專利名稱：基于共振的超聲波清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用超聲波清除吸附在平板顯示玻璃表面上的雜 質(zhì)的基于共振的超聲波清洗裝置，本發(fā)明在安裝可以生成超聲波的超 聲波生成器時給予其一定角度的傾斜度，當(dāng)安裝在上述一側(cè)及另一側(cè) 的超聲波生成器生成超聲波時，上述超聲波將聚焦于一點(diǎn)并具有最大 的波長值，上述超聲波不僅聚焦于上述清洗裝置的下端底面之一點(diǎn)， 還同時擴(kuò)散到上述清洗裝置之整體底面，使上述清洗裝置之整體底面 發(fā)生超聲波，進(jìn)而在上述平板顯示用玻璃上生成超聲波而大幅提高上 述清洗效果。
技術(shù)背景一般來說，在平板顯示(Flat Panel Display, FPD )的制造過程 中會有各種污染物質(zhì)吸附在平板顯示用玻璃的表面，這些污染物質(zhì)包 括寄留在FAB內(nèi)部的粒子；有機(jī)物質(zhì)、金屬離子及氧化物等污染物 質(zhì)以及來自設(shè)備的污染；以及制造進(jìn)行時發(fā)生的反應(yīng)物或生成物污染 等等。如果不清除上述污染物質(zhì)，就會引起產(chǎn)品不良，因此需要在每 個制造階段維持玻璃表面的清潔。然而，隨著電路的日益微細(xì)化與元 件的超高積成化，過去不受重視的O.lnm左右的極小污染源也能對產(chǎn) 品性能造成了很大的影響，因此以污染源的清除為目的的清洗技術(shù)變 得日益重要。人們通常使用超聲波清洗裝置實(shí)現(xiàn)上述清洗技術(shù)，該裝置可以為 噴射出來的空氣施加超聲波以清除吸附在玻璃表面上的污染物質(zhì)，上 述超聲波清洗裝置根據(jù)其頻率而分為超聲波生成器(ultrasonic)清洗 裝置與超高頻音波( megasonic )清洗^^置。然而，基于超聲波生成器的先前超聲波清洗裝置具有下列問題。 超聲波生成器垂直安裝在上述清洗裝置內(nèi)部，由于上述超聲波的直進(jìn)性而只能在形成了上述超聲波的部位引起振動，因此在上述玻璃表面 上會出現(xiàn)無法清除所吸附污染物質(zhì)的死角，無法完全清除吸附在上述 玻璃表面上的污染物質(zhì)，進(jìn)而引起產(chǎn)品不良。 發(fā)明內(nèi)容為了解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種基于共振的超聲波 清洗裝置，本發(fā)明在安裝可以生成超聲波的一雙或多雙超聲波生成器 時給予其一定角度的傾斜度，當(dāng)安裝在上述一側(cè)的超聲波生成器與安裝在另 一側(cè)的超聲波生成器生成超聲波時，上述超聲波將聚焦于上述 清洗裝置的下端之一點(diǎn)，并同時擴(kuò)散到上述清洗裝置的下端之整體底 面，在較大的范圍內(nèi)引起超聲波并傳達(dá)到位于下端的玻璃，在上述清 洗裝置中得到超聲波的空氣被噴射到玻璃表面的同時，在噴射的廣大 玻璃面積上引起超聲波，進(jìn)而大幅提高上述清洗裝置的效率。本發(fā)明提供一種利用超聲波清除吸附在平板顯示玻璃表面上之雜質(zhì)的基于共振的超聲波清洗裝置，包括下列單元為了清除吸附在上述玻璃表面上之雜質(zhì)，透過鼓風(fēng)機(jī)吸入空氣后， 再透過槽形態(tài)的空氣噴射口把空氣噴射到上述玻璃表面的空氣供應(yīng)部；為上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣施加超聲波，使上述噴射空氣 產(chǎn)生振動的超聲波生成器；上述振動空氣被噴射出來并清除吸附在上述玻璃上的雜質(zhì)時，可以防止上述玻璃與雜質(zhì)之間發(fā)生靜電的靜電消除器；以及透過排氣裝置吸入從上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣及被其清除的雜質(zhì)后再加以排放的空氣吸入部。一雙或多雙上述超聲波生成器在傾斜一定角度的狀態(tài)下安裝在一側(cè)與另一側(cè)，當(dāng)上述超聲波生成器在制造超聲波時，從一側(cè)與另一側(cè)生成的超聲波將聚焦在下端的一個點(diǎn)上，然后透過超聲波把震動傳達(dá)給整個上述超聲波清洗裝置，進(jìn)而產(chǎn)生了振動。


圖1系本發(fā)明基于共振的超聲波清洗裝置之斜視圖。圖2系本發(fā)明基于共振的超聲波清洗裝置之剖面圖。 圖3系本發(fā)明基于共振的超聲波清洗裝置之仰視圖。 圖形主要符號的說明 100:空氣供應(yīng)部 110:空氣噴射口 200:超聲波生成器 300:靜電消除器(Ionizer) 400:空氣吸入部 410:空氣吸入口 420， 430:空氣排放口具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一 步說明。圖1系本發(fā)明基于共振的超聲波清洗裝置的斜視圖，圖2系本發(fā) 明基于共振的超聲波清洗裝置的剖面圖，圖3系本發(fā)明基于共振的超 聲波清洗裝置的仰視圖。如圖1、圖2及圖3所示，本發(fā)明基于共振的超聲波清洗裝置的 上端配置了空氣供應(yīng)部100，為了清除吸附在上述玻璃表面上的雜質(zhì) 而透過鼓風(fēng)機(jī)吸入空氣后，再透過位于上述清洗裝置下端的槽形態(tài)空 氣噴射口 110把空氣噴射到上述玻璃的表面并清除雜質(zhì)。在傾斜一定 角度的狀態(tài)下安裝在上述清洗裝置之一側(cè)與另一側(cè)的一雙或多雙超聲 波生成器200所生成的超聲波，使上述空氣供應(yīng)部IOO噴射出來的空 氣產(chǎn)生振動并噴射到玻璃的表面上。當(dāng)上述振動空氣被噴射出來并清除吸附在上述玻璃上的雜質(zhì)時， 位于上述超聲波生成器200下端的靜電消除器300可以防止上述玻璃 與雜質(zhì)之間出現(xiàn)靜電，透過上述空氣供應(yīng)部IOO噴射出來的空氣及被 其清除的玻璃表面雜質(zhì)則經(jīng)由玻璃上端的空氣吸入部400排放。上述 空氣吸入部400透過位于下端的空氣吸入口 410把上述噴射空氣及被 其清除的雜質(zhì)吸入上述清洗裝置內(nèi)部，再經(jīng)由空氣排放口 420， 430 排放，然后透過連接到外部的排氣裝置把上述被排空氣與雜質(zhì)加以排放。上述一雙或多雙超聲波生成器200在安裝時被傾斜一定角度，位 于上述一側(cè)與另 一側(cè)的超聲波生成器200制造超聲波后，上述超聲波 將聚焦在清洗裝置下端的一點(diǎn)上，經(jīng)過聚焦的上述超聲波被擴(kuò)散到清 洗裝置之整個下端底面，進(jìn)而在整個上述清洗裝置上出現(xiàn)超聲波，然 后透過對上述空氣供應(yīng)部100噴射出來的空氣與玻璃表面施加振動， 可以大幅提高玻璃的清洗效果。雖然本發(fā)明已利用上述的較佳的實(shí)例詳細(xì)揭示，但是并非用以限 定本發(fā)明，凡熟悉此發(fā)明者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，可作 為各種更動及修改，因此本發(fā)明之保護(hù)范圍當(dāng)視作后附的申請專利范 圍所界定者為準(zhǔn)。發(fā)明的效果本發(fā)明在安裝可以生成超聲波的一雙或多雙超聲波生成器時給予 其一定角度的傾斜度，當(dāng)安裝在上述一側(cè)的超聲波生成器與安裝在另 一側(cè)的超聲波生成器生成超聲波時，上述超聲波將聚焦于上述清洗裝 置的下端的一點(diǎn)，并同時擴(kuò)散到上述清洗裝置的下端的整體底面，進(jìn) 而在整個上述清洗裝置上出現(xiàn)超聲波，然后對上述清洗裝置噴射出來 的空氣及玻璃施加超聲波，大幅度提高了上述玻璃表面所吸附雜質(zhì)的 清洗效果。
權(quán)利要求
1. 一種利用超聲波清除吸附在平板顯示玻璃表面上的雜質(zhì)的基于共振的超聲波清洗裝置，包括為了清除吸附在上述玻璃表面上的雜質(zhì)，透過鼓風(fēng)機(jī)吸入空氣后，再透過槽形的空氣噴射口把空氣噴射到上述玻璃表面的空氣供應(yīng)部；為上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣施加超聲波，使上述噴射空氣產(chǎn)生振動的超聲波生成器；上述振動空氣被噴射出來并清除吸附在上述玻璃上的雜質(zhì)時，可以防止上述玻璃與雜質(zhì)之間發(fā)生靜電的靜電消除器；以及透過排氣裝置吸入從上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣及被其清除的雜質(zhì)后再經(jīng)由空氣吸入口加以排放的空氣吸入部。
2. 如權(quán)利要求1所述的基于共振的超聲波清洗裝置，其特征在于， 在一側(cè)與另 一側(cè)安裝一雙或多雙上述超聲波生成器時給予一定的傾斜 度，當(dāng)上述超聲波生成器生成超聲波時， 一側(cè)與另一側(cè)所生成的超聲 波將聚焦在下端的一點(diǎn)上，然后把超聲波的振動傳達(dá)給整個上述超聲 波清洗裝置并引起振動。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種利用超聲波清除吸附在平板顯示玻璃表面上的雜質(zhì)的基于共振的超聲波清洗裝置，本發(fā)明包括下列單元為了清除吸附在上述玻璃表面上之雜質(zhì)，透過鼓風(fēng)機(jī)吸入空氣后，再透過槽形態(tài)的空氣噴射口把空氣噴射到上述玻璃表面的空氣供應(yīng)部；為上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣施加超聲波，使上述噴射空氣產(chǎn)生振動的超聲波生成器；上述振動空氣被噴射出來并清除吸附在上述玻璃上的雜質(zhì)時，可以防止上述玻璃與雜質(zhì)之間發(fā)生靜電的靜電消除器；以及透過排氣裝置吸入從上述空氣供應(yīng)部噴射出來的空氣及被其清除的雜質(zhì)后再加以排放的空氣吸入部。
文檔編號B08B5/04GK101234387SQ20071011021
公開日2008年8月6日 申請日期2007年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月29日
發(fā)明者任泰成, 李昊燮, 金鎬勇 申請人:Apro系統(tǒng)株式會社