技術(shù)編號：9341022
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種利用四氯化硅生產(chǎn)三氯甲硅烷的方法及裝置，更具體來說涉及一種在高壓條件下將液態(tài)四氯化硅與金屬硅粉連續(xù)氫化轉(zhuǎn)化為三氯甲硅烷的方法及裝置。背景技術(shù)目前，絕大多數(shù)的多晶硅生產(chǎn)方法是改良西門子工藝。這種工藝存在的一個主要缺點為采用三氯甲硅烷為原料進行多晶硅沉積，反應(yīng)過程中，生成大量副產(chǎn)物四氯化硅，若不加以循環(huán)利用，將危害環(huán)境并造成極大的原料浪費，嚴重影響生產(chǎn)成本。目前已大規(guī)模工業(yè)化的四氯化硅循環(huán)利用技術(shù)主要為冷氫化和熱氫化，均為將四氯化硅重新轉(zhuǎn)化為原料...
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