技術(shù)編號：7830886
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型實施例公開了一種硅基MEMS麥克風(fēng)，該麥克風(fēng)包括硅基底，固定于所述硅基底上方的振膜，固定于所述振膜背離所述振膜一側(cè)的穿孔背板，至少一個固定于所述背孔側(cè)壁上的限位平臺，所述限位平臺與所述振膜之間具有預(yù)留間隔，且所述限位平臺沿所述背孔側(cè)壁至背孔中心方向上的長度小于所述背孔側(cè)壁至所述背孔中心的距離，從而當(dāng)所述MEMS硅基麥克風(fēng)在跌落或接收到很強的聲波信號時，降低所述振膜因振動幅度過大而受到損壞的概率，提高所述MEMS麥克風(fēng)的信噪比。專利說明硅基MEMS麥克風(fēng) 技術(shù)領(lǐng)域 [0001 ] 本實用新型涉及...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。