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蒸鍍裝置、蒸鍍方法和有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8191975

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及使用蒸鍍掩模的蒸鍍裝置、蒸鍍方法、以及使用該蒸鍍裝置和蒸鍍方法的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法。背景技術(shù)近年來,在各種商品和領(lǐng)域中應(yīng)用平板顯示器,要求平板顯示器進(jìn)一步大型化、高畫質(zhì)化、低耗電化。在這樣的狀況下,具備利用有機(jī)材料的電致發(fā)光(電場(chǎng)發(fā)光)(ElectroLuminescence,以下記為“EL”)的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置,作為在全固體型、低電壓驅(qū)動(dòng)、高速響應(yīng)性、自發(fā)光性等方面優(yōu)異的平板顯示器,受到了高度的關(guān)注。有機(jī)EL顯示裝置,例如,具有在設(shè)置有TFT (薄膜晶體管)的包括玻璃基...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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