技術(shù)編號(hào):7250624
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種有機(jī)EL器件的制造方法及制造裝置,其能夠制造抑制了品質(zhì)下降的有機(jī)EL器件。有機(jī)EL器件的制造方法為一邊使帶狀的基材沿其長(zhǎng)度方向移動(dòng)一邊利用蒸鍍?cè)谠摶纳闲纬捎袡C(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)層的有機(jī)EL器件的制造方法,該制造方法包括結(jié)構(gòu)層形成工序,在該結(jié)構(gòu)層形成工序中,一邊使上述基材沿其長(zhǎng)度方向移動(dòng),一邊在沿著該基材的移動(dòng)方向設(shè)置的第1蒸鍍部及第2蒸鍍部自蒸鍍?cè)聪蛏鲜龌牡囊粋€(gè)面噴出氣化材料而依次進(jìn)行蒸鍍,該結(jié)構(gòu)層形成工序包括多個(gè)朝上蒸鍍工序,以及方向變換工...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。