技術(shù)編號(hào):9709781
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。太陽(yáng)能電池的制備工藝為前清洗一制絨一擴(kuò)散一等離子刻蝕一后清洗一等離子氣相沉積一絲網(wǎng)印刷一燒結(jié)一檢測(cè)。硅片經(jīng)制絨后進(jìn)入擴(kuò)散環(huán)節(jié)。但是由于制絨后,烘干不徹底,或者藥液清洗不干凈造成表面沾污。擴(kuò)散前往往肉眼難以識(shí)別,但是擴(kuò)散后就會(huì)形成黑點(diǎn)或者大片黑斑。不能進(jìn)入下道工序,必須返工。常規(guī)的處理方法是硅片重新制絨,但這樣硅片的厚度變薄,硅片的承受力下降,在后續(xù)的工序中容易發(fā)生碎片。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供,以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下,...
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