技術(shù)編號(hào):8143246
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種大直徑6H-SiC碳面上生長(zhǎng)石墨烯的方法,屬于微電子材料技術(shù) 領(lǐng)域。背景技術(shù)石墨烯是由單層碳原子緊密堆積成二維蜂窩狀晶格結(jié)構(gòu)的一種碳質(zhì)新材料,具有 優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性能,有望在高性能納電子器件、復(fù)合材料、場(chǎng)發(fā)射材料、氣體傳感 器及能量存儲(chǔ)等領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用,在工業(yè)、電力行業(yè)及電子產(chǎn)業(yè)都有極大的應(yīng)用前景。石墨烯材料室溫下熱導(dǎo)率最高可達(dá)SOOOWn^IT1。室溫下楊氏模量約l.OTPa,伸縮 彈性達(dá)20 %,是目前強(qiáng)度最高的材料,可以用來(lái)開(kāi)發(fā)制造紙片般薄的超輕型飛機(jī)材料和超 堅(jiān)韌的防彈衣等。...
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