技術(shù)編號:9231273
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及,具體地說,涉及一種適用于電解法制備三氟化氮氣體的自動化裝置及其應用方法,屬于三氟化氮制備領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,三氟化氮(Nitrogen Trifluoride,簡稱NF3)氣體在電子工業(yè)有很廣泛且重要的應用。現(xiàn)有技術(shù)中,制備NF3氣體的主要方法為熔融鹽電解法,陽極為鎳或碳板,陰極為鎳、碳板或鐵,電解液為NH4F *xHF熔融鹽,電解溫度為90°C?140°C,陽極產(chǎn)生NF3,陰極產(chǎn)生H2?,F(xiàn)有技術(shù)中,所述NH4F -xHF熔融...
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