技術(shù)編號：9557142
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。—般而言，在對玻璃基板或半導(dǎo)體晶圓等脆性材料基板進(jìn)行切斷加工時，存在有沿切斷線的邊緣產(chǎn)生一般被稱為碎肩的不定形的缺欠的問題。另一方面，最近大多被使用如下的加工方法在對脆性材料基板進(jìn)行切斷加工時以非接觸式加工方法利用激光光束。在使用有激光光束的基板加工方法中，藉由使從激光振蕩裝置所振蕩出的激光光束通過激光光學(xué)系統(tǒng)而對基板進(jìn)行照射從而加工基板。利用激光光束的，由于是藉由在欲進(jìn)行基板加工的部分形成光束點，而施予熱能以加工基板，因此能夠進(jìn)行精密加工，且能夠減少加工...
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