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一次性可編程存儲器、存儲電容器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7234460

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本發(fā)明涉及半導體存儲器件,且特別涉及一種CMOS標準工 藝兼容的一次性可編程存儲器(one-time programmable Read Only Memory, OTP-ROM)、存儲電容器及其制造方法。背景技術(shù)OTP-ROM是一種非易失存儲器件,其特點是一次編程存儲信息,即 使斷電也能永久保存。其種類很多,但當今集成電路是以CMOS工藝為 主,要求OTP-ROM能與CMOS標準工藝兼容。 一個較早的例子是美國 專利號5, 943, 264提出,由一個N...
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