技術(shù)編號：9218513

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在半導(dǎo)體裝置或液晶表示裝置的制造工序中，進(jìn)行向半導(dǎo)體晶片或液晶顯示面板用玻璃基板等基板的表面供給藥液以利用藥液對該基板的表面進(jìn)行清洗的藥液處理、對基板進(jìn)行加熱的高溫處理等。例如對基板一張一張地進(jìn)行處理的單張式的實(shí)施清洗處理的基板處理裝置具有基板保持旋轉(zhuǎn)單元，將基板保持為大致水平，并使該基板旋轉(zhuǎn)；藥液噴嘴，用于向由該基板保持旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)的基板的表面供給藥液。作為這種單張式的基板處理裝置，已知有例如在基板保持旋轉(zhuǎn)單元的旋轉(zhuǎn)基座內(nèi)置加熱器的基板處理裝置(參照日本...
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