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晶圓涂膠治具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8607480

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傳統(tǒng)的晶圓級(jí)芯片封裝結(jié)構(gòu)(WaferLevel Chip Scale Packaging,簡(jiǎn)稱 WLCSP))在制造過(guò)程中,通常需要在晶圓背面涂覆背面保護(hù)材料,背面保護(hù)材料一般稱作背面保護(hù)膠。背面保護(hù)膠一般使用旋轉(zhuǎn)涂布和印刷涂布的方式。使用旋轉(zhuǎn)涂布方式時(shí),如圖1所示,在低速情況下,膠層容易返流到晶圓I’片的正面(如圖1中虛線圈中所示),形成表面沾污。采用鋼板印刷方式時(shí),如圖2所示,晶圓邊緣會(huì)留下一圈無(wú)法涂覆的區(qū)域(如圖2中虛線圈中所不),在小晶圓的情況下,...
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