專利名稱：能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及硅料的超聲波清洗裝置。
背景技術：
硅料是一種非常重要的半導體材料，可用于制作二極管、三極管、發(fā)光器件、壓敏元件、太陽能電池片等多種元器件，廣泛應用于無線電工程、自動化領域、信號設備、動 力工程等領域。通常硅料表面有氧化層和金屬離子，需用先用酸液來清洗以去除其表面的氧化層和金屬離子，然后再進行水漂洗從而達到清洗干凈的目的。目前使用的硅料清洗裝置，其結構主要包括機架，機架上設置有清洗槽和超聲波發(fā)生器，清洗槽中設置有超聲波振盒，超聲波振盒中設置有超聲波換能器，清洗槽中放置有硅料工裝籃。硅料工裝籃是一種鏤空的形狀像籃子的工裝，清洗時工人在硅料工裝籃中盛放入硅料，再將硅料工裝籃放入到清洗槽中的酸液中，酸液進入硅料工裝籃并對籃內的硅料進行清洗。硅料堆積在硅料工裝籃中， 硅料堆表層的硅料與酸液充分接觸后能被清洗干凈，而硅料堆內部的硅料與酸液無法充分接觸，故無法一次清洗干凈。上述清洗裝置，硅料的清洗效果差，且清洗費時費力，而且人體與酸液直接接觸，酸液會腐蝕皮膚，操作危險性較高。

發(fā)明內容
本發(fā)明所需解決的技術問題是將提供一種能有效清洗硅料，且避免人體與酸液直接接觸的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置。本發(fā)明的目的通過以下技術方案來實現能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置， 包括機架，機架上設置有清洗槽和超聲波發(fā)生器，清洗槽中設置有帶超聲波換能器的超聲波振盒，在機架上設置有傳動托架裝置，所述的傳動托架裝置的結構包括連接桿，連接桿的一端與傳動托架臂固定連接，連接桿的另一端與升降裝置活動連接；所述的傳動托架臂鉸接于機架上的轉軸處，傳動托架臂上安裝有傳動裝置，傳動托架臂的端部活動設置有轉動托盤，所述的轉動托盤設置在清洗槽中，所述的傳動裝置能帶動轉動托盤轉動，硅料工裝籃安裝在轉動托盤上；所述的升降裝置固定安裝在機架上，升降裝置的頂升和下降能使傳動托架臂繞轉軸轉動。進一步地，所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其中，所述的傳動裝置包括安裝在傳動托架臂上的轉動電機，轉動電機的軸上設置有主動齒輪，主動齒輪與若干從動齒輪相嚙合，所述的轉動托盤的圓周上設置有齒盤，齒盤與從動齒輪相嚙合。進一步地，所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其中，所述的升降裝置結構為固定安裝在機架上的汽缸，汽缸的活塞桿的頂部與連接桿的另一端鉸接。進一步地，所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其中，所述的轉動托盤上設置有卡塊，卡塊與硅料工裝籃相卡接。更進一步地，所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其中，所述的傳動托架臂上設置有擋板，擋板遮蓋住轉動電機及從動齒輪。進一步地，所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其中，所述的傳動托架臂的端部設置有限位軸，所述的轉動托盤活動安裝在限位軸上。本發(fā)明的有益效果將裝有硅料的硅料工裝籃安裝在轉動托盤上，轉動托盤帶動硅料工裝籃及其中的硅料一起轉動，使硅料與酸液充分接觸，從而使硅料清洗干凈，大大提高了硅料清洗的效率；工人只需利用升降裝置的升或降，就可將安裝在轉動托盤上的硅料工裝籃中的硅料放入或脫離清洗槽中的酸液，避免了人體與酸液的接觸，大 大提高了操作的安全性。


圖1是本發(fā)明所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置的結構示意圖。圖2是本發(fā)明所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置中轉動托盤將硅料工裝籃送入到清洗槽中清洗時的結構示意圖。圖3是本發(fā)明所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置中傳動托架臂部分的結構示意圖。圖4是圖3的右視結構示意圖。圖1 圖4中1、機架，2、清洗槽，3、超聲波發(fā)生器，4、超聲波振盒，5、硅料工裝籃，6、連接桿，7、傳動托架臂，8、汽缸，81、活塞桿，9、轉軸，10、轉動電機，101、主動齒輪， 102、第一從動齒輪，103、第二從動齒輪，104、第三從動齒輪，11、限位軸，12、轉動托盤，121、 齒盤，122、卡塊，13、擋板。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的詳細說明。如圖1 圖4所示，能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，包括機架1，機架1上設置有清洗槽2和超聲波發(fā)生器3，清洗槽2中設置有帶超聲波換能器的超聲波振盒4，在機架1上設置有傳動托架裝置，所述的傳動托架裝置的結構包括連接桿6，連接桿6的一端與傳動托架臂7固定連接，連接桿6的另一端與汽缸8上活塞桿81的頂部鉸接，所述的汽缸8固定安裝在機架1上的。傳動托架臂7鉸接于機架1上的轉軸9處，傳動托架臂7 上安裝有轉動電機10，轉動電機10的軸上設置有主動齒輪101，主動齒輪101與第一從動齒輪102相嚙合，第一從動齒輪102與第二從動齒輪103嚙合，第二從動齒輪103與第三從動齒輪104嚙合，傳動托架臂7的端部設置有限位軸11，限位軸11上活動安裝有轉動托盤 12，轉動托盤12的外圓周上設置有齒盤121，齒盤121與第三從動齒輪104相嚙合，轉動托盤12上設置有卡塊122，卡塊122與硅料工裝籃5相卡接；所述的轉動托盤12設置在清洗槽2中；所述的傳動托架臂7上設置有擋板13，擋板13遮蓋住轉動電機10及各從動齒輪； 汽缸8的活塞桿81的頂升和下降能使傳動托架臂7繞轉軸9轉動。本發(fā)明中傳動托架臂7 上設置了三個從動齒輪，從動齒輪的數量可以根據轉動電機10與轉動托盤12之間的距離確定。如圖1所示，清洗前，汽缸8的活塞桿81位于最低端，轉動托盤12位于清洗槽2上的操作面位置，操作人員將裝載了需要清洗的硅料的硅料工裝籃5卡接在轉動托盤12上。如圖2所示，活塞桿81開始頂升，傳動托架臂7繞著轉軸9向下轉動，直至將硅料工裝籃5 全部浸沒在酸液中，打開轉動電機10，如圖4所示，轉動電機10軸上的主動齒輪101帶動第一從動齒輪102轉動，第一從動齒輪102帶動第二從動齒輪103轉動，第二從動齒輪103帶動第三從動齒輪104轉動，第三從動齒輪103帶動轉動托盤12轉動，從而帶動安裝在轉動托盤12上的硅料工裝籃5及硅料一起轉動，開始硅料的轉動清洗工作。在清洗過程中超聲波發(fā)生器3發(fā)出的超聲波驅動超聲波振盒4中的超聲波換能器產生振動，幫助清洗。待清洗完畢，如圖1所示，活塞桿81下降，傳動托架臂7繞轉軸9向上轉動直至轉動托盤12將硅料工裝籃5從酸液中托出至操作工人的操作面，操作工人即可將硅料工裝籃5以及清洗完畢的硅料取出，即完成硅料的一輪清洗。
本發(fā)明的有益效果傳動托架裝置通過轉動電機等傳動裝置帶動轉動托盤上硅料工裝籃中的硅料轉動，從而進行超聲波清洗，使硅料與酸液進行充分接觸，大大提高了硅料的清洗效率；傳動托架裝置通過汽缸等升降裝置使傳動托架臂在轉軸上轉動，將裝有硅料的硅料工裝籃送入到清洗槽中清洗，以及清洗完畢后再將硅料工裝籃托起后離開酸液，這樣避免了人體與清洗槽中酸液的直接接觸，大大提高了操作的安全性。本發(fā)明能廣泛應用于硅料的清洗設備中。
權利要求
1.能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，包括機架，機架上設置有清洗槽和超聲波發(fā)生器，清洗槽中設置有帶超聲波換能器的超聲波振盒，其特征在于在機架上設置有傳動托架裝置，所述的傳動托架裝置的結構包括連接桿，連接桿的一端與傳動托架臂固定連接， 連接桿的另一端與升降裝置活動連接；所述的傳動托架臂鉸接于機架上的轉軸處，傳動托架臂上安裝有傳動裝置，傳動托架臂的端部活動設置有轉動托盤，所述的轉動托盤設置在清洗槽中，所述的傳動裝置能帶動轉動托盤轉動，硅料工裝籃安裝在轉動托盤上；所述的升降裝置固定安裝在機架上，升降裝置的頂升和下降能使傳動托架臂繞轉軸轉動。
2.根據權利要求1所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的傳動裝置包括安裝在傳動托架臂上的轉動電機，轉動電機的軸上設置有主動齒輪，主動齒輪與若干從動齒輪相嚙合，所述的轉動托盤的圓周上設置有齒盤，齒盤與從動齒輪相嚙合。
3.根據權利要求1或2所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的升降裝置結構為固定安裝在機架上的汽缸，汽缸的活塞桿的頂部與連接桿的另一端鉸接。
4.根據權利要求1或2所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的轉動托盤上設置有卡塊，卡塊與硅料工裝籃相卡接。
5.根據權利要求3所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的轉動托盤上設置有卡塊，卡塊與硅料工裝籃相卡接。
6.根據權利要求2所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的傳動托架臂上設置有擋板，擋板遮蓋住轉動電機及從動齒輪。
7.根據權利要求1或2所述的能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，其特征在于所述的傳動托架臂的端部設置有限位軸，所述的轉動托盤活動安裝在限位軸上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種能使硅料轉動的硅料超聲波清洗裝置，包括機架，機架上設置有清洗槽和超聲波發(fā)生器，清洗槽中設置有超聲波振盒，在機架上設置有傳動托架裝置，所述的傳動托架裝置的結構包括連接桿，連接桿的一端與傳動托架臂固定連接，連接桿的另一端與升降裝置活動連接；所述的傳動托架臂鉸接于機架上的轉軸處，傳動托架臂上安裝有傳動裝置，傳動托架臂的端部活動設置有轉動托盤，所述的轉動托盤設置在清洗槽中，所述的傳動裝置能帶動轉動托盤轉動，硅料工裝籃安裝在轉動托盤上；所述的升降裝置固定安裝在機架上，升降裝置的頂升和下降能使傳動托架臂繞轉軸轉動。本發(fā)明大大提高了硅料的清洗效果和工人的操作安全性。
文檔編號B08B3/08GK102310061SQ20111018873
公開日2012年1月11日 申請日期2011年7月7日 優(yōu)先權日2011年7月7日
發(fā)明者陶國偉 申請人:蘇州赤誠洗凈科技有限公司