duì)環(huán)狀基板承受槽54。兩基板承受槽54夾著供氣管31及排氣管32且位于它們的兩側(cè)。
左右的導(dǎo)向輥列52具有相同的結(jié)構(gòu)，其以兩導(dǎo)向輥之間隔有與兩基板承受槽54相同的間隔的方式進(jìn)行排列。各導(dǎo)向輥列52由在前后及左右方向上隔開規(guī)定間隔地排成2列的多個(gè)垂直導(dǎo)向輥55構(gòu)成。左右的導(dǎo)向輥55隔開比基板P的厚度僅大極微量的間隔地安裝在垂直輥軸56上。輥軸56貫穿到頂壁21上。
2個(gè)基板P的下緣部進(jìn)入到基板承受槽54中，2個(gè)基板P的上緣部由左右的導(dǎo)向輥55夾著的狀態(tài)下，在燒成爐11內(nèi)同時(shí)向前傳送。此時(shí)，通過未做圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，所有的傳送輥53沿圖2中的順時(shí)針方向以相同速度被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。基板P為等離子顯示器用板的場(chǎng)合，在該表面上涂敷著粘合劑等。在使其表面朝向內(nèi)側(cè)的狀態(tài)下傳送基板P。當(dāng)通過預(yù)熱區(qū)域時(shí)，粘合劑等產(chǎn)生汽化，由供氣管31及排氣管32高效率地將其導(dǎo)到外面。
下面，對(duì)傳送裝置13的各種變形例進(jìn)行說明。在下述說明中，出于方便而在所對(duì)應(yīng)的部分上標(biāo)記相同的符號(hào)加以表示。
在圖4上有表示承受1個(gè)基板P的下緣部的傳送輥61、以及引導(dǎo)同一基板P的上緣的導(dǎo)向輥62。在傳送輥61外表面上形成有1個(gè)環(huán)狀基板承受槽63。在導(dǎo)向輥62外表面上形成有1個(gè)環(huán)狀基板推壓槽64。
圖5是表示同時(shí)傳送2個(gè)基板P的例子。在與圖4中所示的傳送輥61相同的傳送輥61的外表面上形成有2個(gè)基板承受槽63。同樣，在導(dǎo)向輥62外面上形成有2個(gè)環(huán)狀基板推壓槽64。
在圖6中，通過傳送體71承受基板P的下緣部。傳送體71是陶瓷傳送帶的鏈子或網(wǎng)帶傳送帶的帶。在傳送體71上安裝有呈門形棒狀的支承配件72的下端部。在支承配件72的頂部上形成有使基板P的下邊緣部進(jìn)入的向上基板承受槽口73。通過左右一對(duì)的導(dǎo)向輥74將基板P的上緣部夾住。
在圖7中，在與圖6中所示的支承配件72相同的支承配件72上形成有左右一對(duì)的基板承受槽73。以左右兩對(duì)的導(dǎo)向輥74中成對(duì)的導(dǎo)向輥對(duì)夾住2個(gè)基板P的上緣部。
在圖8中沿?zé)蔂t11的頂部移動(dòng)地配置傳送體71且在該傳送體71上安裝吊具81，通過吊具81吊持基板P的上緣部的方式。使基板P的下緣部夾在左右的導(dǎo)向輥74之間而由它們引導(dǎo)。圖9是使圖8的基本結(jié)構(gòu)2列化后的結(jié)構(gòu)。在傳送體71上安裝有2個(gè)吊具81。由左右二對(duì)的導(dǎo)向輥74成對(duì)的導(dǎo)向輥分別夾住2個(gè)基板P的下緣部。
參照?qǐng)D10及圖11可見，在傳送體71上安裝有基板支承體91。該基板支承體91由前后一對(duì)的橫截面コ字形狀垂直縱構(gòu)件92、橫截面コ字形狀水平橫構(gòu)件93及吊具81構(gòu)成，其中，該前后一對(duì)的橫截面コ字形狀垂直縱構(gòu)件92具有比豎立狀態(tài)的基板P前后方向的長(zhǎng)度大的間隔，以使開口彼此間相對(duì)的方式豎立在傳送體71上且具有超過同基板P上下方向的長(zhǎng)度的高度；橫截面コ字形狀水平橫構(gòu)件93使其開口向下且將兩縱向材料92的上端彼此連接起來；吊具81從橫構(gòu)件93上吊下并吊掛基板P的上緣部。
圖12是表示通過圖10及11中所示的基板支承體91，可同時(shí)傳送2塊基板P的傳送裝置。在基板支承體91的橫構(gòu)件93上左右并列地設(shè)置有2個(gè)吊具81。
權(quán)利要求
1.一種燒成裝置，該燒成裝置包括燒成爐；加熱器，該加熱器分別安裝在燒成爐內(nèi)兩側(cè)面上；傳送裝置，該傳送裝置具有2條相互隔開間隔地沿著爐縱向延伸的傳送路線，且在該各傳送路線上以與傳送方向平行且豎立著的狀態(tài)下傳送基板；供氣管及排氣管，該供氣管及排氣管在兩傳送路線之間延伸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒成裝置，其特征在于，供氣管由供氣主管及從供氣主管分支的多條供氣支管構(gòu)成，在供氣支管的縱向上形成有多個(gè)供氣口；排氣管由排氣主管及從各排氣主管分支的多條排氣支管構(gòu)成，在排氣支管的縱向上形成有多個(gè)排氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燒成裝置，其特征在于，供氣主管及排氣主管在基板傳送方向上間隔規(guī)定的距離向上下方向延伸，供氣支管及排氣支管在上下方向上鄰接且在傳送方向上或在與該傳送方向相反的方向上延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的燒成裝置，其特征在于，在燒成爐內(nèi)兩側(cè)面上設(shè)置有內(nèi)方突出格柵狀熱阻擋層，加熱器是由分別配置在相當(dāng)于熱阻擋層所形成的格柵孔的部分上且可分別地控制溫度的多個(gè)放熱體構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括承受基板的下緣部的傳送體以及引導(dǎo)基板的上緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括承受基板的下緣部的傳送體以及引導(dǎo)基板的上緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括懸掛基板的上緣部的吊具、安裝有吊具的傳送鏈、以及引導(dǎo)基板的下緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括懸掛基板的上緣部的吊具、安裝有吊具的傳送鏈以及引導(dǎo)基板的下緣部的移動(dòng)的導(dǎo)向裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括傳送鏈、在傳送鏈的上方懸掛基板的上緣部的吊具以及介于傳送鏈和吊具之間的支承體。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的燒成裝置，其特征在于，傳送裝置包括傳送鏈、在傳送鏈的上方懸掛基板的上緣部的吊具、以及介于傳送鏈和吊具之間的支承體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種燒成裝置，該燒成裝置可降低電力消耗、縮短裝置的橫向?qū)挾瘸叽纭⒁约皩?shí)現(xiàn)降低裝置成本。本發(fā)明的燒成裝置裝備有燒成爐(11)；分別安裝在燒成爐(11)內(nèi)兩側(cè)面上的加熱器(12)；傳送裝置(13)，該傳送裝置(13)具有2條相互隔著間隔的沿著爐縱向方向延伸的傳送路線，且在該各傳送路線上在與傳送方向平行且豎立狀態(tài)下傳送基板(P)；在兩傳送路線之間延伸的供氣管(31)及排氣管(32)。
文檔編號(hào)C03B29/00GK1727294SQ20041005467
公開日2006年2月1日 申請(qǐng)日期2004年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月27日
發(fā)明者浦西芳和 申請(qǐng)人:光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社