硅片清洗用移動(dòng)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗用移動(dòng)裝置，包括機(jī)架、安裝在所述機(jī)架上且相對水平設(shè)置的導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板沿長度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向板的下端沿長度方向固定有齒條，所述導(dǎo)向板上設(shè)有承載機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)包括基板、安裝在所述基板上的支軸以及位于所述支軸兩端的滾輪，所述基板上固定有氣缸，所述氣缸的氣缸臂固定有承載板，所述承載板的四周固定有掛鉤，所述滾輪位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)，所述基板的下端固定有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸固定有齒輪，所述齒輪與所述齒條嚙合連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，運(yùn)行平穩(wěn)，避免硅片在移動(dòng)過程中的晃動(dòng)，確保了硅片的質(zhì)量，減少資源損耗，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】硅片清洗用移動(dòng)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗用移動(dòng)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 全自動(dòng)超聲波清洗設(shè)備上通常設(shè)置有機(jī)械臂，機(jī)械臂用來對清洗工件進(jìn)行工位搬 運(yùn)。由于硅片清洗需要經(jīng)過多道工序，通過機(jī)械臂來移動(dòng)，但是現(xiàn)有機(jī)械臂在移動(dòng)的過程中 會出現(xiàn)晃動(dòng)，導(dǎo)致用于承載硅片的清洗籃晃動(dòng)，使得清洗籃內(nèi)的硅片會出現(xiàn)碰撞，從而造成 損傷，影響硅片的質(zhì)量，增大了企業(yè)的生產(chǎn)成本。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單的硅片清洗用移動(dòng)裝置。
[0004] 為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種硅片清洗用移動(dòng)裝置，包括 機(jī)架、安裝在所述機(jī)架上且相對水平設(shè)置的導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板沿長度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，所 述導(dǎo)向板的側(cè)端沿長度方向固定有齒條，所述導(dǎo)向板上設(shè)有承載機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)包括 基板、安裝在所述基板上的支軸以及位于所述支軸兩端的滾輪，所述基板上固定有氣缸，所 述氣缸的氣缸臂固定有承載板，所述承載板的四周固定有掛鉤，所述滾輪位于所述導(dǎo)向槽 內(nèi)，所述基板的下端固定有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸固定有齒輪，所述齒輪與所述齒條嚙合 連接。
[0005] 本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，硅片清洗用移動(dòng)裝置進(jìn)一步包括所述基板上固定 有至少一個(gè)導(dǎo)向桿，所述承載板上固定有至少一個(gè)立桿，所述立桿部分置入所述導(dǎo)向桿內(nèi)。
[0006] 本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，硅片清洗用移動(dòng)裝置進(jìn)一步包括所述導(dǎo)向桿的數(shù) 量為兩個(gè)，所述立桿的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述導(dǎo)向桿、兩個(gè)所述立桿均呈對角設(shè)置。
[0007] 本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，硅片清洗用移動(dòng)裝置進(jìn)一步包括所述承載機(jī)構(gòu)的 數(shù)量為兩個(gè)。
[0008] 本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，硅片清洗用移動(dòng)裝置進(jìn)一步包括所述基板的四周 固定有軸承座，所述軸承座內(nèi)設(shè)有軸承，所述支軸穿過所述軸承。
[0009] 本實(shí)用新型一個(gè)較佳實(shí)施例中，硅片清洗用移動(dòng)裝置進(jìn)一步包括所述電機(jī)為步進(jìn) 電機(jī)。
[0010] 本實(shí)用新型解決了【背景技術(shù)】中存在的缺陷，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，運(yùn)行 平穩(wěn)，避免硅片在移動(dòng)過程中的晃動(dòng)，確保了硅片的質(zhì)量，減少資源損耗，降低了生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0012] 圖1是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013] 圖2是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的基板、導(dǎo)向板的俯視圖；
[0014] 圖中：2、機(jī)架，4、導(dǎo)向板，6、導(dǎo)向槽，8、齒條，10、基板，12、支軸，14、滾輪，16、氣缸， 18、氣缸臂，20、承載板，22、掛鉤，24、電機(jī)，26、輸出軸，28、齒輪，30導(dǎo)向桿，32、立桿，34、軸 承座，36、軸承。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 現(xiàn)在結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，這些附圖均為簡化的 示意圖，僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu) 成。
[0016] 如圖1、圖2所示，一種硅片清洗用移動(dòng)裝置，包括機(jī)架2、安裝在機(jī)架2上且相對 水平設(shè)置的導(dǎo)向板4,導(dǎo)向板4沿長度方向設(shè)有導(dǎo)向槽6,導(dǎo)向板4的側(cè)端沿長度方向固定 有齒條8,導(dǎo)向板4上設(shè)有承載機(jī)構(gòu)，承載機(jī)構(gòu)包括基板10、安裝在基板10上的支軸12以 及位于支軸12兩端的滾輪14,基板10上固定有氣缸16,氣缸16的氣缸臂18固定有承載 板20,承載板20的四周固定有掛鉤22,掛鉤22用于吊掛盛裝硅片的清洗籃，滾輪14位于 導(dǎo)向槽6內(nèi)，本實(shí)用新型優(yōu)選承載機(jī)構(gòu)的數(shù)量為兩個(gè)，四個(gè)滾輪14均位于導(dǎo)向槽6內(nèi)，滾輪 14被限位在導(dǎo)向槽6內(nèi)，且沿導(dǎo)向槽6移動(dòng)，水平運(yùn)行平穩(wěn)，基板10的下端固定有電機(jī)24， 電機(jī)24的輸出軸26固定有齒輪28,齒輪28與齒條8嚙合連接，當(dāng)電機(jī)24啟動(dòng)時(shí)，齒輪28 旋轉(zhuǎn)，由于齒條8固定不動(dòng)，齒輪28沿齒條8的長度方向移動(dòng),從而使得基板10水平移動(dòng)， 帶動(dòng)承載板20水平移動(dòng)。
[0017] 本實(shí)用新型優(yōu)選基板10上固定有至少一個(gè)導(dǎo)向桿30,承載板20上固定有至少一 個(gè)立桿32,立桿32穿過基板10且部分置入導(dǎo)向桿30內(nèi)，立桿32沿導(dǎo)向桿30堅(jiān)直上下移 動(dòng)，運(yùn)行平穩(wěn)。進(jìn)一步優(yōu)選導(dǎo)向桿30的數(shù)量為兩個(gè)，立桿32的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)導(dǎo)向桿30、 兩個(gè)立桿32均呈對角設(shè)置，導(dǎo)向桿30、立桿32的截面均呈圓形，進(jìn)一步使得承載板20沿堅(jiān) 直方向的運(yùn)行平穩(wěn)，避免承載板20的晃動(dòng)，從而避免硅片的晃動(dòng)，確保硅片的質(zhì)量。
[0018] 本實(shí)用新型優(yōu)選基板10的四周固定有軸承座34,軸承座34內(nèi)設(shè)有軸承36,支軸 12穿過軸承36。
[0019] 為了從一個(gè)清洗工序移動(dòng)到另一個(gè)清洗工序，本實(shí)用新型優(yōu)選電機(jī)24為步進(jìn)電 機(jī)。
[0020] 本實(shí)用新型的工作原理如下：
[0021] 氣缸16啟動(dòng)，氣缸臂18推動(dòng)承載板20向下運(yùn)動(dòng)，吊掛在掛鉤22上的清洗籃向下 移動(dòng)至第一清洗槽內(nèi)，通過超聲波清洗完畢后，氣缸16復(fù)位，帶動(dòng)清洗籃離開第一個(gè)清洗 槽，電機(jī)24啟動(dòng)，在齒輪28與齒條8的配合下，帶動(dòng)清洗籃平移至第二個(gè)清洗槽的上方，氣 缸啟動(dòng)，氣缸臂18推動(dòng)承載板20向下運(yùn)動(dòng)，吊掛在掛鉤22上的清洗籃向下移動(dòng)至第二清 洗槽內(nèi)，通過超聲波進(jìn)行清洗，如此循環(huán)。
[0022] 以上依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)人員完全 可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型 的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定技術(shù)性范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：包括機(jī)架、安裝在所述機(jī)架上且相對水平 設(shè)置的導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板沿長度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向板的側(cè)端沿長度方向固定有 齒條，所述導(dǎo)向板上設(shè)有承載機(jī)構(gòu)，所述承載機(jī)構(gòu)包括基板、安裝在所述基板上的支軸以及 位于所述支軸兩端的滾輪，所述基板上固定有氣缸，所述氣缸的氣缸臂固定有承載板，所述 承載板的四周固定有掛鉤，所述滾輪位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)，所述基板的下端固定有電機(jī)，所述 電機(jī)的輸出軸固定有齒輪，所述齒輪與所述齒條嚙合連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：所述基板上固定有至少 一個(gè)導(dǎo)向桿，所述承載板上固定有至少一個(gè)立桿，所述立桿部分置入所述導(dǎo)向桿內(nèi)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向桿的數(shù)量為兩 個(gè)，所述立桿的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述導(dǎo)向桿、兩個(gè)所述立桿均呈對角設(shè)置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：所述承載機(jī)構(gòu)的數(shù)量為 兩個(gè)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：所述基板的四周固定有 軸承座，所述軸承座內(nèi)設(shè)有軸承，所述支軸穿過所述軸承。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用移動(dòng)裝置，其特征在于：所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。
【文檔編號】B08B3/12GK203875062SQ201420194354
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月22日
【發(fā)明者】周建榮 申請人:蘇州金牛精密機(jī)械有限公司