一種超聲波補液系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種超聲波補液系統(tǒng)，其包括設(shè)于反應(yīng)槽上方的補液罐，聯(lián)通該補液罐底部的帶有進液控制閥的輸液管道。所述補液罐的底部還聯(lián)通一補液管，該補液管中并接有粗補閥和精補閥，所述補液罐的上部設(shè)有一用于液面檢測的超聲波液位儀，該超聲波液位儀與控制中心連接。本實用新型采用超聲波液位儀用作距離傳感器，檢測清洗槽內(nèi)補液的液面高度來控制補液量，由于超聲波傳感器本身精度非常高，配合大小雙閥門補液管路，可大幅提升補液量的準確性。整套補液系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，維護方便。
【專利說明】一種超聲波補液系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及太陽能清洗設(shè)備和濕法處理設(shè)備，尤其涉及一種應(yīng)用于光伏行業(yè)中的多晶硅片清洗槽的補液系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在鏈式太陽能清洗設(shè)備和濕法處理設(shè)備的硅片生產(chǎn)過程中，需要給清洗設(shè)備中的反應(yīng)槽定期添加一定量的藥液，比如每生產(chǎn)50硅片需添加10ml的藥液。目前一般都是采用一個高位儲液罐，補液從該高位儲液罐流出，然后采用流量計計量、或者計算時間計量、或類似的方式進行計量補液。這些補液方式都具有共同的一些缺點:易受到管路中計量儀器本身的精度、液體溫度、管阻(管路阻塞或長短不一)等各方面因素的影響，從而制約了整個補液系統(tǒng)的精度。
[0003]因此，減少計量儀器本身的精度、液體溫度、管阻等因素對反應(yīng)槽內(nèi)補液精度的影響，是業(yè)內(nèi)亟待解決的技術(shù)問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型為了解決上述技術(shù)問題，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、維護方便和可大幅提升硅片清洗槽補液量準確性的超聲波補液系統(tǒng)。
[0005]本實用新型提出的一種超聲波補液系統(tǒng)，其包括設(shè)于反應(yīng)槽上方的補液罐，聯(lián)通該補液罐底部的帶有進液控制閥的輸液管道。所述補液罐的底部還聯(lián)通一補液管，該補液管中并接有粗補閥和精補閥，所述補液罐的上部設(shè)有一用于液面檢測的超聲波液位儀，該超聲波液位儀與控制中心連接。
[0006]優(yōu)選的，所述補液罐內(nèi)的上部還設(shè)有一保護檢測液位。
[0007]優(yōu)選的，所述輸液管道上還設(shè)有第一手動閥，所述的補液管上還設(shè)有第二手動閥。
[0008]本實用新型將超聲波液位儀用作距離傳感器，檢測清洗槽內(nèi)補液的液面高度來控制補液量，由于超聲波傳感器本身精度非常高，配合大小雙閥門補液管路，可大幅提升補液量的準確性。整套補液系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，維護方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型較佳實施例超聲波補液系統(tǒng)的示意圖。

【具體實施方式】
[0010]如圖1所示，本實用新型較佳實施例提供的一種超聲波補液系統(tǒng)，其包括設(shè)于反應(yīng)槽9上方的補液罐1，聯(lián)通該補液罐底部的帶有進液控制閥4的輸液管道2。補液罐I的底部還聯(lián)通一向下方反應(yīng)槽9中輸送藥液的補液管8，該補液管中并聯(lián)連接有粗補閥6和精補閥7。補液罐I的頂部設(shè)有一用于補液罐內(nèi)液面檢測的超聲波液位儀10,該超聲波液位儀與控制中心連接。本實施例中，補液罐I內(nèi)的上部還設(shè)有一保護檢測液位11。輸液管道2上還設(shè)有第一手動閥3，補液管8上還設(shè)有第二手動閥5。
[0011]本實用新型實施例提出的超聲波補液系統(tǒng)的補液方法，其步驟如下(請參考圖1):
[0012]步驟1、先將補液管8上的粗補閥6和精補閥7關(guān)閉，進液控制閥4打開對補液罐I進行填充藥液，達到超聲波液位儀10設(shè)定的液面高度后，超聲波液位儀將信息反饋給控制中心，關(guān)閉進液控制閥4。
[0013]步驟2、需要對反應(yīng)槽9進行大量補液時，先開啟粗補閥6，補液罐I內(nèi)藥液流入反應(yīng)槽9，補液罐I內(nèi)的液面會下降，超聲波液位儀10會實時監(jiān)控液面高度，將信息反饋給控制中心。
[0014]步驟3、控制中心9接收超聲波液位儀10反饋而來的信息，換算出需要補液的實時體積，快要到達設(shè)定的液量時，閉粗補閥6，然后精補閥7開啟，對反應(yīng)槽9進行精細補液。
[0015]如需要補液100mL,先開啟粗補閥6，液面快速下降，通過控制中心換算，補液罐內(nèi)藥液減少900mL時，粗補閥6關(guān)閉，由于閥門關(guān)閉的反應(yīng)需一定時間，這時可能已經(jīng)有950mL排走了，控制中心會對補液罐I內(nèi)減少的藥液體積進行復(fù)核和修正，然后精補閥7開啟，藥液液面緩慢下降，當達到設(shè)定的100mL體積位置時，精補閥7關(guān)閉。
[0016]若需要少量補液時，只開啟精補閥7即可。而第一手動閥3和第二手動閥5正常工作時都是打開的，根據(jù)需要人工關(guān)閉或打開。
[0017]本實用新型不限于補液罐的形狀、超聲波液位儀的品牌或數(shù)量以及安裝位置，也不限于補液的出液管路閥門數(shù)量只要是使用使用超聲波距離檢測裝置進行液體配制或補充的方式均在專利保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波補液系統(tǒng)，包括設(shè)于反應(yīng)槽上方的補液罐(1)，聯(lián)通該補液罐底部的帶有進液控制閥(4)的輸液管道(2)，其特征在于，所述補液罐(I)的底部還聯(lián)通一補液管(8 )，該補液管中并接有粗補閥(6 )和精補閥(7 )，所述補液罐(I)的上部設(shè)有一用于液面檢測的超聲波液位儀(10)，該超聲波液位儀與控制中心連接，所述補液罐(I)內(nèi)的上部還設(shè)有一保護檢測液位(11)，所述輸液管道(2)上還設(shè)有第一手動閥(3)，所述的補液管(8)上還設(shè)有第二手動閥(5)。
【文檔編號】B08B3/08GK204122406SQ201420196646
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月22日
【發(fā)明者】左國軍, 戴洪燁 申請人:常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司