專利名稱：石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造，尤指一種在切割機(jī)上具有縱向及橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)的置物臺，可依該置物臺固定一石英晶圓，再控制其切割的進(jìn)刀量及切削速度，而能達(dá)到自動操作及精確控制的加工特性。
背景技術(shù)：
請參閱圖3所示，習(xí)知石英晶圓切割機(jī)的構(gòu)造，其中主要包括有一機(jī)臺a、帶鋸b及馬達(dá)c等構(gòu)成，而在該機(jī)臺a的工作臺面d上設(shè)有一能沿切削路徑往復(fù)移動的置物臺e；當(dāng)在該習(xí)知構(gòu)造的置物臺e上固定一石英晶圓f欲進(jìn)行切割時，必須以人工方式調(diào)整好欲切割的進(jìn)刀量后，才啟動置物臺e作緩慢前進(jìn)，以達(dá)自動切削的功能與目的。然而，如上述的習(xí)知構(gòu)造使用時，因其中最多僅于切削時能自動前進(jìn)以維持其切削路徑的直線精準(zhǔn)度；至于其它有關(guān)在作進(jìn)刀調(diào)整方面則十分困難，尤其是一般石英晶圓的體積及重量相當(dāng)大，所以其調(diào)整起來更是困難，因而常造成進(jìn)刀量左右傾斜或每次進(jìn)刀量(厚薄)不一的缺失，故而易造成報廢，浪費材料與工時的情況，致影響該產(chǎn)品的市場競爭力，故對之實有再改良的必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明人乃針對上述習(xí)知石英晶圓切割機(jī)的構(gòu)造在實際使用時的缺失，精心研究發(fā)展，并積個人從事該項行業(yè)多年的經(jīng)驗，終創(chuàng)作出一種嶄新的石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造。
本實用新型主要目的在提供一種石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造，系為提升該產(chǎn)品切割加工時的方便性與準(zhǔn)確度，而于工作臺上設(shè)置了具縱向及橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)的復(fù)合式置物臺，以能提升該產(chǎn)品的加工品質(zhì)與經(jīng)濟(jì)效益。
為達(dá)上述的目的，本實用新型采用如下所述的技術(shù)方案石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造，該石英晶圓切割機(jī)系包含由機(jī)臺、帶鋸及馬達(dá)等構(gòu)造組成，該切割機(jī)的工作臺面上設(shè)有一橫(縱)向線性軸承，并于該線性軸承上固定有一座板，在該座板與工作臺面間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動座板作橫(縱)向往復(fù)運動，再于座板之上設(shè)有一縱(橫)向線性軸承，并于該線性軸承上固定有一置物臺，在該置物臺與座板間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動置物臺作縱(橫)向往復(fù)運動，而于該置物臺上面沿其縱(橫)向且設(shè)有二道平行的T型槽與二道平行的導(dǎo)槽，在該置物臺上可由二T型槽架設(shè)有冂型壓制構(gòu)造，及設(shè)置有一垂直于導(dǎo)槽的頂板，該頂板與置物臺間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動頂板沿導(dǎo)槽方向作縱(橫)向往復(fù)運動。
采用上述結(jié)構(gòu)的本實用新型在加工時因各部調(diào)整及運動機(jī)構(gòu)均受導(dǎo)槽或線性軸承的限制，致其運動路線準(zhǔn)確且移動量精度高，而可方便且有效的達(dá)到切割石英晶圓的功效，進(jìn)而可減少物料因加工不當(dāng)?shù)睦速M，及提升產(chǎn)品的經(jīng)濟(jì)效益。
圖2為本實用新型的石英晶圓切割機(jī)置物臺構(gòu)造立體分解圖。
圖3為習(xí)知石英晶圓切割機(jī)整體示意圖。
圖中部件標(biāo)號的說明
10機(jī)臺20帶鋸 30馬達(dá)40座板50置物臺60冂型壓制構(gòu)造70頂板80石英晶圓 11工作臺面12、41線性軸承13、42、53線性驅(qū)動機(jī)構(gòu) 51T型槽52導(dǎo)槽61螺栓 62壓桿63螺母又如上述的冂型壓制構(gòu)造60得由二支螺栓61分別以其頭端置入置物臺50上的T型槽引內(nèi)可移動調(diào)整，再于該二螺栓61上端由上向下套設(shè)一壓桿62，再分別于螺栓61上以螺母63鎖合，據(jù)而可在壓桿62下方具有石英晶圓80時，經(jīng)螺母63鎖緊以達(dá)夾持固定石英晶圓80的目的。另外，該等冂型壓制構(gòu)造60得依石英晶圓80的大小而沿T型槽引方向移動，調(diào)整至最佳的夾持固定狀態(tài)。再者，于前段所述的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)13及42、53等構(gòu)造，在實際實施時以使用一種滾珠螺桿配合伺服馬達(dá)及光學(xué)尺等(以上零件均為習(xí)知構(gòu)造，固于此不再贅述)組成，可得最佳的控制與運動功效，進(jìn)而提升產(chǎn)品的精密度而降低其不良率。
據(jù)上述構(gòu)造使用時，于置物臺上放置一石英晶圓80并使該石英晶圓80抵靠于頂板70后，并可以冂型壓制構(gòu)造60框設(shè)于石英晶圓80之上夾持固定，以便進(jìn)行切割加工；當(dāng)欲開始切割時，則可先由頂板70底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)53推進(jìn)以使石英晶圓80前端突出置物臺50一段距離，并經(jīng)調(diào)緊冂型壓制構(gòu)造60的螺母63以夾持固定好石英晶圓之后，即可由置物臺50底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)42驅(qū)使該置物臺50向前移動至第一刀切割位置后停止，隨即由座板40底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)13驅(qū)使座板40連帶其上的置物板50與石英晶圓80等向高速轉(zhuǎn)動的帶鋸20以等速而緩慢的前進(jìn)，以達(dá)到對石英晶圓進(jìn)行切削的工作，其后每切割好一片即由置物板50底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)42驅(qū)使該置物臺50向前移動一步(即欲切割石英晶圓的厚度)，再由座板40底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)13驅(qū)使石英晶圓80以等速而緩慢移動進(jìn)行切割，而一片片的自動切割石英晶圓，另于切割到接近置物臺50前端時，亦可再放松冂型壓制構(gòu)造60并使頂板70底部所設(shè)的線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)53推進(jìn)以使石英晶圓80前端突出置物板50一段距離，以便重復(fù)進(jìn)行上述的切割工作。
如上述，本實用新型在加工時因各部調(diào)整及運動機(jī)構(gòu)均受導(dǎo)槽或線性軸承的限制，致其運動路線準(zhǔn)確且移動量精度高，而可方便且有效的達(dá)到切割石英晶圓的功效，進(jìn)而可減少物料因加工不當(dāng)?shù)睦速M，及提升產(chǎn)品的經(jīng)濟(jì)效益。
綜上所述，本實用新型的石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造，其確實能達(dá)到方便操作及取得精確加工尺寸的目的，而具方便、實用及降低成本的功效。
權(quán)利要求1.一種石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造，該石英晶圓切割機(jī)系包含由機(jī)臺、帶鋸及馬達(dá)等構(gòu)造組成，其特征在于該切割機(jī)的工作臺面上設(shè)有一橫(縱)向線性軸承，并于該線性軸承上固定有一座板，在該座板與工作臺面間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動座板作橫(縱)向往復(fù)運動，再于座板之上設(shè)有一縱(橫)向線性軸承，并于該線性軸承上固定有一置物臺，在該置物臺與座板間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動置物臺作縱(橫)向往復(fù)運動，而于該置物臺上面沿其縱(橫)向且設(shè)有二道平行的T型槽與二道平行的導(dǎo)槽，在該置物臺上可由二T型槽架設(shè)有冂型壓制構(gòu)造，及設(shè)置有一垂直于導(dǎo)槽的頂板，該頂板與置物臺間設(shè)有一線性驅(qū)動機(jī)構(gòu)以帶動頂板沿導(dǎo)槽方向作縱(橫)向往復(fù)運動。
專利摘要一種石英晶圓切割機(jī)的置物臺改良構(gòu)造,其主要在一石英晶圓切割機(jī)的工作臺上設(shè)有一復(fù)合式置物臺,該置物臺在固定好待加工的石英晶圓后,得經(jīng)伺服馬達(dá)的控制而自動進(jìn)行切割及進(jìn)刀量的加工動作。
文檔編號B28D7/04GK2510267SQ0126619
公開日2002年9月11日 申請日期2001年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月12日
發(fā)明者楊嘉豐 申請人:熔晶有限公司