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芯片自動(dòng)檢測(cè)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9808784

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集成電路芯片成品生產(chǎn)后,要對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)內(nèi)容包括物理缺陷檢測(cè)、磁感應(yīng)檢測(cè)等等,檢測(cè)后的合格芯片要進(jìn)行封裝,不合格芯片要進(jìn)行回收?,F(xiàn)有的操作流程中,這一系列動(dòng)作均通過(guò)人工完成,個(gè)別工步通過(guò)自動(dòng)化操作實(shí)現(xiàn),但總體來(lái)說(shuō),人工干預(yù)大,效率低,給芯片造成的污染大。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供一種,通過(guò)全自動(dòng)化流程,實(shí)現(xiàn)芯片的快速檢測(cè)。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是 一種,通過(guò)芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn),所述芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)、機(jī)器人、控制模塊、上下料倉(cāng)...
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