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用于集成無電容器存儲器單元與邏輯的方法及結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7209888

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在各種實施例中,本發(fā)明大體來說涉及用于在共用襯底上制作存儲器單元及邏輯裝置的方法。更具體來說,本發(fā)明的實施例包含一種制作方法,其中在襯底的作用表面上形成邏輯裝置,在所述邏輯裝置上方形成半導(dǎo)體材料,且在所述半導(dǎo)體材料上形成所謂的 “無電容器”存儲器單元。另外,本發(fā)明的實施例包括集成電路,其中至少一個無電容器存儲器單元位于邏輯裝置上方,而且存儲器單元的多層級陣列位于包括邏輯的襯底上方。背景技術(shù)組件的較高性能、較低成本、增加的小型化及半導(dǎo)體裝置的較大封裝密度正成...
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