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有機(jī)el器件的制造方法及制造裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7250624

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本發(fā)明提供一種有機(jī)EL器件的制造方法及制造裝置,其能夠制造抑制了品質(zhì)下降的有機(jī)EL器件。有機(jī)EL器件的制造方法為一邊使帶狀的基材沿其長(zhǎng)度方向移動(dòng)一邊利用蒸鍍?cè)谠摶纳闲纬捎袡C(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)層的有機(jī)EL器件的制造方法,該制造方法包括結(jié)構(gòu)層形成工序,在該結(jié)構(gòu)層形成工序中,一邊使上述基材沿其長(zhǎng)度方向移動(dòng),一邊在沿著該基材的移動(dòng)方向設(shè)置的第1蒸鍍部及第2蒸鍍部自蒸鍍?cè)聪蛏鲜龌牡囊粋€(gè)面噴出氣化材料而依次進(jìn)行蒸鍍,該結(jié)構(gòu)層形成工序包括多個(gè)朝上蒸鍍工序,以及方向變換工...
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