專利名稱：一種還原爐爐筒清洗裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于多晶硅化工領域，涉及一種還原爐爐筒清洗裝置。
背景技術：
多晶硅，是單質硅的一種形態(tài)，是極為重要的優(yōu)良半導體材料。多晶硅是電子工業(yè)中廣泛用于制造半導體收音機、錄音機、電冰箱、彩電、錄像機、電子計算機等的基礎材料。目前，在西門子法生產多晶硅過程中，大多采用化學氣相沉積法生產多晶硅棒?；瘜W氣相沉積法是指用多晶硅還原爐底板上的電極來通電，將置于電極上的發(fā)熱載體(硅芯棒，直徑約8mm)加熱至1100°C以上，通入三氯氫硅和高純氫氣，發(fā)生還原反應，采用化學氣相沉積技術生成的高純硅沉積在硅芯棒上，使硅棒不斷長大，直到硅棒的直徑達到150 mm 左右，然后斷電斷原料停爐，取出硅棒。對于采用化學氣相沉積技術生產高純多晶硅，通過化學氣相沉積反應得到高純多晶硅棒后，需要將多晶硅棒從多晶硅還原爐底板取出，再次裝載硅芯棒進行生產。每個生產周期完成之后，需要清潔還原爐爐筒及底板，以除去表面污染物。目前多晶硅企業(yè)一般使用的爐筒清洗方法是通過噴淋裝置，使用熱堿液及脫鹽水對爐筒內壁進行噴淋清洗，之后再用白布蘸取無水乙醇將爐筒內壁及底部接觸面擦洗干凈，最后在爐筒內架梯或平臺，作業(yè)人員人工手持氮氣軟管，進入爐筒內再將爐筒徹底吹干。由于爐壁溫度較高，達到30(TC左右，爐壁上會沉積不定型低溫硅，這種裝置只能除掉部分污染物，無法完全清除掉爐筒內壁沉積的低溫硅等大部分污染物。隨著生長周期次數(shù)增多，爐壁上沉積的污染物會越積越多。根據(jù)熱輻射原理，爐壁越粗糙，爐壁吸收的熱量就越多，需要通過通更多的電來維持爐內反應氣場溫度，因而生長過程中的能耗就會增加，成本增高，產能也會受到影響。

實用新型內容本實用新型的發(fā)明目的在于針對上述存在的問題，提供一種還原爐爐筒清洗裝置。該清洗裝置構思巧妙、設計合理，對還原爐爐筒的清洗徹底，避免了還原爐爐筒清洗不干凈給多晶硅生產帶來的影響，降低了工人的勞動強度。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種還原爐爐筒清洗裝置，包括支架、電機、圓盤和刷把，所述電機設置在支架的頂部，用于驅動圓盤旋轉，所述圓盤設置在電機的上方，所述刷把設置在圓盤的兩側，刷把與噴淋管連接，還原爐爐筒的兩側設置有導軌槽，還原爐爐筒的外側設置有與導軌槽相匹配的導軌。作為優(yōu)選方式，所述刷把為掃帚型刷把。作為優(yōu)選方式，所述刷把與圓盤之間為活動連接。本實用新型還原爐爐筒清洗裝置，在地面安裝一個支架，支架高度大于還原爐爐筒的高度。其上頂部安裝有一個電動機，電動機上方是一個圓盤，通過電動機軸驅動圓盤旋轉。圓盤外側等距安裝有掃帚型的刷把，刷把后方安裝有管道，通入脫鹽水對刷把及爐筒進行噴淋。刷把支出后，緊貼還原爐筒內壁。兩側各有一個導軌槽，寬度正好與還原爐爐筒外側的導軌外接圓直徑一致。使用時，行車吊起還原爐爐筒，使還原爐爐筒處于懸掛狀態(tài)，并上下以慢車移動。 電動機驅動圓盤旋轉，刷把直接與爐筒內壁接觸，刷除表面附著物。同時通水對刷把及爐筒內壁進行噴淋清洗。由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是本實用新型構思巧妙、設計合理，對還原爐爐筒的清洗徹底，避免了還原爐爐筒清洗不干凈給多晶硅生產帶來的影響，降低了工人的勞動強度。

圖1是本實用新型結構示意圖。圖中標記1支架、2電機、3圓盤、4刷把、5還原爐爐筒、6導軌。
具體實施方式

以下結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。實施例如圖1所示，一種還原爐爐筒清洗裝置，包括支架1、電機2、圓盤3和刷把4，所述電機2設置在支架1的頂部，用于驅動圓盤3旋轉，所述圓盤3設置在電機2的上方，所述刷把4設置在圓盤3的兩側，刷把4與噴淋管連接，還原爐爐筒5的兩側設置有導軌槽，還原爐爐筒的外側設置有與導軌槽相匹配的導軌6。所述刷把4為掃帚型刷把。所述刷把4與圓盤3之間為活動連接。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種還原爐爐筒清洗裝置，其特征在于包括支架(1)、電機(2)、圓盤(3)和刷把 (4)，所述電機(2)設置在支架(1)的頂部，用于驅動圓盤(3)旋轉，所述圓盤(3)設置在電機 (2)的上方，所述刷把(4)設置在圓盤(3)的兩側，刷把(4)與噴淋管連接，還原爐爐筒(5) 的兩側設置有導軌槽，還原爐爐筒的外側設置有與導軌槽相匹配的導軌(6)。
2.如權利要求1所述的一種還原爐爐筒清洗裝置，其特征在于所述刷把(4)為掃帚型刷把。
3.如權利要求1或2所述的一種還原爐爐筒清洗裝置，其特征在于所述刷把(4)與圓盤(3)之間為活動連接。
專利摘要本實用新型公開了一種還原爐爐筒清洗裝置，包括支架(1)、電機(2)、圓盤(3)和刷把(4)，所述電機(2)設置在支架(1)的頂部，用于驅動圓盤(3)旋轉，所述圓盤(3)設置在電機(2)的上方，所述刷把(4)設置在圓盤(3)的兩側，刷把(4)與噴淋管連接，還原爐爐筒(5)的兩側設置有導軌槽，還原爐爐筒的外側設置有與導軌槽相匹配的導軌(6)。本實用新型構思巧妙、設計合理，對還原爐爐筒的清洗徹底，避免了還原爐爐筒清洗不干凈給多晶硅生產帶來的影響，降低了工人的勞動強度。
文檔編號B08B9/00GK202061847SQ20112007989
公開日2011年12月7日 申請日期2011年3月24日 優(yōu)先權日2011年3月24日
發(fā)明者宋光海, 陳清利 申請人:四川瑞能硅材料有限公司