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半導體器件的制造方法技術資料下載

技術編號:7212924

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本發(fā)明涉及。背景技術 市場不僅要求諸如移動電話、PDA(個人數(shù)字助理)、DVC(數(shù)字視頻照相機)和DSC(數(shù)字照相機)的便攜式電子器件的復雜性,還要求產(chǎn)品緊湊和輕便。高度集成的系統(tǒng)LSI(大規(guī)模集成)技術是滿足這種市場需求的一個方案。實現(xiàn)高度集成系統(tǒng)LSI的一個實例是高頻雙極性晶體管。為了使高頻雙極性晶體管具有更高的性能,提出了包含由硅-鍺(SiGe)合金制造的基極層的異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管。圖1和2表示日本公開專利公布號4-179235中描述的包含SiGe合...
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